[發明專利]一種剝離光阻的裝置及其控制方法

在審

• 申請號: 202111363522.4
• 申請日: 2021-11-17
• 公開（公告）號: CN114063398A
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 張桂林;張依騰;何海山;李偉界
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;G02F1/13
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 唐超

本發明涉及一種剝離光阻的裝置，包括有效成分添加裝置、補給監控裝置、若干個剝離槽和若干個存儲槽，若干個剝離槽分別連通有存儲槽，若干個存儲槽之間互相連接；存儲槽至少包括第一存儲槽和第N存儲槽，第一存儲槽上設置有出液管，第N剝離槽上設置有進液管；有效成分添加裝置和第一存儲槽通過管道連接，管道上設置有開關閥；補給監控裝置分別和第一存儲槽、有效成分添加裝置連接，補給監控裝置與有效成分添加裝置通信連接；補給監控裝置通過進液管對第N存儲槽添加剝離液新液，補給監控裝置通過出液管排放第一存儲槽中的剝離液廢液，補給監控裝置控制若干個存儲槽之間的連通狀態。本發明還涉及一種控制上述剝離光阻的裝置的方法。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別涉及一種剝離光阻的裝置及其控制方法。

背景技術

薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)可視為兩片玻璃基板中間夾著一層液晶，上層玻璃基板(CF基板)上設置有彩色濾光片、下層玻璃基板(TFT基板)上設置有薄膜晶體管。當電流通過薄膜晶體管時，產生電場變化，電場的變化引起液晶分子偏轉，從而來改變光線的偏極性，而實現預期的顯示畫面。

在TFT-LCD的TFT基板的制程工藝中需要多道制程工藝，其中每一道制程工藝都會涉及到光阻的剝離，而剝離液(Stripper)被大量廣泛的應用在圖案形成后的剝離工序。現有的水系剝離液基本組成包括有機胺、有機溶劑、添加劑、水。現有剝離光阻的方式是將光阻融入到剝離藥液中，有機胺類物質可將光阻的大分子切斷為小分子，有機溶劑類物質與光阻發生滲透，使光阻軟化、膨脹溶解，然后剝離光阻。由于是將光阻融入到剝離藥液中實現對光阻的剝離，剝離光阻后剝離藥液中光阻的濃度會逐漸增加，使得剝離藥液的剝離能力逐漸下降。

剝離液在TFT基板的制程工藝中的消耗量比較大，并且剝離液的生產成本較高。水系剝離液在剝離的反應過程中，水分會逐漸降低，降低到一定程度時需要將剝離槽(即裝有剝離液的槽體)內的剝離液廢液排掉更換新的剝離液，排放的廢液中含有較高濃度的有機類物質(包括有機胺、有機溶劑)，剝離液的沒有得到充分的利用。

發明內容

針對現有技術中存在的技術問題，本發明提供一種剝離光阻的裝置以及該裝置的控制方法，該剝離光阻的裝置能實現減少排放的剝離液廢液中的有效成分，從而減少剝離液的更新頻度，因此能顯著提高剝離液的利用率。

本發明提供一種剝離光阻的裝置，包括有效成分添加裝置、補給監控裝置、若干個剝離槽和若干個存儲槽，剝離槽和存儲槽的數量相同，若干個剝離槽分別連通有存儲槽，若干個存儲槽之間互相連接。

剝離槽為裝有剝離液的槽體，TFT基板放入剝離槽內的剝離液中進行剝離光阻，并且TFT基板依次放入不同的剝離槽中進行剝離光阻，因此根據TFT基板的放入剝離槽的順序，將若干個剝離槽分別標記為“第一剝離槽”、“第二剝離槽”、“第三剝離槽”…“第N(N為不小于2的正整數)剝離槽”，即TFT基板先放入第一剝離槽的剝離液中，然后再放入第二剝離槽的剝離液中，然后再放入第三剝離槽的剝離液中…最后放入第N剝離槽的剝離液中，該過程為單向線性的。

同時，也將第一剝離槽連通的存儲槽標記為第一存儲槽，第二剝離槽連通的存儲槽標記為第二存儲槽，第三剝離槽連通的存儲槽標記為第三存儲槽…第N剝離槽連通的存儲槽標記為第N存儲槽。并且，第一存儲槽上設置有出液管，第N剝離槽上設置有進液管，出液管用于排出剝離液廢液，進液管用于引入剝離液新液。