[發明專利]MEMS揚聲器單元、MEMS數字揚聲器及電子終端

有效

• 申請號: 202111408512.8
• 申請日: 2021-11-25
• 公開（公告）號: CN113993050B
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發明（設計）人: 杜海江;劉長華
• 申請（專利權）人: 地球山（北京）科技有限公司
• 主分類號: H04R19/02
• 分類號: H04R19/02;H04R19/00;H04R7/04;H04R7/16;H04R17/10
• 代理公司: 北京智慧亮點知識產權代理事務所(普通合伙) 11950
• 代理人: 史明罡

1.一種MEMS揚聲器單元，其特征在于，包括：

后腔；

振膜，所述振膜設置于所述后腔的一側；以及

電極，所述電極設置于所述振膜朝向所述后腔的一側，且所述電極與所述振膜之間具有設定間距；

其中，所述后腔的尺寸為目標尺寸，所述目標尺寸根據MEMS揚聲器單元的驅動力與MEMS揚聲器單元的彈性力確定，且所述MEMS揚聲器單元的驅動力與MEMS揚聲器單元的彈性力的差值滿足目標條件，所述目標條件為MEMS揚聲器單元的驅動力與MEMS揚聲器單元的彈性力的差值大于第一數值，且小于或等于第二數值；基于所述目標尺寸，在所述MEMS揚聲器單元的額定電壓下，所述振膜被驅動至目標位置，所述MEMS揚聲器單元的諧振頻率達到目標頻率。

2.根據權利要求1所述的MEMS揚聲器單元，其特征在于，還包括：基底，所述后腔的至少部分結構形成于所述基底中；所述目標位置為所述振膜的最大振幅位置。

3.根據權利要求2所述的MEMS揚聲器單元，其特征在于，所述基底具有開口；

所述電極設置在所述基底的一側，所述電極與所述開口相對的位置處具有多個連通結構，所述連通結構被配置為使所述振膜與所述電極之間的空間與所述電極與所述開口的底部之間的空間相連通。

4.根據權利要求3所述的MEMS揚聲器單元，其特征在于，所述振膜設置在所述電極背離所述基底的一側，且所述振膜與所述電極之間還設置有介質結構；所述介質結構上開設有與所述開口大小相適應的通孔；

所述后腔被配置為主要由所述振膜朝向所述電極的一側至所述開口的底部之間的結構形成，或所述后腔被配置為主要由所述電極背離所述振膜的一側至所述開口的底部之間的結構形成。

5.根據權利要求1-4任一項所述的MEMS揚聲器單元，其特征在于，所述目標尺寸滿足的條件為：所述后腔的高度不小于20μm。

6.根據權利要求1-4任一項所述的MEMS揚聲器單元，其特征在于，所述目標尺寸滿足的條件為：所述后腔的橫截面的長度的取值范圍為150μm-500μm。

7.根據權利要求4所述的MEMS揚聲器單元，其特征在于，所述振膜包括固定段和驅動段，所述驅動段通過一體化成型的方式與所述固定段相連接，其中，

所述驅動段與所述基底的開口相對設置，所述固定段設置在所述介質結構上，所述驅動段的材質與所述固定段的材質相同，所述驅動段與所述固定段為一體式結構，所述驅動段的材質與所述固定段的材質相同。

8.根據權利要求3所述的MEMS揚聲器單元，其特征在于，所述連通結構為連通孔或縫結構。

9.一種MEMS數字揚聲器，其特征在于，包括至少一個如權利要求1-8中任一項所述的MEMS揚聲器單元。

10.根據權利要求9所述的MEMS數字揚聲器，其特征在于，所述MEMS揚聲器單元的數量為多個，多個所述MEMS揚聲器單元陣列排布或線排布。

11.一種電子終端，其特征在于，包括：包括終端本體以及如權利要求9或10中所述的MEMS數字揚聲器，所述MEMS數字揚聲器設置在所述終端本體上。