[發明專利]一種偏振靈敏度可調控的可見近紅外金屬薄膜反射鏡有效
| 申請號： | 202111324615.6 | 申請日： | 2021-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN114114488B | 公開（公告）日： | 2023-09-12 |
| 發明（設計）人： | 馬小鳳;李耀鵬;蔡清元;王曙光;衛延華;劉定權 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海技術物理研究所 |
| 主分類號： | G02B5/08 | 分類號： | G02B5/08;G02B1/14 |
| 代理公司： | 上海滬慧律師事務所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 偏振 靈敏度 調控 可見 紅外 金屬 薄膜 反射 | ||
【權利要求書】：
1.一種偏振靈敏度可調控的可見近紅外金屬反射鏡，包括光學基片(1)、附著層(2)，金屬Ⅰ膜層(3)、金屬Ⅱ膜層(4)以及介質防護層(5)，其特征在于：
所述的可見近紅外金屬反射鏡的結構為：在光學基片(1)上依次鍍制附著層(2)，金屬Ⅰ膜層(3)，金屬Ⅱ膜層(4)以及介質防護層(5)；其中：
所述的光學基片(1)采用石英、微晶玻璃、碳化硅；
所述的附著層(2)采用鎳鉻金屬復合膜層或金屬鉻膜層；
所述的金屬Ⅰ膜層(3)采用在可見至近紅外波段具有高反射率的金屬銀膜；
所述的金屬Ⅱ膜層(4)采用在可見至近紅外波段具有高偏振靈敏度的金屬鋁膜，其厚度在20nm以內，其具體厚度根據反射鏡偏振靈敏度調控數據確定；
所述的介質防護層(5)為高折射率材料nH和低折射率材料nL兩種氧化物介質材料組合，其結構為：
aLbH
其中a、b代表介質防護層(5)各膜層的厚度系數，L為λ0/4膜厚的低折射率材料nL膜層，H為λ0/4膜厚的高折射率材料nH膜層，各膜層的厚度根據偏振靈敏度調控波段設定中心波長λ0，且介質防護層(5)厚度大于80nm。
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