[發(fā)明專利]基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀及其工作方法

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• 申請日: 2021-11-23
• 公開（公告）號: CN114136442A
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 向俊杰;喻正寧;李銳;俞曉峰;吳鋒明;韓雙來
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州譜育科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: G01J3/02
• 分類號: G01J3/02;G01J3/45
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀，所述基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀包括第一光源、第一透反鏡和第一探測器，所述第一光源用于發(fā)射測量光；其特征在于，所述基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀還包括：

第一反射鏡和第二反射鏡，所述第一反射鏡和第二反射鏡關(guān)于所述第一透反鏡對稱設(shè)置，所述第一反射鏡用于反射所述測量光的穿過所述第一透反鏡的透射光，所述第二反射鏡用于反射所述測量光在所述第一透反鏡上的反射光；

第一反射單元，所述第一反射單元包括：

第一旋轉(zhuǎn)臂和驅(qū)動單元，所述第一旋轉(zhuǎn)臂在所述驅(qū)動單元驅(qū)動下繞著旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)；

第三反射鏡和第四反射鏡，所述第三反射鏡和第四反射鏡分別設(shè)置在所述第一旋轉(zhuǎn)臂上，且關(guān)于所述旋轉(zhuǎn)軸對稱；當(dāng)所述第三反射鏡和第四反射鏡旋轉(zhuǎn)到第一工作位時，所述第三反射鏡用于將所述第一反射鏡上的反射光反射回所述第一反射鏡，所述第四反射鏡用于將所述第二反射鏡上的反射光反射回所述第二反射鏡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀，其特征在于，所述第一反射單元還包括：

第五反射鏡和第六反射鏡，所述第五反射鏡設(shè)置在所述第一旋轉(zhuǎn)臂上，并背對所述第三反射鏡，第六反射鏡分別設(shè)置在所述第一旋轉(zhuǎn)臂上，并背對所述第四反射鏡；當(dāng)所述第五反射鏡和第六反射鏡旋轉(zhuǎn)到第一工作位時，所述第五反射鏡用于將所述第一反射鏡上的反射光反射回所述第一反射鏡，所述第六反射鏡用于將所述第二反射鏡上的反射光反射回所述第二反射鏡。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀，其特征在于，所述基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀還包括：

第二光源、第二透反鏡和第二探測器，所述第二光源發(fā)出參比光；

第七反射鏡和第八反射鏡，所述第七反射鏡和第八反射鏡關(guān)于所述第二透反鏡對稱設(shè)置，所述第七反射鏡用于反射所述參比光在所述第二透反鏡上的反射光，所述第八反射鏡用于反射所述參比光的穿過所述第二透反鏡的透射光；

當(dāng)所述第五反射鏡和第六反射鏡旋轉(zhuǎn)到第二工作位時，所述參比光依次被第二透反鏡、第七反射鏡、第五反射鏡、第七反射鏡和第二透反鏡反射，之后被第二探測器接收；所述參比光穿過第二透反鏡的透射光依次被第八反射鏡、第六反射鏡、第八反射鏡之后，穿過所述第二透反鏡后被第二探測器接收。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀，其特征在于，所述基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀還包括：

第二反射單元，所述第二反射單元與所述第一反射單元相同，且共用所述旋轉(zhuǎn)軸；所述第一反射單元和第二反射單元間的夾角是90度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀，其特征在于，所述第三反射鏡和第四反射鏡采用角反射鏡。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀，其特征在于，所述第二光源是激光器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一所述的基于連續(xù)旋轉(zhuǎn)的干涉儀的工作方法，所述工作方法為：

驅(qū)動單元驅(qū)動所述第一旋轉(zhuǎn)臂單方向地連續(xù)旋轉(zhuǎn)，所述第三反射鏡和第四反射鏡跟隨所述第一旋轉(zhuǎn)臂旋轉(zhuǎn)，同時，第一光源發(fā)出測量光；

所述第三反射鏡和第四反射鏡周期性地旋轉(zhuǎn)到第一工作位，此時，所述測量光在第一透反鏡上的反射光依次被第二反射鏡、第四反射鏡和第二反射鏡反射，之后穿過所述第一透反鏡，被第一探測器接收，同時，所述測量光在第一透反鏡上的透射光依次被第一反射鏡、第三反射鏡、第一反射鏡和第一透反鏡反射，之后被第一探測器接收，所述第一探測器輸出干涉信號。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的工作方法，其特征在于，在所述第一旋轉(zhuǎn)臂的連續(xù)旋轉(zhuǎn)中，第二光源發(fā)出參比光；

在所述第三反射鏡和第四反射鏡周期性地旋轉(zhuǎn)到第一工作位的同時，第五反射鏡和第六反射鏡周期性地旋轉(zhuǎn)到第二工作位，此時，所述參比光依次被第二透反鏡、第七反射鏡、第五反射鏡、第七反射鏡和第二透反鏡反射，之后被第二探測器接收；同時，所述參比光穿過第二透反鏡的透射光依次被第八反射鏡、第六反射鏡、第八反射鏡之后，穿過所述第二透反鏡后被第二探測器接收，第二探測器輸出干涉信號。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工作方法，其特征在于，當(dāng)所述第三反射鏡和第四反射鏡周期性地旋轉(zhuǎn)到第二工作位的同時，所述第五反射鏡和第六反射鏡周期性地旋轉(zhuǎn)到第一工作位，此時，所述測量光在第一透反鏡上的反射光依次被第二反射鏡、第五反射鏡和第二反射鏡反射，之后穿過所述第一透反鏡，被第一探測器接收，同時，所述測量光在第一透反鏡上的透射光依次被第一反射鏡、第六反射鏡、第一反射鏡和第一透反鏡反射，之后被第一探測器接收，所述第一探測器輸出干涉信號；

同時，所述參比光依次被第二透反鏡、第七反射鏡、第四反射鏡、第七反射鏡和第二透反鏡反射，之后被第二探測器接收；同時，所述參比光穿過第二透反鏡的透射光依次被第八反射鏡、第三反射鏡、第八反射鏡之后，穿過所述第二透反鏡后被第二探測器接收，第二探測器輸出干涉信號。