[發明專利]一種折疊式人工局域表面等離激元微波微流傳感器

在審

• 申請號: 202111286860.2
• 申請日: 2021-11-02
• 公開（公告）號: CN114325117A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 徐昊;趙文生;王大偉;劉軍
• 申請（專利權）人: 杭州電子科技大學
• 主分類號: G01R27/26
• 分類號: G01R27/26
• 代理公司: 浙江千克知識產權代理有限公司 33246
• 代理人: 周希良

1.一種折疊式人工局域表面等離激元微波微流傳感器，其特征在于包括介質層、底部金屬地；

所述的介質層由上介質基板(7)與下介質基板(8)層疊而成，底部金屬地(9)處于下介質層(8)的下表面，上介質基板(7)的上表面設置諧振環(3)、環狀耦合結構(4)及放大電路(2)；上介質基板(7)、下介質基板(8)之間設置兩條微帶線(1)；

與諧振環(3)每個金屬存根末端相對應的上介質基板(7)、下介質基板(8)、底部金屬地(9)形成過孔(5)，過孔(5)的內壁設有金屬壁，此金屬壁與諧振環(3)的相對應金屬存根末端相觸，并在金屬壁底部形成底部延長金屬存根(6)，底部延長金屬存根(6)與底部金屬地隔離。

2.如權利要求1所述折疊式人工局域表面等離激元微波微流傳感器，其特征在于，兩條微帶線(1)分別用于輸入、輸出端口的50歐姆阻抗匹配，兩條50歐姆微帶線(1)所在直線呈90度，兩條50歐姆微帶線(1)外端相對應的上介質基板(7)邊沿切去小塊用于焊接SMA頭；兩條50歐姆微帶線(1)的外端分別延伸至介質層的兩相鄰邊沿且與相對應的SMA頭相連。

3.如權利要求1或2所述折疊式人工局域表面等離激元微波微流傳感器，其特征在于，微帶線(1)的寬度w_s＝1.5mm，長度l_s＝12mm。

4.如權利要求1所述折疊式人工局域表面等離激元微波微流傳感器，其特征在于，底部延長金屬存根的周圍有刻蝕凹槽，從而與底部金屬地(9)隔離。

5.如權利要求1所述折疊式人工局域表面等離激元微波微流傳感器，其特征在于，上介質基板(7)與下介質基板(8)均呈方形，尺寸相同，長寬邊對齊層疊。

6.如權利要求1、2或5所述折疊式人工局域表面等離激元微波微流傳感器，其特征在于，上介質基板(7)與下介質基板(8)均采用羅杰斯5880系列介質基板，介電常數為2.2，損耗角正切為0.009，厚度為0.508mm。

7.如權利要求1所述折疊式人工局域表面等離激元微波微流傳感器，其特征在于，放大電路由低噪聲放大器芯片ATF54143和偏置電路組成。

8.如權利要求1或4所述折疊式人工局域表面等離激元微波微流傳感器，其特征在于，底部金屬地(9)有刻蝕團。

9.如權利要求1所述折疊式人工局域表面等離激元微波微流傳感器，其特征在于，諧振環(3)為四分之一模SLSP諧振環，由九個LSSP單元構成。

10.如權利要求1或9所述折疊式人工局域表面等離激元微波微流傳感器，其特征在于，諧振環(3)上表面放置PDMS模塊，PDMS模塊設有微流體通道。