[發(fā)明專利]前端雙窗口雙光束小夾角輸出超輻射發(fā)光二極管

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111384519.0
• 申請(qǐng)日: 2021-11-19
• 公開（公告）號(hào): CN114005923A
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 晏長(zhǎng)嶺;楊靜航;馮源;李輝;郝永芹;徐莉;岳云震
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)春理工大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L33/50
• 分類號(hào): H01L33/50;H01L33/54
• 代理公司: 長(zhǎng)春眾邦菁華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 22214
• 代理人: 曲博

1.前端雙窗口雙光束小夾角輸出超輻射發(fā)光二極管，自上而下依次是上電極(1)、覆蓋層(2)、上限制層(3)、上波導(dǎo)(4)、有源層(5)、下波導(dǎo)(6)、下限制層(7)、襯底(8)、下電極(9)，其中，由下電極(9)、襯底(8)、下限制層(7)、下波導(dǎo)(6)、有源層(5)構(gòu)成超輻射發(fā)光二極管的立方體狀主體，所述主體的各層長(zhǎng)度、寬度相同，厚度不同；其特征在于，由上波導(dǎo)(4)、上限制層(3)、覆蓋層(2)、上電極(1)構(gòu)成所述超輻射發(fā)光二極管的前端雙窗口斜波導(dǎo)，所述前端雙窗口斜波導(dǎo)由兩段斜波導(dǎo)和一段彎曲波導(dǎo)構(gòu)成，且在主體上一次刻蝕而成，有源層(5)前端面與所述兩段斜波導(dǎo)各自的前端面對(duì)應(yīng)的部分均為出光窗口(10)，兩個(gè)出光窗口(10)制作有相同的抗反射涂層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的前端雙窗口雙光束小夾角輸出超輻射發(fā)光二極管，其特征在于，所述彎曲波導(dǎo)其俯視形狀有兩種，第一種是等寬度彎曲條形，呈此形狀的彎曲波導(dǎo)的寬度與斜波導(dǎo)的寬度a相同；第二種是漸變寬度彎曲條形，呈此形狀的彎曲波導(dǎo)兩端寬、中間窄，兩端的寬度與斜波導(dǎo)的寬度a相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的前端雙窗口雙光束小夾角輸出超輻射發(fā)光二極管，其特征在于，所述兩段斜波導(dǎo)的相互走向關(guān)系有兩種，第一種是張開式走向關(guān)系，呈此關(guān)系的兩段斜波導(dǎo)的出光方向呈某一小夾角2θ張開；第二種是平行式走向關(guān)系，呈此關(guān)系的兩段斜波導(dǎo)的出光方向平行。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的前端雙窗口雙光束小夾角輸出超輻射發(fā)光二極管，其特征在于，斜波導(dǎo)的寬度a為10～40μm；長(zhǎng)度b為0.5～3mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的前端雙窗口雙光束小夾角輸出超輻射發(fā)光二極管，其特征在于，當(dāng)彎曲波導(dǎo)的俯視形狀為漸變寬度彎曲條形時(shí)，彎曲波導(dǎo)的中間環(huán)寬c為5～10μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的前端雙窗口雙光束小夾角輸出超輻射發(fā)光二極管，其特征在于，兩段斜波導(dǎo)的出光方向所呈某一小夾角2θ中的θ角為5～20°。