[發(fā)明專利]基于自學習的智能硅基晶圓超精密研磨拋光機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111294205.1
• 申請日: 2021-11-03
• 公開（公告）號: CN113894635B
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曾慶明;曾慶華;趙亮
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽格楠機械有限公司
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B27/00;B24B41/06;B24B41/02;B24B55/06;B24B55/03;B24B55/00;B24B41/00
• 代理公司: 深圳市廣諾專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44611
• 代理人: 王歡

1.基于自學習的智能硅基晶圓超精密研磨拋光機，包括臺架(6)，所述臺架(6)的頂部設(shè)置有下磨盤(1)，下磨盤(1)和臺架(6)的中間穿設(shè)有主軸(8)，且下磨盤(1)的上方設(shè)置有上磨盤(2)，其特征在于：所述主軸(8)外套設(shè)有偏心傳動筒(7)，偏心傳動筒(7)通過偏心運動機構(gòu)(5)與主軸(8)連接，且主軸(8)通過偏心傳動筒(7)連接有行星運動工件盤(3)；

所述上磨盤(2)的頂部連接有壓盤(14)，壓盤(14)的外壁和內(nèi)壁分別與臺架(6)的頂部外壁和偏心傳動筒(7)的外壁活動配合，并且壓盤(14)的中間設(shè)置有橫向分布的通道；

所述偏心傳動筒(7)的內(nèi)壁兩側(cè)對稱位置分別開設(shè)有孔槽，所述主軸(8)的兩側(cè)外壁上分別設(shè)置有傳動滑塊(81)，傳動滑塊(81)的結(jié)構(gòu)與所述孔槽的結(jié)構(gòu)相匹配，且傳動滑塊(81)與孔槽滑動配合；

所述偏心運動機構(gòu)(5)包括偏心運動控制電機(51)、偏心軸(52)和2個推拉桿(53)，2個推拉桿(53)的一端均與偏心軸(52)的偏心部分轉(zhuǎn)動連接，且2個推拉桿(53)的另一端分別與偏心傳動筒(7)的內(nèi)壁兩側(cè)對稱位置轉(zhuǎn)動連接，而偏心軸(52)的一端與偏心運動控制電機(51)固定連接，偏心運動控制電機(51)固定安裝于主軸(8)上；

所述偏心傳動筒(7)的外壁上固定套設(shè)有內(nèi)齒環(huán)(33)，內(nèi)齒環(huán)(33)的外壁與行星運動工件盤(3)的一側(cè)嚙合連接，行星運動工件盤(3)擺放于下磨盤(1)的頂部，且行星運動工件盤(3)的外壁上均勻分布有輪齒，并且行星運動工件盤(3)的另一側(cè)嚙合連接有外齒環(huán)(34)，外齒環(huán)(34)的外壁固定連接于平面滑環(huán)(31)的內(nèi)壁，平面滑環(huán)(31)的外壁設(shè)置有限位環(huán)(32)，限位環(huán)(32)為“L”形結(jié)構(gòu)，且限位環(huán)(32)的內(nèi)壁與下磨盤(1)的頂部之間形成環(huán)形槽，該環(huán)形槽與平面滑環(huán)(31)活動配合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于自學習的智能硅基晶圓超精密研磨拋光機，其特征在于：所述偏心傳動筒(7)的內(nèi)壁上設(shè)置有環(huán)形槽，所述主軸(8)的外壁上設(shè)置有凸環(huán)(82)，凸環(huán)(82)的直徑大于所述環(huán)形槽的內(nèi)徑，且凸環(huán)(82)的直徑小于所述環(huán)形槽的外徑，并且凸環(huán)(82)與所述環(huán)形槽滑動配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于自學習的智能硅基晶圓超精密研磨拋光機，其特征在于：所述上磨盤(2)為環(huán)形，且上磨盤(2)內(nèi)徑大于偏心傳動筒(7)外徑，所述上磨盤(2)的頂部均勻環(huán)繞設(shè)置有條形凸起，且上磨盤(2)的頂部通過所述條形凸起與壓盤(14)之間形成若干條由外壁到內(nèi)壁方向的通孔，該通孔與壓盤(14)中間橫向分布的通道相連通，所述壓盤(14)的外壁上轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)環(huán)(22)，轉(zhuǎn)環(huán)(22)的外壁連接有進入管(21)，進入管(21)與壓盤(14)中間橫向分布的通道相連通，且進入管(21)外壁固定連接有支架(19)；

所述上磨盤(2)中間設(shè)置有豎向通孔，該豎向通孔與所述條形凸起的位置錯開分部；

所述下磨盤(1)的四周均勻環(huán)繞分布有豎孔，且下磨盤(1)的底部均勻環(huán)繞設(shè)置有條形凸起，并且下磨盤(1)通過底部的條形凸起與臺架(6)之間形成若干條通道，所述下磨盤(1)底部的通道的一端與下磨盤(1)四周的豎孔連接，并且下磨盤(1)底部的通道的另一端與排出管(18)的一端連通，排出管(18)的另一端連接有研磨液過濾器(11)。