[發明專利]一種飛秒深紫外五倍頻激光器

在審

• 申請號: 202111362085.4
• 申請日: 2021-11-17
• 公開（公告）號: CN113922194A
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 王家贊;陳旭光;楊軍紅
• 申請（專利權）人: 廣東粵港澳大灣區硬科技創新研究院
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00;H01S3/109
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 魏毅宏

1.一種飛秒深紫外五倍頻激光器，其特征在于，包括基頻飛秒激光器(1)、二倍頻模塊(2)、雙色鏡(3)、雙色鏡(4)、四倍頻模塊(5)、五倍頻模塊(6)、第一反射鏡(7)及第一反射鏡(8)，其中：

所述基頻飛秒激光器(1)提供基頻脈沖激光信號，所述基頻脈沖激光信號入射進入所述二倍頻模塊(2)，所述二倍頻模塊(2)將所述基頻脈沖激光信號通過光學非線性效應轉化為二倍頻激光，所述雙色鏡(3)透射所述二倍頻激光并反射所述基頻脈沖激光信號；

所述第一反射鏡(7)將經所述雙色鏡(3)反射的所述基頻脈沖激光信號反射到所述第二反射鏡(8)上，所述第二反射鏡(8)再將所述基頻脈沖激光信號反射到所述雙色鏡(4)處；

所述雙色鏡(4)透射經所述雙色鏡(3)透射的所述二倍頻激光以及反射經所述第二反射鏡(8)反射的所述基頻脈沖激光信號，并將所述二倍頻激光及所述基頻脈沖激光信號合束后傳輸至所述四倍頻模塊(5)；

所述四倍頻模塊(5)將所述二倍頻激光通過光學非線性效應轉化為四倍頻激光，并且透射所述基頻脈沖激光信號，所述五倍頻模塊(6)將經所述四倍頻模塊(5)產生的四倍頻激光和透射的所述基頻脈沖激光信號通過光學非線性和頻效應轉化為五倍頻激光。

2.如權利要求1所述的飛秒深紫外五倍頻激光器，其特征在于，還包括高精度位移臺(9)，所述高精度位移臺(9)用于整體平移所述第一反射鏡(7)和第二反射鏡(8)的位置。