[發明專利]一種平板顯示器用合金濺射靶材及其制備方法

有效

• 申請號: 202111350335.2
• 申請日: 2021-11-15
• 公開（公告）號: CN114231915B
• 公開（公告）日: 2023-09-19
• 發明（設計）人: 周志宏;肖世洪;雷雨;劉芳
• 申請（專利權）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/35;C21D9/00;C22C1/03;C22C1/06;C22F1/18;C22F3/00
• 代理公司: 廣州一銳專利代理有限公司 44369
• 代理人: 朱蓉艷

1.一種平板顯示器用合金濺射靶材，其特征在于，包括鉬鈮、細化晶粒劑、稀土元素改進劑和流動劑；鉬鈮、細化晶粒劑、稀土元素改進劑、流動劑的物質質量比為（9-11）：（1-4）：（1.5-2.5）：0.5；

所述細化晶粒劑的制備方法為：

S1：熔煉處理：將Te、Mo按照重量比3:1混合，然后送入到熔煉爐中熔煉，至原料完全熔化；

S2：將熔煉的原料自然冷卻成型，然后進行熱軋冷軋處理：

S3：最后進行均勻化處理；

先于300-400℃下均勻化處理15-25min，處理結束，然后以1-3℃/min的速率自然冷卻至200℃，繼續保溫10-30min，最后自然冷卻至室溫，即可；所述稀土元素改進劑為稀土鑭、TaC按照重量比2:1混合；所述流動劑為硅粉；所述熱軋冷軋處理中熱軋溫度為500-800℃，熱軋時間為15-25min，熱軋變形率為30-50%，熱軋結束；

然后于0-20℃下冷軋，冷軋時間為35-45min，冷軋變形率為10-20%；

平板顯示器用合金濺射靶材的制備方法，包括以下步驟：

步驟一，熔煉處理：將鉬鈮、細化晶粒劑、稀土元素改進劑和流動劑送入到電弧熔煉爐中處理，至原料完全熔化，熔化后以100-500r/min的轉速20-30min；

步驟二，將熔煉的原料送入到模具箱內加壓冷卻成型，加壓壓力為5-10MPa，保壓10-20s，冷卻溫度以1-5℃/min的速率降溫至室溫，得到成型料；

步驟三，將成型料進行預改性處理：

步驟四，急速氣冷處理：采用氣冷處理對預改性處理的產品改進，然后進行高頻細化處理；

步驟五，最后進行均勻化處理；

具體處理方法為：

將處理料送入到200-400℃下熱處理10-30min，然后以1-3℃/min的速率升溫至550℃，繼續保溫10-30min，反應結束，然后以5℃/min的速率降至130-150℃，繼續保溫20-30min，保溫結束，自然冷卻至室溫；

步驟六，最后進行時效處理；時效處理中溫度為500-700℃，時效時間為10-30min，最后以1-5℃/min的速率降至室溫，即可。

2.根據權利要求1所述平板顯示器用合金濺射靶材，其特征在于，所述電弧熔煉爐的電流為15-25kA，電壓為25-35V，真空度為1.5-3.5Pa。

3.根據權利要求1所述平板顯示器用合金濺射靶材，其特征在于，所述電弧熔煉爐的電流為20kA，電壓為30V，真空度為2.0Pa。

4.根據權利要求1所述平板顯示器用合金濺射靶材，其特征在于，所述預改性處理具體操作步驟為：

S1：將成型料送入到100-300v電壓下進行轟擊處理，轟擊壓力為10-20min；

S2：然后送入到500-600℃下預熱處理，預熱時間為10-30min，預熱結束，然后再以1-3℃/min的速率降至300℃，繼續保溫25-35min；

S3：然后通電流處理，電流強度為1-4A，電流時間為10-20min，隨后進行低壓燒結，低壓燒結的壓力為1-4MPa，得到處理料。

5.根據權利要求4所述平板顯示器用合金濺射靶材，其特征在于，所述氣冷處理的具體操作步驟為：

先采用質量分數1-5%的十二烷基硫酸鈉溶液浸潤，浸潤溫度為35-45℃，浸潤時間為10-20min；

然后采用-5℃的低溫氮氣對預改性處理的產品進行吹射處理，吹射壓力為1-5Mpa，吹射時間為10-20min；

最后于60-80℃去離子水中清洗1-3次，然后干燥，即可。

6.根據權利要求5所述平板顯示器用合金濺射靶材，其特征在于，所述高頻細化處理的具體操作步驟為：

先以150-180KHz的頻率細化處理，細化時間為5-10min，細化溫度為210-240℃；

然后將細化溫度調至160-200℃，頻率降至120-130KHz，繼續細化10-20min；

最后至于120-150℃下繼續細化20-30min，細化結束，以1-3℃/min的速率自然冷卻至室溫，即可。