[發明專利]一種晶圓檢測高精度氣浮運動平臺及方法

在審

• 申請號: 202111374217.5
• 申請日: 2021-11-19
• 公開（公告）號: CN114111691A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 劉浩;須穎;賈靜
• 申請（專利權）人: 三英精控（天津）儀器設備有限公司
• 主分類號: G01B21/24
• 分類號: G01B21/24;G01R31/26;G01R1/02;H01L21/66
• 代理公司: 深圳市爾遜專利代理事務所(普通合伙) 44505
• 代理人: 周盈如

1.一種晶圓檢測高精度氣浮運動平臺，其特征在于,包括：

基座，用于晶圓檢測過程中的底座；

橫梁，安裝在所述基座上；

滑臺，能夠沿所述橫梁的表面滑動，所述滑臺的頂部可用于承載晶圓；

直線電機，所述直線電機用于驅動滑臺沿橫梁滑動；

傳感器，具有至少三個，所述傳感器分布在滑臺的側面，所述至少三個傳感器被配置為檢測晶圓的垂直直線度；

氣浮軸承，包括第一氣浮軸承、第二氣浮軸承以及第三氣浮軸承，所述第一氣浮軸承和第二氣浮軸承用于滑臺的側面限位懸浮，所述第三氣浮軸承用于滑臺的底面限位懸浮；

補償裝置，位于所述滑臺的上方，所述補償裝置基于傳感器檢測的實時數據，對晶圓的垂直直線度進行補償。

2.根據權利要求1所述的氣浮運動平臺，其特征在于,還包括高精度平面，所述高精度平面用于晶圓平面度的參考面，所述傳感器通過測量晶圓相對于該高精度平面的位置變化，以實現晶圓垂直直線度的檢測。

3.根據權利要求2所述的氣浮運動平臺，其特征在于,所述高精度平面為平晶，所述平晶安裝在第一安裝座上，所述第一安裝座固定在基座上，該平晶和第一安裝座分別具有兩組，其中一組平晶和第一安裝座位于滑臺的一側，另一組平晶和第一安裝座位于滑臺的另一側。

4.根據權利要求1所述的氣浮運動平臺，其特征在于,還包括第二安裝座，所述第二安裝座有兩個，分別固定在滑臺的兩側，所述傳感器有三個，包括第一傳感器、第二傳感器和第三傳感器，所述第一傳感器安裝在其中一側的第二安裝座上，所述第二傳感器和第三傳感器共同安裝在另一側的第二安裝座上。

5.根據權利要求1所述的氣浮運動平臺，其特征在于,所述滑臺的頂部放置納米補償運動臺，所述晶圓安放在納米補償運動臺上，該納米補償運動臺疊加在氣浮運動平臺的滑臺上，所述晶圓可隨納米補償運動臺做直線運動。

6.根據權利要求1所述的氣浮運動平臺，其特征在于,還包括阻尼器和擋板，所述擋板位于橫梁的兩側，用于橫梁的封閉，所述阻尼器有兩個，相對設置，分別位于靠近擋板的內側，所述阻尼器用于對滑臺的運動軌跡進行限位。

7.根據權利要求1所述的氣浮運動平臺，其特征在于，所述補償裝置為納米補償臺。

8.一種晶圓檢測方法，其特征在于,包括：

步驟S100:將待檢測晶圓安放在滑臺上；

步驟S200:通過直線電機驅動滑臺沿橫梁的表面滑動；

步驟S300:通過至少三個傳感器分別檢測晶圓運動過程中的垂直直線度；

步驟S400:通過補償裝置對晶圓的垂直直線度進行補償。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于,所述步驟S300中還包括：設置高精度平面，所述傳感器測量氣浮運動臺垂直方向跳動，實現晶圓垂直直線度的檢測。

10.根據權利要求8所述的方法，其特征在于,所述步驟S400中補償過程具體為：傳感器將檢測到的滑臺垂直直線度誤差信號傳遞至補償裝置，補償裝置通過調整滑臺的運動軌跡，完成晶圓垂直直線度的補償。