[發明專利]光纖導入裝置及光纖導入方法

在審

• 申請號: 202111403064.2
• 申請日: 2021-11-24
• 公開（公告）號: CN114325996A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 王妍智;孫國華
• 申請（專利權）人: 北京華卓精科科技股份有限公司
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00
• 代理公司: 北京頭頭知識產權代理有限公司 11729
• 代理人: 白芳仿;劉鋒

本發明涉及真空腔室技術領域，特別是涉及一種用于真空腔室的光纖導入裝置及光纖導入方法。本發明的目的是提供一種在將光纖導入真空腔內時氣密性更高的光纖導入裝置及光纖導入方法。其中光纖導入裝置包括擋片、灌膠座、真空灌封膠層、密封粘接膠層，所述擋片邊緣開設有第一槽體，所述灌膠座內壁設置有第一環狀凸臺、第二環狀凸臺，所述第一環狀凸臺的靠近所述中心孔的邊緣開設有第二槽體，所述擋片放置于所述第一環狀凸臺上，所述擋片與所述第一環狀凸臺相互連接，相互對應的所述第一槽體、所述第二槽體形成用于容納一根所述光纖的裸線的固定槽，所述真空灌封膠層覆蓋于所述擋片上，所述密封粘接膠層覆蓋于所述真空灌封膠層上。

技術領域

本發明涉及真空腔室技術領域，特別是涉及一種用于真空腔室的光纖導入裝置及光纖導入方法。

背景技術

目前，常見的EUV光刻機的極紫外光的傳播要求工件臺腔室具有極高的真空度，綜合考慮釋氣、氣密性等影響，部分光路需要在腔室內外通過光纖進行傳輸。腔內外的光纖實現導通的方法之一是采用一體式光纖，在通過真空腔壁時進行密封；現有的光纖導入裝置，由于氣密性不高，會導致工件臺腔室泄露，影響使用。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種在將光纖導入真空腔內時氣密性更高的光纖導入裝置及光纖導入方法。

為了解決上述技術問題，本申請提供了如下技術方案：

本發明光纖導入裝置，包括擋片、灌膠座、真空灌封膠層、密封粘接膠層，所述擋片為薄片狀，所述擋片邊緣開設有用于供光纖穿過的第一槽體，所述灌膠座為由側壁圍成的中空體，所述灌膠座的中心形成中心孔，所述灌膠座內壁設置有第一環狀凸臺、第二環狀凸臺，所述第一環狀凸臺的寬度大于所述第二環狀凸臺的寬度，所述第一環狀凸臺的靠近所述中心孔的邊緣開設有第二槽體，所述第二槽體用于供光纖穿過，所述擋片放置于所述第一環狀凸臺上，所述擋片與所述第一環狀凸臺相互連接，所述第一槽體與所述第二槽體一一對應，相互對應的所述第一槽體、所述第二槽體形成用于容納一根所述光纖的裸線的固定槽，所述真空灌封膠層覆蓋于所述擋片上，所述密封粘接膠層覆蓋于所述真空灌封膠層上。

本發明光纖導入裝置，其中所述第一槽體、所述第二槽體均為半圓形。

本發明光纖導入裝置，其中所述擋片上開設有至少兩個平頭螺釘沉頭孔，所述第一環狀凸臺上開設有相應的連接孔，至少兩個沉頭螺釘分別穿過相應的所述平頭螺釘沉頭孔、所述連接孔將所述擋片及所述第一環狀凸臺相互連接。

本發明光纖導入裝置，其中所述第一環狀凸臺的背離所述第二環狀凸臺的一側開設有環狀密封槽，所述環狀密封槽內設置有密封圈。

本發明光纖導入裝置，其中所述擋片與所述臺階槽之間留有間隙，所述第二環狀凸臺靠近所述中心孔的邊緣設置有倒圓。

本發明光纖導入裝置，其中所述灌膠座的與所述環狀密封槽相對應的一側面上設置有排氣結構，所述排氣結構為開設于所述灌膠座側壁上的多個凹槽，各所述凹槽均與所述環狀密封槽連通。

本發明光纖導入裝置，其中還包括安裝座，所述安裝座用于將所述灌膠座連接于真空腔壁上，所述安裝座與所述灌膠座相連接。

本發明采用上述光纖導入裝置導入光纖的方法，包括：

光纖位于真空腔內的部分為第一段，光纖位于灌封位置的部分為第二段，去除各所述第一段外的塑料保護層，去除各所述第二段外的塑料保護層及金屬層，各所述第二段的長度小于灌膠厚度，灌膠厚度為所述擋片放入所述灌膠座內后，所述擋片上表面到所述灌膠座頂面的距離，

將各所述光纖分別套入灌膠座上的一個第二槽體內，將擋片放置于第一環狀凸臺上，使第一槽體與所述第二槽體一一對應，相互對應的所述第一槽體、所述第二槽體形成固定槽，各所述光纖的所述第二段分別容納于一個所述固定槽內，將所述擋片與所述灌膠座相連接；