[發明專利]EB爐用抽真空系統

在審

• 申請號: 202111397079.2
• 申請日: 2021-11-23
• 公開（公告）號: CN116622994A
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發明（設計）人: 朱靈倉;孫成剛;仝敬澤;楊浩;馬濤;楊雅寧
• 申請（專利權）人: 寶雞聚和信裝備技術有限公司
• 主分類號: C22B9/22
• 分類號: C22B9/22;C22B9/04;C22B34/12;F04C23/00;F04C25/02
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 曾慶喜

本發明公開了一種EB爐用抽真空系統，用3臺螺桿泵、2臺羅茨泵替代國內其他同類型EB爐的8臺滑閥泵和8臺羅茨泵，減少泵組占地面積和降低真空泵組用電量；真空泵組效率提升且整體價格降低；利用閥門控制實現第三階段螺桿泵對增壓泵的預抽，減少一臺單獨對增壓泵的真空泵；將濕式滑閥泵更換為干式羅茨泵，降低真空系統的故障率；縮短EB爐設備抽空時間約2小時。

技術領域

本發明屬于電子束冷床熔煉爐(以下簡稱EB爐)真空系統，具體涉及一種EB爐用抽真空系統。

背景技術

目前，EB爐是熔煉鈦及鈦合金的重要設備，鈦屬于高反應性金屬，具有高化學活性，在常溫下不與氣體相互反應，但是在高溫下會吸附空氣中的氫、氮、氧，即使很少量的吸附，也會影響鈦的力學和電氣性能。電子槍是EB爐設備中重要部件，0.13Pa真空度是電子槍穩定工作的必要條件，所以EB爐熔煉工作需要在0.13Pa的真空條件下進行。目前進口和國產EB爐抽真空主要設備采用滑閥泵和羅茨泵，由于滑閥泵屬于濕式泵，泵腔內的真空油和原材料海綿鈦內殘留的氯氣容易使真空泵油結膠，將滑閥和導軌卡死，造成滑閥泵停止工作，造成滑閥泵故障率居高不下。據青海聚能烏克蘭進口EB爐和美國進口EB爐統計，滑閥泵每月卡死一次，嚴重影響真空系統的抽空效率。因此，研制一種經濟適用的EB爐抽真空的方法是一個亟待解決的問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種EB爐用抽真空系統，可快速將EB爐內的灰塵雜質、潮氣快速去除，并將EB爐內真空度迅速抽至0.13Pa，提升EB爐抽空效率，同時降低真空泵的故障率。

為了達到上述目的，本發明所采用的技術方案是：一種EB爐用抽真空系統，包含：

增壓泵1#、增壓泵2#、增壓泵3#和增氧泵4#；所述增壓泵1#、增壓泵2#、增壓泵3#和增氧泵4#的進氣口分別與氣動擋板閥VM81、氣動擋板閥VM82、氣動擋板閥VM83和氣動擋板閥VM84的出口連通，增壓泵1#、增壓泵2#、增壓泵3#和增氧泵4#的出氣口分別與氣動蝶閥VM21、氣動蝶閥VM22、氣動蝶閥VM23和氣動蝶閥VM24的出口連通，并且氣動蝶閥VM21、氣動蝶閥VM22、氣動蝶閥VM23和氣動蝶閥VM24的出口之間相連通；氣動擋板閥VM81、氣動擋板閥VM82的EB爐的左進料室連通，氣動擋板閥VM83、氣動擋板閥VM84的EB爐的右進料室連通；

羅茨泵1#和羅茨泵2#；所述羅茨泵1#的進口與氣動蝶閥VM35的出口連接，所述氣動蝶閥VM35的進口分別與氣動蝶閥VM41和氣動蝶閥VM42的出口連通，所述氣動蝶閥VM41的進口與氣動蝶閥VM21的出口連通；所述羅茨泵2#的進口與氣動蝶閥VM36的出口連通，羅茨泵1#的出口與氣動蝶閥VM14的進口連通，所述氣動蝶閥VM36的進口分別與氣動蝶閥VM43和氣動蝶閥VM44的出口連通，所述氣動蝶閥VM44的進口與氣動蝶閥VM24的出口連通；所述氣動蝶閥VN42和氣動蝶閥VM43的進口均與氣動蝶閥VM25的出口連通，羅茨泵2#的出口與氣動蝶閥VM14的進口連通；氣動蝶閥VM25的進口與EB爐的左進料室連通；

螺桿泵1#、螺桿泵2#和螺桿泵3#；所述螺桿泵1#的進口與氣動蝶閥VM11的出口連通，氣動蝶閥VM11的進口分別與氣動蝶閥VM31和氣動蝶閥VM32的出口連通，氣動蝶閥VM31的進口與氣動蝶閥VM21的出口連通，氣動蝶閥VM32的進口與氣動蝶閥VM14的出口連通，所述螺桿泵2#的進口與氣動蝶閥VM12的出口連通，氣動蝶閥VM12的進口分別與氣動蝶閥VM14和氣動蝶閥VM15的出口連通，所述螺桿泵3#的進口與氣動蝶閥VM13的出口連通，氣動蝶閥VM13的進口與氣動蝶閥VM33和氣動蝶閥VM34的出口連通，氣動蝶閥VM33的進口與氣動蝶閥VM15的出口連通，氣動蝶閥VM34的進口與氣動蝶閥VM24的出口連通；螺桿泵1#、螺桿泵2#和螺桿泵3#的出口分別與手動蝶閥VN101、手動蝶閥VN102、手動蝶閥VN103的進口連通；