[發明專利]一種光刻膠儲存容器及其儲存方法

在審

• 申請號: 202111344776.1
• 申請日: 2021-11-15
• 公開（公告）號: CN113968425A
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發明（設計）人: 李敏超;馬健超;陳昱安;郭善明;陳廣進
• 申請（專利權）人: 華虹半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: B65D88/54
• 分類號: B65D88/54;B65D88/74;B65D90/00;B65D90/48
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 劉昌榮

1.一種光刻膠儲存容器，其特征在于，包括：

第一儲存容器，頂部設置有光刻膠進口以及第一氣泡排出口；

第二儲存容器，其底部與所述第一儲存容器底部組成連通結構，所述第二儲存容器外壁設置有光電傳感器。

2.根據權利要求1所述的光刻膠儲存容器，其特征在于，所述第二儲存容器頂部設置有第二氣泡排出口。

3.根據權利要求1所述的光刻膠儲存容器，其特征在于，所述第二儲存容器外壁設置有多個光電傳感器，包括靠近所述光刻膠進口設置的第一光電傳感器、遠離所述光刻膠進口設置的第三光電傳感器以及位于所述第一光電傳感器和所述第三光電傳感器之間的第二光電傳感器，當光刻膠儲存容器內的光刻膠液面低于所述第二光電傳感器所處平面時，觸發補液機制系統開始補液。

4.根據權利要求1所述的光刻膠儲存容器，其特征在于，還包括一傳輸管道，所述傳輸管道的管口與所述光刻膠進口相匹配。

5.根據權利要求1所述的光刻膠儲存容器，其特征在于，所述光刻膠儲存容器選用不造成額外顆粒物污染的材質。

6.根據權利要求1或5所述的光刻膠儲存容器，其特征在于，所述光刻膠儲存容器選用不與光刻膠反應的材質。

7.根據權利要求1所述的光刻膠儲存容器，其特征在于，所述第二儲存容器底部設置有光刻膠排出口。

8.一種如權利要求1所述的光刻膠儲存容器的儲存方法，其特征在于，包括：

通過第二儲存容器外壁設置的光電傳感器判斷是否進行補液，補液時光刻膠從第一儲存容器的光刻膠進口滴入；

所述第一儲存容器光刻膠液面出現氣泡，氣泡以下的光刻膠通過所述第一儲存容器底部和所述第二儲存容器底部組成的連通結構進入所述第二儲存容器。

9.根據權利要求1所述的光刻膠儲存容器的儲存方法，其特征在于，所述第二儲存容器外壁設置有多個光電傳感器，包括靠近所述光刻膠進口設置的第一光電傳感器、遠離所述光刻膠進口設置的第三光電傳感器以及位于所述第一光電傳感器和所述第三光電傳感器之間的第二光電傳感器，當光刻膠儲存容器內的光刻膠液面低于所述第二光電傳感器所處平面時，觸發補液機制系統開始補液。

10.根據權利要求1所述的光刻膠儲存容器的儲存方法，其特征在于，所述第一儲存容器頂部設置有第一氣泡排出口，所述第一儲存容器內的氣泡通過所述第一氣泡排出口排出。