[發明專利]旋轉式線纜類保護引導裝置

在審

• 申請號: 202111393408.6
• 申請日: 2021-11-23
• 公開（公告）號: CN114572760A
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 服部篤;坂本卓磨
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B65H51/32
• 分類號: B65H51/32
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 楊俊波;喬婉

本發明提供旋轉式線纜類保護引導裝置，其是小型的裝置，能夠使配置有線纜類保護引導部件的環狀空間中的線纜類保護引導部件的軌道穩定。在環狀空間中配置有軌道引導輥，該軌道引導輥通過線纜類保護引導部件的移動端移動而與線纜類保護引導部件接觸并旋轉，并且該軌道引導輥是沿與環狀空間的周向垂直的旋轉軸方向延伸的柱狀的結構物。當在該環狀空間中線纜類保護引導部件進行移動而與軌道引導輥接觸時，軌道引導輥進行旋轉，由此線纜類保護引導部件的移動流暢。因此，能夠通過軌道引導輥對線纜類保護引導部件進行引導而使線纜類保護引導部件的軌道穩定。另外，這樣的軌道引導輥的設置面積小，因此能夠提供小型的旋轉式線纜類保護引導裝置。

技術領域

本發明涉及用于對線纜、軟管和/或管(以下也稱為“線纜類”)進行保護并進行引導的旋轉式線纜類保護引導裝置。

背景技術

半導體制造裝置中，通常在對被處理物進行期望的處理的處理單元中內置大量用于提供電力或流體(空氣或水等)的線纜類。另外，在半導體制造裝置中，在對被處理物進行處理時，大多使處理單元的至少一部分旋轉。

當使處理單元的至少一部分旋轉時，與該處理單元連接的線纜類有可能纏繞。作為用于防止產生這樣問題的裝置，已知有旋轉式線纜類保護引導裝置(參照專利文獻1)。

公知的旋轉式線纜類保護引導裝置包含用于對線纜類進行保護并進行引導的線纜類保護引導部件。該線纜類保護引導部件的一端部與固設于設置面上的外周側引導鼓部件的圓形狀的內側的壁面連接，并且線纜類保護引導部件的另一端部與內周側引導鼓部件的圓形狀的外側的壁面連接。另外，這些壁面設置成同心圓狀。

另外，內周側引導鼓部件能夠以通過圓形狀的外側的壁面的中心的與設置面垂直的直線為中心而旋轉。并且，在該裝置中，內周側引導鼓部件進行旋轉，從而線纜類保護引導部件卷繞于內周側引導鼓部件的壁面上，并且通過將卷繞于該壁面的線纜類保護引導部件解開，可降低線纜類纏繞的可能性。

另外，在該裝置中設置有用于使外周側引導鼓部件的壁面與內周側引導鼓部件的壁面之間的環狀空間中的線纜類保護引導部件彎曲的軌道(彎曲軌道)穩定的引導框(引導件)。該引導框具有與外周側引導鼓部件的壁面等設置成同心圓狀的圓弧狀的壁面，通過該壁面而對線纜類保護引導部件進行引導。

專利文獻1：日本特開2009-44809號公報

在上述的旋轉式線纜類保護引導裝置中，在配置線纜類保護引導部件的環狀空間中設置有引導框，因此裝置的外徑增大。若這樣使裝置的外徑增大，則搭載該裝置所需的設置面積也增大。例如在將該裝置搭載于半導體制造裝置的情況下，半導體制造裝置本身也不得不增大。

半導體制造裝置通常設置于潔凈室中。因此，為了設置大型的半導體制造裝置，需要準備大型的潔凈室或需要將潔凈室的大部分空間分配給半導體制造裝置。在該情況下，潔凈室的制造成本和維持成本增加，并且便利性有可能降低。

發明內容

鑒于該點，本發明的目的在于提供小型的旋轉式線纜類保護引導裝置，其能夠使配置線纜類保護引導部件的環狀空間中的線纜類保護引導部件的軌道穩定。

根據本發明的一個方式，提供旋轉式線纜類保護引導裝置，該旋轉式線纜類保護引導裝置具有：外周部，其與環狀空間的外側面面對；內周部，其與該環狀空間的內側面面對；以及線纜類保護引導部件，其配置于該環狀空間中，并且包含能夠沿著該環狀空間的周向移動的移動端和配置于該環狀空間的規定的位置的固定端，其中，在該環狀空間中配置有沿與該周向垂直的旋轉軸方向延伸的柱狀的軌道引導輥，該軌道引導輥通過該移動端移動而與該線纜類保護引導部件接觸并旋轉。

優選該外周部具有沿該旋轉軸方向延伸且與該環狀空間的外側面面對的多個柱狀的外側滑動改善輥，該外側滑動改善輥通過該移動端移動而與該線纜類保護引導部件接觸并旋轉。