[發(fā)明專利]一種表面張力驅(qū)動的納米級柔性電子轉(zhuǎn)印方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111374107.9
• 申請日: 2021-11-19
• 公開（公告）號: CN114120830B
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李明;劉軍山;亢戰(zhàn);車?yán)?/a>;胡小光
• 申請（專利權(quán)）人: 大連理工大學(xué)
• 主分類號: G09F9/30
• 分類號: G09F9/30;B82Y30/00
• 代理公司: 遼寧鴻文知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 21102
• 代理人: 王海波

1.一種表面張力驅(qū)動的納米級柔性電子轉(zhuǎn)印方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）利用去離子水清洗電子器件薄膜，去除電子器件薄膜上的殘余物和雜質(zhì)，然后使用具有表面張力性質(zhì)的透明粘性液體，使電子器件薄膜飄浮于粘性液體中；

（2）將硬質(zhì)的圓環(huán)伸入透明粘性液體中電子器件薄膜下方，使電子器件薄膜的一部分與

圓環(huán)邊緣接觸；電子器件薄膜隨圓環(huán)一起脫離透明粘性液體表面，其位于圓環(huán)離開透明粘性液體形成的液膜中；電子器件薄膜在液膜中不能自由滑移，以確保后續(xù)定位精度；

（3）隨著圓環(huán)的提升，電子器件薄膜完全離開透明粘性液體，并以自由伸展?fàn)顟B(tài)附著在

圓環(huán)內(nèi)的液膜上；

（4）將圓環(huán)靠近并對齊任意復(fù)雜曲面受體，下移圓環(huán)，自然放置或施加局部載荷使電子器件薄膜與受體表面共形接觸，形成液膜非均勻變形，使得電子器件薄膜與受體復(fù)雜曲面共形接觸；

（5）液膜自然破裂或人為破壞，電子器件薄膜與受體緊密接觸，完成轉(zhuǎn)印過程；

所述的透明粘性液體為肥皂液。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面張力驅(qū)動的納米級柔性電子轉(zhuǎn)印方法，其特征在于，所述的透明粘性液體，其形成的液膜厚度為納米量級，超薄電子器件薄膜厚度可低至100納米，轉(zhuǎn)印的電子器件薄膜可形成原位測量效果；表面張力使得轉(zhuǎn)印過程產(chǎn)生較低水平的應(yīng)力，適應(yīng)于超薄材料轉(zhuǎn)印，透明使得轉(zhuǎn)印清晰，所見即所得，實現(xiàn)精準(zhǔn)定位。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種表面張力驅(qū)動的納米級柔性電子轉(zhuǎn)印方法，其特征在于，步驟（5）中，所述人為破壞是使用憎水性材料或尺寸在2mm以上的常規(guī)材料接觸液膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種表面張力驅(qū)動的納米級柔性電子轉(zhuǎn)印方法，其特征在于，能夠轉(zhuǎn)印的電子器件薄膜質(zhì)量正比于圓環(huán)直徑大小。

5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或4 所述的一種表面張力驅(qū)動的納米級柔性電子轉(zhuǎn)印方法，其特征在于，步驟(2)中，成功提起并限制電子器件薄膜在液膜中自由滑移的方式為電子器件薄膜一部分與圓環(huán)邊緣接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種表面張力驅(qū)動的納米級柔性電子轉(zhuǎn)印方法，其特征在于，步驟(2)中，成功提起并限制電子器件薄膜在液膜中自由滑移的方式為電子器件薄膜一部分與圓環(huán)邊緣接觸。