[發(fā)明專利]一種單軌硅片收籃機(jī)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111345713.8
• 申請(qǐng)日: 2021-11-15
• 公開（公告）號(hào): CN113990786A
• 公開（公告）日: 2022-01-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州康沃斯智能裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種帶打標(biāo)的硅片收籃機(jī)，其包括機(jī)架，機(jī)架的上方設(shè)置有放料機(jī)構(gòu)、輸送機(jī)構(gòu)、搬運(yùn)機(jī)構(gòu)和裝籃組件，放料機(jī)構(gòu)用于儲(chǔ)放晶圓，其設(shè)置在傳輸機(jī)傳輸起點(diǎn)的一側(cè)，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)用于將晶圓從放料機(jī)構(gòu)搬運(yùn)到傳輸機(jī)的傳輸起點(diǎn)上，傳輸機(jī)將晶圓輸送到傳輸終點(diǎn)并通過推料氣缸、推料塊以及籃具頂升模組將晶圓放入裝籃組件內(nèi)。本發(fā)明通過放料機(jī)構(gòu)、輸送機(jī)構(gòu)、搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、裝籃組件和籃具頂升模組的設(shè)置實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)對(duì)晶圓的分片收籃，降低了用工數(shù)量，節(jié)約了用工成本，大大的提高工作效率，晶圓收籃產(chǎn)能達(dá)到了1000?1200Pcs/H，裝籃操作省時(shí)省力，同時(shí)疊片率小于1％，碎片率小于3‰，也保證了收籃質(zhì)量，適于推廣應(yīng)用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓收籃技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種單軌硅片收籃機(jī)。

背景技術(shù)

晶圓在涂源完成需要進(jìn)行分片收籃，需要將原盛裝籃中的硅片裝入另外的適用于分片設(shè)備的籃具內(nèi)，現(xiàn)有技術(shù)中，晶圓的分片、收籃均是采用人工進(jìn)行，人工搬運(yùn)、分片以及對(duì)晶圓的收籃過程中，容易發(fā)生晶圓與工裝碰撞、晶圓與晶圓之間碰撞，從而使晶圓產(chǎn)生缺角或破片的情況，會(huì)導(dǎo)致碎片率上升，影響半導(dǎo)體晶圓的生產(chǎn)良率；在人工進(jìn)行重裝的過程中，不僅用工數(shù)量多，人工成本高，而且裝籃操作費(fèi)時(shí)費(fèi)力，長時(shí)間的分揀操作，易造成作業(yè)人員疲勞，同時(shí)也浪費(fèi)時(shí)間，裝籃效率低，造成硅片的生產(chǎn)效率和合格率下降。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種單軌硅片收籃機(jī)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種單軌硅片收籃機(jī)，其包括機(jī)架，機(jī)架的上方設(shè)置有放料機(jī)構(gòu)、輸送機(jī)構(gòu)、搬運(yùn)機(jī)構(gòu)和裝籃組件，輸送機(jī)構(gòu)包括傳輸機(jī)、支撐腿、收料盒、擋料桿、擋料氣缸、第一電機(jī)、推料氣缸和推料塊，傳輸機(jī)固定在支撐腿上且通過第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)，傳輸機(jī)中段的外側(cè)傾斜設(shè)置有收料盒，擋料桿和擋料氣缸相連接，擋料氣缸固定在支撐腿上且與收料盒相對(duì)，推料氣缸和推料塊設(shè)置在傳輸機(jī)傳輸終點(diǎn)的上方，推料塊固定在推料氣缸的活塞桿上；

裝籃組件包括圓形的旋轉(zhuǎn)臺(tái)、籃具組件、調(diào)節(jié)槽和分度盤，旋轉(zhuǎn)臺(tái)下端的圓心處固定在分度盤的輸出端，其上端放置有若干個(gè)成圓形陣列分布的籃具組件，旋轉(zhuǎn)臺(tái)上還開設(shè)有與籃具組件數(shù)量相同的調(diào)節(jié)槽，調(diào)節(jié)槽設(shè)置在籃具組件的下方；

旋轉(zhuǎn)臺(tái)的下方還設(shè)置有籃具頂升模組，籃具頂升模組用于調(diào)節(jié)籃具組件的高度；

放料機(jī)構(gòu)用于儲(chǔ)放晶圓，其設(shè)置在傳輸機(jī)傳輸起點(diǎn)的一側(cè)，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)用于將晶圓從放料機(jī)構(gòu)搬運(yùn)到傳輸機(jī)的傳輸起點(diǎn)上，傳輸機(jī)將晶圓輸送到傳輸終點(diǎn)并通過推料氣缸、推料塊以及籃具頂升模組將晶圓放入籃具組件內(nèi)。

優(yōu)選的，籃具頂升模組包括第一安裝板、第二安裝板、固定桿、第二電機(jī)、螺桿、螺紋座、頂升桿、頂升塊和電磁鐵，第二安裝板和第一安裝板上下平行設(shè)置，其之間通過固定桿相連接，第一安裝板的下端固定安裝有第二電機(jī)，第二電機(jī)的電機(jī)軸伸出第一安裝板且與螺桿固定連接，螺桿上安裝有螺紋座，螺紋座上安裝有兩個(gè)頂升桿，兩個(gè)頂升桿的上端伸出第二安裝板且安裝在頂升塊的下端，頂升塊的上端安裝有電磁鐵。

優(yōu)選的，放料機(jī)構(gòu)包括電動(dòng)推桿、固定板、定位桿和頂盤，電動(dòng)推桿安裝在固定板的下方，其輸出端從下到上穿過固定板且與頂盤固定相連，固定板固定在機(jī)架上，其上端固定安裝有若干根成圓形陣列分布的定位桿，固定板上還對(duì)稱固定有兩個(gè)安裝桿，安裝桿的上方固定有氣嘴。

優(yōu)選的，第一搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括安裝盒、導(dǎo)軌、第一氣缸、第二氣缸和吸盤，安裝盒固定在支撐腳的上端，支撐腳固定在機(jī)架上，導(dǎo)軌設(shè)置在安裝盒內(nèi)，第一氣缸固定在安裝盒的外側(cè)，其活塞桿伸入安裝盒內(nèi)且與滑塊固定相連，滑塊左右滑動(dòng)安裝在導(dǎo)軌上，滑塊的外側(cè)固定有第二氣缸，滑塊的運(yùn)動(dòng)路徑上設(shè)置有緩沖器，第二氣缸的活塞桿上固定安裝有用于吸附晶圓的吸盤。

優(yōu)選的，籃具組件包括籃具、籃具底座、吸附塊，籃具上開設(shè)有若干個(gè)用于存放晶圓的放置槽，其下端可拆卸固定在籃具底座上，籃具底座的下端設(shè)置有能與電磁鐵相吸的吸附塊。