[發明專利]一種晶圓勻膠烘烤機

在審

• 申請號: 202111385293.6
• 申請日: 2021-11-22
• 公開（公告）號: CN114100970A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 高波
• 申請（專利權）人: 蘇州康沃斯智能裝備有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C9/14;B05C11/10;B05C13/02;B05D3/02;B65G43/08;B65G47/90
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1.一種晶圓勻膠烘烤機，其包括機架(1)，其特征在于：

所述機架(1)上表面設置有收供料架(2)、機械手(3)、勻膠模組(4)和烘烤臺(5)，機械手(3)設置在機架(1)的中心處，所述收供料架(2)、勻膠模組(4)和烘烤臺(5)設置在機械手(3)的外側，所述收供料架(2)用于放置晶圓(8)，所述勻膠模組(4)包括涂膠機構(6)和勻膠甩干機構(7)，所述涂膠機構(6)設置在勻膠甩干機構(7)的上方，所述涂膠機構(6)用于對晶圓(8)進行涂膠，所述勻膠甩干機構(7)用于抹勻晶圓(8)上的膠，所述烘烤臺(5)用于對涂完膠的晶圓(8)進行烘干，所述機械手(3)將晶圓(8)從收供料架(2)內取出后，然后放置到勻膠模組(4)進行涂膠并抹勻，涂完膠后再將晶圓(8)轉移到烘烤臺(5)上，最后將烘干的晶圓(8)放置到收供料架(2)內。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓勻膠烘烤機，其特征在于：所述機架(1)的上設置有防護罩(9)，所述防護罩(9)的上端設置有空氣凈化風機(10)。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓勻膠烘烤機，其特征在于：所述收供料架(2)包括籃具架(21)、光纖感應器(25)和兩個籃具(23)，所述籃具架(21)上開設有兩個進料口(22)，兩個籃具(23)可拆卸固定在籃具架(21)上，所述籃具(23)上等距離開設有若干個用于放置單個晶圓(8)的儲料格(24)，所述儲料格(24)的開口方向朝向進料口(22)，所述光纖感應器(25)固定在籃具架(21)上且位于籃具(23)的下方，其用于檢測籃具(23)內的晶圓(8)。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓勻膠烘烤機，其特征在于：所述機械手(3)包括安裝盤(301)、第一機械臂(302)和第二機械臂(303)，所述第一機械臂(302)和第二機械臂(303)上下平行設置，其安裝在安裝盤(301)的上方，所述安裝盤(301)的下端安裝有旋轉升降裝置，所述第一機械臂(302)和第二機械臂(303)分別和一個驅動機構相連接，其一端與接料叉固定連接。

5.根據權利要求4所述的一種晶圓勻膠烘烤機，其特征在于：所述驅動機構用于控制第一機械臂(302)或第二機械臂(303)的伸出或收縮，其包括第一電機(304)、第一同步帶輪、第一同步帶(305)、導軌(306)和滑塊(307)，兩個第一同步帶輪轉動安裝在安裝盤(301)上，第一同步帶(305)套設在兩個第一同步帶輪上，一個第一同步帶輪與第一電機(304)的電機軸固定連接，導軌(306)設置在兩個第一同步帶輪之間，滑塊(307)的下端滑動安裝在導軌(306)上，其上端與第一機械臂(302)或第二機械臂(303)固定連接，其中段固定在單側的第一同步帶(305)上。

6.根據權利要求4或5所述的一種晶圓勻膠烘烤機，其特征在于：所述旋轉升降裝置用于控制安裝盤(301)的旋轉和升降，其包括轉盤(308)，所述轉盤(308)固定在安裝盤(301)的下端，其通過同步帶組件與第二電機(309)相連接，所述第二電機(309)用于控制轉盤(308)旋轉，所述轉盤(308)的下端中心處轉動安裝有螺桿(310)，其下方從上到下平行設置有第一安轉板(313)和第二安裝板(314)，所述第一安轉板(313)上轉動安裝有螺紋座(315)，所述螺桿(310)安裝在螺紋座(315)內且其下端伸出螺紋座(315)，所述螺紋座(315)的下端固定安裝有一個第二同步帶輪，所述第二同步帶輪通過第二同步帶(312)與第三電機(311)相連接。

7.根據權利要求1所述的一種晶圓勻膠烘烤機，其特征在于：所述涂膠機構(6)包括第四電機(61)、第三機械臂(62)和膠槍(63)，所述第三機械臂(62)的一端固定在第四電機(61)上，其另一端與膠槍(63)相連接。