[發明專利]干燥裝置

有效

• 申請號: 202111345665.2
• 申請日: 2021-11-15
• 公開（公告）號: CN114122302B
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發明（設計）人: 邴一飛
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H10K71/13
• 分類號: H10K71/13;H10K71/40;B41J11/00
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 李莎

本申請實施例提供一種干燥裝置；該干燥裝置包括箱體以及冷卻組件，冷卻組件位于箱體內，冷卻組件包括用于承載顯示面板的控溫板，其中，控溫板的中心區域的溫度大于控溫板的邊緣區域的溫度；上述干燥裝置通過調節與顯示面板相接觸的控溫板在不同區域的溫度，來調控顯示面板內經噴墨打印制備的膜層中溶液的四周和中心在干燥過程中的溫度，以控制抽氣速率，以使在揮發過程中溶液在各個位置的蒸發速率保持一致，從而確保經噴墨打印的膜層在揮發后成膜厚度的均勻性。

技術領域

本申請涉及顯示領域，具體涉及一種干燥裝置。

背景技術

噴墨打印(ink jet print，IJP)是一種可直接進行圖案化薄膜沉積的新型制程技術，因此目前有機電致發光顯示(Organic Light-Emitting Display，OLED)器件中的各功能層，如空穴傳輸層、有機發光層以及電子傳輸層等通常是采用噴墨打印技術形成特定的圖案的。

噴墨打印工藝大致包括：噴墨打印(IJP)工藝、真空干燥(VCD)工藝和烘干(Bake)工藝。其中，以真空干燥工藝對薄膜最后形貌的影響最重要。現有的真空干燥設備是一種通過低溫、低壓對目標溶液進行干燥的設備，其主要通過極低的壓強使溶液發生氣化揮發，并通過抽氣管路將氣化的溶液抽離，最終形成干燥的固體膜層。然而由于在揮發過程中，不同位置的溶液揮發速率不同，會導致咖啡環效應，從而導致噴墨打印層的膜厚不均。

因此，亟需一種干燥裝置以解決上述技術問題。

發明內容

本申請實施例提供一種干燥裝置，可以改善當前噴墨打印工藝制備的顯示器件成膜厚度不均的技術問題。

本申請實施例提供一種干燥裝置，應用于顯示面板，包括箱體以及冷卻組件，所述冷卻組件位于所述箱體內，所述冷卻組件包括用于承載所述顯示面板的控溫板；

其中，所述控溫板的中心區域的溫度大于所述控溫板的邊緣區域的溫度。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述冷卻組件還包括第一冷卻板以及設置于所述第一冷卻板上的第二冷卻板，所述第二冷卻板設置于所述第一冷卻板與所述控溫板之間；

其中，所述第一冷卻板內設置有第一流體管路，所述第二冷卻板內設置有第二流體管路，流體介質在所述第一流體管路以及所述第二流體管路內循環流動。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述第一流體管路在所述控溫板上的正投影位于所述控溫板的中心區域內，所述第二流體管路在所述控溫板上的正投影位于所述控溫板的邊緣區域內。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述第一流體管路內的流體介質的材料與所述第二流體管路內的流體介質的材料相同；所述第一流體管路內的流體介質的流速小于位于所述第二流體管路內的流體介質的流速。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述邊緣區域包括第一子邊緣區域以及與所述第一子邊緣區域相鄰的第二子邊緣區域，所述第一子邊緣區域對應于所述控溫板的四個直角區域，所述第二子邊緣區域對應于所述控溫板的四個側邊區域；

其中，所述控溫板的第二子邊緣區域的溫度大于所述控溫板的第一子邊緣區域的溫度。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述冷卻組件還包括設置于所述第二冷卻板與所述控溫板之間的第三冷卻板，所述第三冷卻板內設置有第三流體管路，所述流體介質在所述第三流體管路內循環流動；

其中，所述第二流體管路在所述控溫板上的正投影位于所述控溫板的第二子邊緣區域內，所述第三流體管路在所述控溫板上的正投影位于所述控溫板的第一子邊緣區域內。