[發明專利]一種提升DUV光源的波段選擇性的產生方法在審
| 申請號： | 202111332829.8 | 申請日： | 2021-11-11 |
| 公開（公告）號： | CN114205980A | 公開（公告）日： | 2022-03-18 |
| 發明（設計）人： | 朱益飛 | 申請（專利權）人： | 中國人民解放軍空軍工程大學 |
| 主分類號： | H05G2/00 | 分類號： | H05G2/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 廣東省中源正拓專利代理事務所(普通合伙) 44748 | 代理人： | 王明亮 |
| 地址： | 710000 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 提升 duv 光源 波段 選擇性 產生 方法 | ||
本發明公開了一種提升DUV光源的波段選擇性的產生方法，包括以下步驟:步驟一：將生產DUV的產生裝置組裝完成；步驟二：通過抽真空組件對石英管內部進行抽真空；步驟三：通過充氣組件對石英管內部進行填充氣體步驟四：打開高壓脈沖電源，在高壓電極上形成脈沖電壓和強電場；步驟五：強電場將管內的氣體分子或原子激發，形成一道高速移動的電離波并向低壓端運動；步驟六：電離波在運動的過程中，形成含有大量激發態分子原子和離子的等離子體區域；步驟七：等離子體區域中的激發態分子在退激過程中會形成大量的光輻射，從而形成DUV光源；本發明可以極大的減少試錯成本，提升DUV光源的波段選擇性。
技術領域
本發明涉及光刻機技術領域，具體涉及一種提升DUV光源的波段選擇性的產生方法。
背景技術
光刻機、激光器等均需要使用深紫外(DUV)光源，一種常見的深紫外光源發生裝置是毛細管放電器。毛細管放電器主要由一根石英毛細管、深入毛細管兩端的電極、高壓脈沖電源和真空系統組成。通過將毛細管抽至mbar級真空度并在電極上施加高壓脈沖，可以在毛細管中形成納秒脈沖快速電離波，電離波過程會產生大量的激發態成分，激發態成分在退激過程中會釋放出不同波段的輻射，其中即包括DUV波段。目前對DUV輻射產生的控制，主要通過調整氣體組成以及電壓波形實現。
毛細管快速電離波放電中，可以輻射的成分和波段很多，為了增強DUV波段的輻射選擇性，需要對毛細管快速電離波開展控制和優化。傳統方式針對毛細管DUV輻射產生的控制，主要通過調整氣體組成以及電壓波形實現，但是這兩種方法均需要采用大量的實驗和試錯，實現起來極為困難。
發明內容
本發明的目的在于提供一種提升DUV光源的波段選擇性的產生方法，實現從輻射源頭激發態成分出發逆向推導出電場/電壓波形，可以極大的減少試錯成本，提升DUV光源的波段選擇性。
本發明的目的可以通過以下技術方案實現：
一種提升DUV光源的波段選擇性的產生方法，包括以下步驟:
步驟一：通過抽真空組件對石英管內部進行抽真空,充氣組件對抽真空后的石英管內部進行填充氣體；
步驟二：打開高壓脈沖電源，在高壓電極上形成脈沖電壓和強電場，強電場將石英管內的氣體分子或原子激發；
步驟三：氣體分子或原子激發形成一道高速移動的電離波并向低壓電極端運動形成等離子體區域；
步驟四：等離子體區域中的激發態分子在退激過程中會形成大量的光輻射，從而形成DUV光源。
作為本發明進一步的方案：所述產生裝置包括石英管，石英管兩端分別設置有高壓電極和低壓電極，石英管上連接有抽真空組件和充氣組件。
作為本發明進一步的方案：所述抽真空組件包括真空泵，真空泵通過出氣總管與石英管的出氣口相連通。
作為本發明進一步的方案：所述出氣總管上設置有控制管路通斷的氣閥。
作為本發明進一步的方案：所述充氣組件包括第一氣罐和第二氣罐，第一氣罐和第二氣罐均通過進氣總管與石英管的進氣口相連通。
作為本發明進一步的方案：所述石英管外側設置有連接同軸電纜的外層屏蔽網的外屏蔽層。
作為本發明進一步的方案：所述外屏蔽層內側均勻分布有用于溫度調控的電熱管。
作為本發明進一步的方案：所述高壓電極和低壓電極結構相同。
作為本發明進一步的方案：所述低壓電極包括電極座，電極座一端設置有與石英管相連的銅芯，電極座另一端設置有安裝孔。
作為本發明進一步的方案：所述安裝孔上設置有用于鎖緊與電源連接接頭的鎖緊組件。
本發明的有益效果：
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