[發(fā)明專利]一種加熱器的形變補(bǔ)償方法及加熱器形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)

在審

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• 申請日: 2021-11-09
• 公開（公告）號: CN114007285A
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭佳毅
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫愛爾華光電科技有限公司
• 主分類號: H05B3/02
• 分類號: H05B3/02
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32227
• 代理人: 黃瑩;顧吉云

本發(fā)明提供一種加熱器的形變補(bǔ)償方法，其可以克服加熱器、被加熱對象加熱形變導(dǎo)致加熱不均的問題，提高加熱效率。方法包括：在加熱器的加熱結(jié)構(gòu)上設(shè)置一層形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)；所述形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)包括高耐熱性的易變形的材料；所述形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)覆蓋于所述加熱結(jié)構(gòu)的加熱區(qū)域，尺寸與所述所述加熱結(jié)構(gòu)的加熱區(qū)域尺寸相適應(yīng)；被加熱對象放置在所述形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)之上，進(jìn)行加熱工序的操作。同時，本發(fā)明也公開了一種加熱器形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及加熱設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種加熱器的形變補(bǔ)償方法及加熱器形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

加熱器，如平板加熱器、立體加熱器，是在半導(dǎo)體、顯示器、光伏、建材等領(lǐng)域常用的加工設(shè)備。如圖1所示，被加熱對象放置在加熱器的加熱用載具上方，通過熱傳導(dǎo)進(jìn)行加熱。然而，因為材質(zhì)的關(guān)系，很多被加熱對象、或者加熱結(jié)構(gòu)，尤其是金屬器件都會無可避免地在加熱過程中產(chǎn)生形變，如圖1所示，隨著加熱操作的進(jìn)行，被加熱對象1包括被加熱的元器件和放置元器件的載具，其中載具因為溫度會發(fā)生變形，變形后的被加熱對象1和加熱結(jié)構(gòu)2之間的接觸面逐漸無法吻合，產(chǎn)生越來越大的空隙，不但導(dǎo)致被被加熱的元器件的加熱不均，同時也會導(dǎo)致整體的加熱效率下降。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決加熱器、被加熱對象在加熱工序中產(chǎn)生形變導(dǎo)致加熱不均和效率下降的問題，本發(fā)明提供一一種加熱器的形變補(bǔ)償方法，其可以克服加熱器、被加熱對象加熱形變導(dǎo)致加熱不均的問題，提高加熱效率。同時，本發(fā)明也公開了一種加熱器形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣的：一種加熱器的形變補(bǔ)償方法，其包括：

在加熱器的加熱結(jié)構(gòu)上設(shè)置一層形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)；

所述形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)包括高耐熱性的易變形的材料；

所述形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)覆蓋于所述加熱結(jié)構(gòu)的加熱區(qū)域，尺寸與所述所述加熱結(jié)構(gòu)的加熱區(qū)域尺寸相適應(yīng)；

被加熱對象放置在所述形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)之上，進(jìn)行加熱工序的操作。

其進(jìn)一步特征在于：

所述形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)還包括高傳熱效率和高耐熱性的材料；

所述形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)還包括高耐熱、易變形的結(jié)構(gòu)。

一種加熱器形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)，其包括：柔性補(bǔ)償層、滑動體，所述柔性補(bǔ)償層為高耐熱性的導(dǎo)熱柔性材料；所述柔性補(bǔ)償層的尺寸、形狀與加熱器的加熱結(jié)構(gòu)的加熱區(qū)域相適應(yīng)；

所述柔性補(bǔ)償層將所述滑動體拘束在一起，或者所述柔性補(bǔ)償層構(gòu)成密閉結(jié)構(gòu)，所述滑動體放置于所述柔性補(bǔ)償層的密閉空間內(nèi)；所述滑動體的數(shù)量至少能夠平鋪后完整覆蓋所述加熱結(jié)構(gòu)；

所述柔性補(bǔ)償層、所述滑動體設(shè)置于加熱區(qū)域之上。

其進(jìn)一步特征在于：

所述滑動體為低摩擦系數(shù)、高傳熱效率、高耐熱性材料；

所述柔性補(bǔ)償層的柔性材料包括：金屬網(wǎng)，高分子材料、耐熱硅膠膜；

所述柔性補(bǔ)償層的結(jié)構(gòu)包括：袋狀結(jié)構(gòu)、網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；

所述滑動體包括：粒狀體、絲狀體；所述滑動體為粒狀時，包括：球體、橢圓體、不規(guī)則體；所述滑動體為粒狀時，所述滑動體的直徑或者高度為2mm~8mm；

所述滑動體的材質(zhì)包括：石墨、碳、鋁、鋁合金、不銹鋼。

本發(fā)明提供的一種加熱器的形變補(bǔ)償方法，在加熱器的加熱結(jié)構(gòu)上設(shè)置一層形變補(bǔ)償結(jié)構(gòu)，通過自身形變填充所述被加熱對象和加熱器的加熱結(jié)構(gòu)之間的空隙，可以同時緊密貼合加熱器與被加熱對象的相對表面，實現(xiàn)加熱器對被加熱對象的間接的全接觸熱傳導(dǎo)，不但能確保被加熱對象能夠均勻加熱，同時大幅度提升傳熱效率與速率。通過柔性補(bǔ)償層的柔性材料實現(xiàn)對微小形變的變形補(bǔ)償，通過柔性補(bǔ)償層和滑動體的共同作用，進(jìn)一步實現(xiàn)對各種程度形變的適應(yīng)性變形補(bǔ)償，對各種材質(zhì)、尺寸的加熱器和被加熱對象都能實現(xiàn)提升加熱效率和確保實現(xiàn)加熱均勻。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中被加熱對象和加熱結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)關(guān)系示意圖；