[發明專利]蒸鍍掩膜版維修裝置、系統及方法

在審

• 申請號: 202111329940.1
• 申請日: 2021-11-11
• 公開（公告）號: CN114012350A
• 公開（公告）日: 2022-02-08
• 發明（設計）人: 王彥磊
• 申請（專利權）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: B23P6/00
• 分類號: B23P6/00;C23C14/04;C23C14/24;B21D1/10
• 代理公司: 成都極刻智慧知識產權代理事務所(普通合伙) 51310
• 代理人: 張紅平

1.一種蒸鍍掩膜版維修裝置，其特征在于，包括：維修基座部分及壓頭部分；

所述壓頭部分包括壓頭基座及伸縮設置在所述壓頭基座上的至少一個壓頭，所述壓頭與所述維修基座部分配合，對位于所述壓頭與所述維修基座部分之間的蒸鍍掩膜版中的缺陷進行維修，其中，所述缺陷包括異物缺陷和凹凸缺陷。

2.如權利要求1所述的蒸鍍掩膜版維修裝置，其特征在于，所述壓頭的數量為多個，不同所述壓頭朝向所述維修基座部分一側的壓合面的尺寸不同；

所述壓頭朝向所述維修基座部分一側的壓合面的形狀包括圓形或正方形。

3.如權利要求1所述的蒸鍍掩膜版維修裝置，其特征在于，所述壓頭的布式硬度不小于所述蒸鍍掩膜版的布式硬度；

優選地，所述壓頭采用金剛石制作而成。

4.如權利要求1所述的蒸鍍掩膜版維修裝置，其特征在于，所述壓頭朝向所述維修基座部分一側的壓合面與所述維修基座部分朝向所述壓頭一側的承載面的表面粗糙度Rz為0.8um～1.6um；

所述壓頭朝向所述維修基座部分一側的壓合面與所述維修基座部分朝向所述壓頭一側的承載面的表面平整度小于1/1000。

5.如權利要求1所述的蒸鍍掩膜版維修裝置，其特征在于，所述壓頭包括研磨頭，所述研磨頭通過作用在放置于所述維修基座部分上的蒸鍍掩膜版中的異物缺陷或凹凸缺陷上的作用力，對所述蒸鍍掩膜版中的異物缺陷或凹凸缺陷進行維修。

6.如權利要求1所述的蒸鍍掩膜版維修裝置，其特征在于，所述壓頭包括研磨頭及位于所述研磨頭外周的研磨帶，所述研磨頭通過所述研磨帶作用在放置于所述維修基座部分上的蒸鍍掩膜版中的異物缺陷或凹凸缺陷上的作用力，對所述蒸鍍掩膜版中的異物缺陷或凹凸缺陷進行維修。

7.一種蒸鍍掩膜版修復系統，其特征在于，包括：光學檢測裝置、激光修理裝置、計算機設備及權利要求1-6中任意一項所述的蒸鍍掩膜版維修裝置，

所述計算機設備與所述光學檢測裝置、激光修理裝置、蒸鍍掩膜版維修裝置連接；

所述計算機設備用于：

控制所述光學檢測裝置對蒸鍍掩膜版中的缺陷位置進行定位；

控制所述激光修理裝置對所述蒸鍍掩膜版中的缺陷位置進行異物去除；以及

控制所述蒸鍍掩膜版維修裝置對所述蒸鍍掩膜版中未被所述激光修理裝置修理的缺陷進行修復。

8.一種蒸鍍掩膜版修復方法，其特征在于，應用于權利要求7所述的蒸鍍掩膜版修復系統，所述方法包括：

采用光學檢測裝置獲取蒸鍍掩膜版中缺陷的第一位置信息；

基于所述第一位置信息采用所述激光修理裝置對所述蒸鍍掩膜版中的缺陷進行修復；

在所述蒸鍍掩膜版中的缺陷未被所述激光修理裝置修復時，控制所述蒸鍍掩膜版維修裝置對所述蒸鍍掩膜版中未被所述激光修理裝置修理的缺陷進行修復。

9.如權利要求8所述的蒸鍍掩膜版修復方法，其特征在于，所述控制所述蒸鍍掩膜版維修裝置對所述蒸鍍掩膜版中未被所述激光修理裝置修理的缺陷進行修復的步驟，包括：

通過所述光學檢測裝置獲取未被所述激光修理裝置修復的蒸鍍掩膜版放置在維修基座部分上的第二位置信息，其中所述蒸鍍掩膜版的位置信息包括所述蒸鍍掩膜版中缺陷的尺寸及所述蒸鍍掩膜版距所述壓頭基座的距離；

基于所述第二位置信息控制所述蒸鍍掩膜版維修裝置中朝向所述維修基座部分一側的壓合面的尺寸大于所述蒸鍍掩膜版中缺陷的尺寸的目標壓頭相對于所述壓頭基座伸出，對放置在所述維修基座部分上的所述蒸鍍掩膜版中的缺陷進行修復；

采用所述光學檢測裝置獲取修復后的缺陷的尺寸，并在所述修復后的缺陷的尺寸小于預設尺寸時，完成對所述蒸鍍掩膜版中缺陷的修復。

10.如權利要求9所述的蒸鍍掩膜版修復方法，其特征在于，在所述修復后的缺陷的尺寸不小于所述預設尺寸時，所述方法還包括：

增大所述目標壓頭相對于所述壓頭基座伸出的長度，以加大所述目標壓頭作用在所述缺陷上的作用力，對所述缺陷進行修復；

采用所述光學檢測裝置獲取修復后的缺陷的尺寸，將所述修復后的缺陷的尺寸與所述預設尺寸比較，在所述修復后的缺陷的尺寸不小于所述預設尺寸時，重復所述增大所述目標壓頭相對于所述壓頭基座伸出的長度，以加大所述目標壓頭作用在所述缺陷上的作用力，對所述缺陷進行修復的步驟，直到所述修復后的缺陷的尺寸小于所述預設尺寸或采用所述蒸鍍掩膜版維修裝置修復的次數達到預設次數。