[發明專利]一種濾波器芯片的簡化制備方法在審
| 申請號： | 202111302862.6 | 申請日： | 2021-11-05 |
| 公開（公告）號： | CN113992175A | 公開（公告）日： | 2022-01-28 |
| 發明（設計）人： | 汪洋;劉亞娟;王小偉;王濤 | 申請（專利權）人： | 上海萍生微電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H03H3/08 | 分類號： | H03H3/08 |
| 代理公司： | 上海助之鑫知識產權代理有限公司 31328 | 代理人： | 王風平 |
| 地址： | 201210 上海市浦東新*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 濾波器 芯片 簡化 制備 方法 | ||
1.一種濾波器芯片的簡化制備方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：
步驟1：清洗壓電材料；
步驟2：對壓電材料進行一次金屬化處理；
步驟3：將完成步驟2的壓電材料經二氧化硅沉積、光刻、刻蝕、去膠處理；
步驟4：將完成步驟3的壓電材料進行二次金屬化處理；
步驟5：依次重復步驟3和步驟4，得到濾波器芯片的壓電材料；
其中，步驟2和步驟4中，所述金屬化處理包括以下步驟：
步驟a：涂膠
在壓電材料表面均勻涂覆光刻膠；
步驟b：曝光及顯影
通過曝光、顯影后，在壓電材料表面形成電極圖形；
步驟c：鍍膜
在壓電材料表面鍍鋁膜；
步驟d：剝離
剝離壓電材料表面的光刻膠以及光刻膠上鍍的鋁膜。
2.根據權利要求1所述的濾波器芯片的簡化制備方法，其特征在于：步驟a中，通過旋涂機對壓電材料的表面進行光刻膠的涂覆。
3.根據權利要求1所述的濾波器芯片的簡化制備方法，其特征在于：步驟b中，通過曝光機及顯影機依次完成曝光和顯影作業。
4.根據權利要求1所述的濾波器芯片的簡化制備方法，其特征在于：步驟c中，通過鍍膜機在壓電材料的表面鍍鋁膜，其中，鋁膜濺射真空度為2*10-8Torr，氬氣氣壓為0.3*103Toor，襯底負偏壓-150V，濺射功率75W。
5.根據權利要求1所述的濾波器芯片的簡化制備方法，其特征在于：步驟d中，通過超聲清洗機剝離壓電材料表面的光刻膠以及光刻膠上鍍的鋁膜。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海萍生微電子科技有限公司，未經上海萍生微電子科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202111302862.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
