[發(fā)明專利]一種劃片機(jī)清洗臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111381170.5
• 申請日: 2021-11-20
• 公開（公告）號: CN114087314B
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡章坤;王強(qiáng);于光明
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司
• 主分類號: F16F15/04
• 分類號: F16F15/04;H01L21/02;H01L21/304
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 王文彬

本申請涉及芯片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種劃片機(jī)清洗臺，其包括內(nèi)盤底板和底盤，所述內(nèi)盤底板底部連有氣缸，所述氣缸的缸筒與所述底盤連接，所述內(nèi)盤底板外側(cè)設(shè)有圓環(huán)，所述圓環(huán)的厚度大于所述內(nèi)盤底板的厚度，所述圓環(huán)上開設(shè)有導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向孔內(nèi)穿設(shè)有導(dǎo)向桿且所述導(dǎo)向桿套設(shè)有直線軸承。本申請具有提升內(nèi)盤底板上下運動時的穩(wěn)定性的效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及芯片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種劃片機(jī)清洗臺。

背景技術(shù)

劃片機(jī)包括劃片機(jī)構(gòu)和清洗臺，劃片機(jī)構(gòu)主要用于半導(dǎo)體襯底材料的劃片和切割，在劃片和切割的過程中產(chǎn)品表面上不可避免地會積存少量的殘余材料，清洗臺對加工后的產(chǎn)品進(jìn)行清洗來保證產(chǎn)品的潔凈度。

相關(guān)技術(shù)中的一種劃片機(jī)清洗臺，清洗臺的內(nèi)盤底板中間加掛有電機(jī)，內(nèi)盤底板上還連有氣缸，氣缸的缸筒和清洗臺的底盤連接，清洗臺的內(nèi)盤底板由氣缸推動而上下運動，為保證內(nèi)盤底板上下運動的穩(wěn)定性，需要對稱的直線機(jī)構(gòu)輔助內(nèi)盤底板上下運動，因此內(nèi)盤底板的邊緣連有導(dǎo)向桿，導(dǎo)向桿上套設(shè)有直線軸承，直線軸承固定在底盤的底面，內(nèi)盤底板通過導(dǎo)向桿的引導(dǎo)作用上下運動。

在實現(xiàn)本申請的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)上述技術(shù)至少存在以下問題：劃片機(jī)清洗臺內(nèi)盤底板中間加掛的電機(jī)易導(dǎo)致內(nèi)盤底板的受力變形且呈錐狀，導(dǎo)向桿連在內(nèi)盤底板的邊緣處導(dǎo)致導(dǎo)向桿略向外偏移，由于直線軸承固定在底盤上，導(dǎo)向桿無法向外偏移并會對直線軸承產(chǎn)生向外的作用力從而導(dǎo)致直線軸承對導(dǎo)向桿造成磨損，進(jìn)而可能影響內(nèi)盤底板上下運動時的穩(wěn)定性。

發(fā)明內(nèi)容

為了提升內(nèi)盤底板上下運動時的穩(wěn)定性，本申請?zhí)峁┮环N劃片機(jī)清洗臺。

本申請?zhí)峁┑囊环N劃片機(jī)清洗臺采用如下的技術(shù)方案：

一種劃片機(jī)清洗臺，包括內(nèi)盤底板和底盤，所述底盤底面連有氣缸，所述氣缸的活塞桿穿過所述底盤與所述內(nèi)盤底板連接，所述內(nèi)盤底板外側(cè)設(shè)有圓環(huán)，所述圓環(huán)的厚度大于所述內(nèi)盤底板的厚度，所述圓環(huán)上開設(shè)有導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向孔內(nèi)穿設(shè)有導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向桿穿過所述底盤且套設(shè)有直線軸承，所述直線軸承設(shè)在所述底盤的底面。

通過采用上述技術(shù)方案，加厚清洗臺內(nèi)盤底板外緣的圓環(huán)，可以減小內(nèi)盤底板邊緣的形變量，導(dǎo)向孔設(shè)置在圓環(huán)上可以減小導(dǎo)向桿的傾斜量，使得導(dǎo)向桿對直線軸承的作用力減小，不易使直線軸承內(nèi)的鋼珠受力卡出弧形槽，從而造成導(dǎo)向桿和鋼珠相互碰撞造成損耗，進(jìn)而提升內(nèi)盤底板上下運動時的穩(wěn)定性。

優(yōu)選的，所述直線軸承包括上軸承、軸承隔環(huán)和下軸承；所述軸承隔環(huán)的頂端與所述上軸承的底端連接，所述軸承隔環(huán)的底端與所述下軸承的頂端連接，所述軸承隔環(huán)上開設(shè)有入油孔。

通過采用上述技術(shù)方案，在注油時，油可以通過入油孔與導(dǎo)向桿接觸，由于導(dǎo)向桿上下運動，油得以在導(dǎo)向桿上實現(xiàn)較大的覆蓋效果。

優(yōu)選的，所述直線軸承外設(shè)有直線軸承套，所述直線軸承套上開設(shè)有注油孔，所述軸承隔環(huán)外側(cè)壁開設(shè)有環(huán)形槽，所述注油孔與所述環(huán)形槽連通，所述環(huán)形槽與所述入油孔連通。

通過采用上述技術(shù)方案，注油孔便于注油，油從注油孔進(jìn)入環(huán)形槽，并從與環(huán)形槽貫通的入油孔進(jìn)入從而實現(xiàn)對導(dǎo)向桿的潤滑效果；除此之外，油還可以儲存在環(huán)形槽中，保證導(dǎo)向桿上的油脂充足。

優(yōu)選的，所述直線軸承套內(nèi)側(cè)壁頂部設(shè)有擋圈，所述擋圈與所述上軸承頂部相貼合，所述直線軸承套的底部與所述下軸承底部相抵。

通過采用上述技術(shù)方案，擋圈抵住上軸承的頂部，直線軸承套抵住下軸承的底部，擋圈可以起到防止直線軸承松動的作用。

優(yōu)選的，所述直線軸承套外設(shè)有凸臺，所述注油孔開設(shè)在所述凸臺上。

通過采用上述技術(shù)方案，凸臺的設(shè)置可以在凸臺上開設(shè)多個注油孔，便于添加油路，提高注油效率。