[發(fā)明專利]一種固態(tài)型體聲波諧振器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202111300715.5 | 申請日： | 2021-11-04 |
| 公開（公告）號： | CN114301420A | 公開（公告）日： | 2022-04-08 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陳功田;肖練平;李秋均 | 申請（專利權）人： | 郴州功田電子陶瓷技術有限公司 |
| 主分類號： | H03H9/17 | 分類號： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 深圳市鼎圣霏凡專利代理事務所(普通合伙) 44759 | 代理人： | 徐晶 |
| 地址： | 423000 湖南省郴*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 固態(tài) 聲波 諧振器 | ||
1.一種固態(tài)型體聲波諧振器，其特征在于：包括Si基底層(1)、Ti反射層(2)、Mo反射層(3)、Mo底電極層(4)、MgxZn1-xO薄膜(5)和Au上電極(6)，所述Si基底層(1)的頂部設置有布喇格反射層，所述布喇格反射層的頂部設置有壓電層，所述布喇格反射層包括交替設置的三層Ti反射層(2)和兩層Mo反射層(3)，所述壓電層包括Mo底電極層(4)、MgxZn1-xO薄膜(5)和Au上電極(6)，所述MgxZn1-xO薄膜(5)設置在Mo底電極層(4)與Au上電極(6)之間。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種固態(tài)型體聲波諧振器，其特征在于：所述布喇格反射層中Ti反射層(2)和Mo反射層(3)的厚度分別為610nm和630nm，且Ti反射層(2)和Mo反射層(3)采用直流磁控濺射法交替沉積。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種固態(tài)型體聲波諧振器，其特征在于：所述Ti反射層(2)和Mo反射層(3)的濺射功率為80W，所述Ti反射層(2)和Mo反射層(3)的濺射氣壓為0.5Pa，所述Ti反射層(2)和Mo反射層(3)的襯底溫度為300℃。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種固態(tài)型體聲波諧振器，其特征在于：所述Mo底電極層(4)的厚度為100nm，所述MgxZn1-xO薄膜(5)采用磁控濺射法沉積，且MgxZn1-xO薄膜(5)的厚度為1/2波長，所述Au上電極(6)的厚度為100nm。
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