[發(fā)明專利]廢水處理方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111345767.4
• 申請日: 2021-11-15
• 公開（公告）號: CN116143311A
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧祐增
• 申請（專利權(quán)）人: 超重力股份有限公司
• 主分類號: C02F9/00
• 分類號: C02F9/00;C02F101/10;C02F101/16;C02F1/66;C02F1/44;C02F1/72
• 代理公司: 北京泰吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11355
• 代理人: 史瞳;顧以中

一種廢水處理方法，該廢水含有過氧化氫，所述廢水處理方法包含以下步驟：(a)將該廢水的pH值調(diào)整至10.5以上，以得到堿性廢水；及(b)將含有二氧化碳的氣體及該堿性廢水分別引入捕碳超重力裝置以進(jìn)行氣液接觸，以使該氣體中的二氧化碳被該堿性廢水吸收，因而降低該堿性廢水中的過氧化氫含量，在該捕碳超重力裝置中，該含有二氧化碳的氣體與該堿性廢水的體積流量比為13∶1?1100∶1，該含有二氧化碳的氣體的二氧化碳濃度為0.4％以上。該廢水處理方法能夠有效降低廢水中的過氧化氫含量，無需消耗大量的催化劑或頻繁更換耗材。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種廢水處理方法，特別是涉及一種利用含有二氧化碳的氣體及超重力裝置來進(jìn)行的廢水處理方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體工藝中清洗晶圓時，常會使用含有氨氮(NH₃-N)及過氧化氫(H₂O₂)[即氨-過氧化氫混合物(ammonium-hydrogen?peroxide?mixture，APM)]的清洗液，因而在使用后會產(chǎn)生大量的APM廢水。

處理含有過氧化氫的APM廢水通常是在其中添加活性碳或過氧化氫酶(catalase)等催化劑來加速過氧化氫分解，然而，由于一個半導(dǎo)體工廠所產(chǎn)生的APM廢水量可高達(dá)數(shù)百至數(shù)千CMD(m³/day)，因此需要消耗非常大量的催化劑或需要頻繁更換耗材。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種廢水處理方法，可以克服上述背景技術(shù)的缺點(diǎn)。

本發(fā)明所述的含有過氧化氫(H₂O₂)的廢水處理方法包含以下步驟：

(a)將該廢水的pH值調(diào)整至10.5以上，以得到堿性廢水；及

(b)將含有二氧化碳的氣體及該堿性廢水分別引入捕碳超重力裝置以進(jìn)行氣液接觸，以使該氣體中的二氧化碳被該堿性廢水吸收，因而降低該堿性廢水中的過氧化氫含量，在該捕碳超重力裝置中，該含有二氧化碳的氣體與該堿性廢水的體積流量比為13∶1-1100∶1，該含有二氧化碳的氣體的二氧化碳濃度為0.4％以上。

以下將就本發(fā)明內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)說明：

優(yōu)選地，該步驟(a)是將該廢水的pH值調(diào)整至11.0-13.5，以得到堿性廢水。

優(yōu)選地，在該步驟(b)中，該含有二氧化碳的氣體的二氧化碳濃度為0.4％-20.1％。更優(yōu)選地，在該步驟(b)中，該含有二氧化碳的氣體的二氧化碳濃度為0.4％-4.5％。

優(yōu)選地，在該步驟(b)中，該含有二氧化碳的氣體與該堿性廢水的體積流量比為13∶1-600∶1。

優(yōu)選地，該廢水還含有氨，本發(fā)明廢水處理方法還包含步驟(b′)：在該步驟(a)之后及在該步驟(b)之前，將以空氣為主的氣體及該堿性廢水分別引入脫氨超重力裝置以進(jìn)行氣液接觸，通過氣提降低該堿性廢水中的氨氮含量，在該脫氨超重力裝置中，該以空氣為主的氣體與該堿性廢水的體積流量比為500：1-6000：1。更優(yōu)選地，在該步驟(b′)中，在該脫氨超重力裝置中，該以空氣為主的氣體與該堿性廢水的體積流量比為750∶1-3500∶1。

更優(yōu)選地，本發(fā)明廢水處理方法還包含步驟(c)：在該步驟(b)之后，將該堿性廢水引入緩沖槽進(jìn)行靜置，以待該過氧化氫分解產(chǎn)生氧氣。

更優(yōu)選地，本發(fā)明廢水處理方法還包含步驟(d)：在該步驟(b)之后，將該堿性廢水引入逆滲透裝置，以得到逆滲透水及濃縮液。又更優(yōu)選地，本發(fā)明廢水處理方法還包含步驟(d′)：在該步驟(b)之后及在該步驟(d)之前，將該堿性廢水引入催化劑槽以進(jìn)一步去除該堿性廢水中殘留的過氧化氫。

本發(fā)明的有益效果在于：該廢水處理方法能夠有效降低廢水中的過氧化氫含量，無需消耗大量的催化劑或頻繁更換耗材。

附圖說明