[發(fā)明專利]一種測量表面等離激元納米結(jié)構(gòu)局域溫度的電學納米溫度計及測溫方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111305656.0 | 申請日： | 2021-11-05 |
| 公開（公告）號： | CN114034404B | 公開（公告）日： | 2022-11-22 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張青;梁印;趙麗云 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京大學 |
| 主分類號： | G01K7/18 | 分類號： | G01K7/18;G01K15/00 |
| 代理公司： | 北京方安思達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11472 | 代理人： | 武玥;張紅生 |
| 地址： | 100871*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 測量 表面 離激元 納米 結(jié)構(gòu) 局域 溫度 電學 溫度計 測溫 方法 | ||
1.一種測量表面等離激元納米結(jié)構(gòu)局域溫度的電學納米溫度計，其特征在于，所述電學納米溫度計包括絕熱襯底以及在絕熱襯底上構(gòu)造的金屬三角天線和金屬傳感條，金屬三角天線的頂點正對金屬傳感條的中心，兩者相距一個納米隙，金屬傳感條兩端各連接兩個電極終端，電壓表和含源電流表分別通過金屬傳感條兩端的電極終端連接金屬傳感條；
所述金屬三角天線的邊長為1-2μm，金屬傳感條的長度為500-800nm，寬度為100-300nm，兩者厚度相等，為10-100nm；所述納米隙的寬度為10-120nm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量表面等離激元納米結(jié)構(gòu)局域溫度的電學納米溫度計，其特征在于，所述絕熱襯底為硅片、玻璃和藍寶石中的一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量表面等離激元納米結(jié)構(gòu)局域溫度的電學納米溫度計，其特征在于，在絕熱襯底上構(gòu)造金屬三角天線和金屬傳感條的方法為EBL和蒸鍍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量表面等離激元納米結(jié)構(gòu)局域溫度的電學納米溫度計，其特征在于，所述金屬三角天線、金屬傳感條和電極的制作材料為鉑、金和鎳中的一種。
5.采用如權(quán)利要求1-4任一項所述的測量表面等離激元納米結(jié)構(gòu)局域溫度的電學納米溫度計的測溫方法，所述測溫方法包括以下步驟：
標定：通過外部溫控裝置將金屬傳感條溫度控制在78-750K之間，并每隔一定數(shù)值的溫度通過伏安法測量金屬傳感條的電阻，擬合得到電阻-溫度線性關系；
測溫：將一束激光聚焦于金屬三角天線正中心，穩(wěn)定后通過伏安法測量金屬傳感條的電阻，根據(jù)標定所得電阻-溫度線性關系，得到由表面等離激元光熱效應引起的局部溫度。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測溫方法，其特征在于，所述激光為連續(xù)或脈沖激光，波長為500-800nm，光斑直徑為0.8-2μm。
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