日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發明專利]一種基于力矩平衡的鈮酸鋰晶棒定量生長控制裝置在審

專利信息
申請號: 202111278210.3 申請日: 2021-10-30
公開(公告)號: CN114150373A 公開(公告)日: 2022-03-08
發明(設計)人: 洪愛俊 申請(專利權)人: 江西師范大學
主分類號: C30B15/28 分類號: C30B15/28;C30B29/30
代理公司: 南昌華成聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 36126 代理人: 張建新
地址: 330000 *** 國省代碼: 江西;36
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 基于 力矩 平衡 鈮酸鋰晶棒 定量 生長 控制 裝置
【說明書】:

一種基于力矩平衡的鈮酸鋰晶棒定量生長控制裝置,坩堝以及杠桿系統;坩堝內裝盛恒定溫度的定量料液;杠桿系統包括工作臺和固定在工作臺上的支座,支座上樞接有杠桿,杠桿的一懸臂端部固定有籽晶桿,另一懸臂上設置有配重滑塊;工作臺上固定有卡座,杠桿的一端部處于卡座內,卡座內底部設置有壓敏電阻,杠桿的一端部壓在壓敏電阻上,壓敏電阻為比較電路的一部分;控制配重滑塊、工作臺位移的程序依據待生成的晶棒的形狀設置,比較電路的輸出控制工作臺上升阻斷晶棒生長。本發明改變了現有技術的控制方式,通過軟件程序替代了貴重的自動直徑控制系統,坩堝的溫度恒定,同時依據料液的定量增設有比較電路,保證了生長的可靠性。

技術領域

本發明涉及鈮酸鋰晶棒制備領域,具體涉及一種基于力矩平衡的鈮酸鋰晶棒定量生長控制裝置。

背景技術

LiNbO3是非線性光學級晶體,廣泛應用于參量振蕩器、倍頻、聲光器件、光學調制器。提拉法是目前鈮酸鋰單晶晶棒生長的主流制備方法,先后經過引晶縮頸、擴肩、收肩、等徑、收尾、脫離等工藝步驟后制成,是當前的鈮酸鋰晶體的主要生產方式。

提拉法制備過程中,需要在自動直徑控制系統(ADC)的調控作用下完成,而當下鈮酸鋰晶體一方面朝向高品質化方向發展,如要求單晶內部無生長紋,生長紋的存在使得單晶晶棒內部存在應力,易崩裂而報廢;再一方面基于成本和效率的要求朝向大尺寸化方向發展,目前工藝所制備的單根晶體均超過20Kg,單根晶棒懸吊在自動直徑控制系統上,自動直徑控制系統通過電子電路測量晶棒的重量,懸吊系統提拉自動直徑控制系統和晶棒向上移動,單晶逐步生長,單晶生長的增量通過自動直徑控制系統實時反應,自動直徑控制系統對獲取的重量進行比對,通過控制坩堝內料液的溫度對生長進行糾偏。

現有技術通過自動直徑控制系統(ADC)進行調控存在以下問題:一方面,目前的自動直徑控制系統系統均采用電子稱為核心部件并配置有復雜的其他部件,硬件成本高昂,部分精密器件國內尚無合格廠家而只能進口,單晶實際生長情況是動態的且緩慢的,對單晶生長的控制要求自動直徑控制系統具有很高的精度,而在實際中是很難同時滿足大量程和高精度的雙重要求;另一方面,晶棒的生長過程中,對晶棒生長的變徑生長提出了更高的要求以為得到不同形狀的晶棒,或至少在現有技術下縮頸、擴肩、收肩的環節中也存在變徑的要求,目前是通過改變提拉的速度進行控制,但在變速過程中存在加速度的變化進而影響自動直徑控制系統的測量,使得反饋存在誤差,需要待測量穩定后才能進行反饋控制,此延遲使得對晶棒的生長控制存在延遲和不穩定;再一方面,鈮酸鋰(LiNbO3)晶棒的析出并不是按化學式所表述的元素關系等比例的析出,鈮酸鋰的分子式的關系可表征為Li0.9-1NbO3,隨著生長的進行,剩余料液逐漸渾濁,此時繼續生長后,晶棒內部的生長紋的出現概率大幅度提升,生長紋導致的晶棒內存在應力,易使得晶棒崩裂報廢。

發明內容

根據背景技術提出的問題,本發明提供一種基于力矩平衡的鈮酸鋰晶棒定量生長控制裝置來解決,接下來對本發明做進一步地闡述。

一種基于力矩平衡的鈮酸鋰晶棒定量生長控制裝置,其特征在于坩堝以及杠桿系統;坩堝內裝盛恒定溫度的定量料液;杠桿系統包括工作臺和固定在工作臺上的支座,支座上樞接有杠桿,杠桿的一懸臂端部固定有籽晶桿,籽晶桿懸置于坩堝上方,另一懸臂上設置有配重滑塊;工作臺上固定有卡座,杠桿的一端部處于卡座內,卡座內底部設置有壓敏電阻,杠桿的一端部壓在壓敏電阻上,壓敏電阻為比較電路的一部分;控制配重滑塊、工作臺位移的程序依據待生成的晶棒的形狀設置,比較電路的輸出控制工作臺上升阻斷晶棒生長。

可選地,比較電路的光敏電阻R1與電阻R2串聯在恒定電壓源與接地線之間,光敏電阻R1與電阻R2間的節點連接比較器C的同相輸入端,比較器C的反相輸入端通過電阻R3連接恒定電壓源,同相輸入端通過電阻R4接地的同時還通過電阻R5連接輸出端,比較器內設有預設值,比較器輸出端與接地作為輸出。

作為優選地,比較電路的電阻R2為變阻器,改變電阻R2的阻值適應不同量的料液。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于江西師范大學,未經江西師范大學許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/202111278210.3/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 国产一区二区三区色噜噜小说| 中出乱码av亚洲精品久久天堂| 亚洲欧美v国产一区二区| 福利视频亚洲一区| 日本五十熟hd丰满| 夜夜夜夜曰天天天天拍国产| 中文字幕一区二区三区日韩精品| 国产网站一区二区| 国产精品自拍在线观看| 国产又色又爽无遮挡免费动态图| 中文字幕在线一二三区| 猛男大粗猛爽h男人味| 国产精品天堂| 国产亚洲精品久久久久动| 国产午夜精品一区二区三区四区| 日韩精品久久一区二区| 国产精品一区在线播放| 久久久久久综合网| 欧美日韩激情一区| 亚洲1区2区3区4区| 欧美福利一区二区| 亚洲国产精品日本| 午夜毛片在线看| 国内少妇自拍视频一区| 欧美一区二区三区激情在线视频| 91avpro| 天摸夜夜添久久精品亚洲人成| 亚洲少妇中文字幕| 国产精品美女久久久另类人妖| 欧美日韩一二三四区| 欧美精品亚洲一区| 99视频一区| 国产一区二区视频播放| 国产精品一区二区av麻豆| 偷拍精品一区二区三区| 亚洲精品少妇一区二区 | 国产1区2| 亚洲国产99| 日韩久久精品一区二区| 国产一区免费在线| 狠狠插影院| 首页亚洲欧美制服丝腿| 狠狠色很很在鲁视频| 午夜wwww| 国产精品日本一区二区不卡视频| 国产的欧美一区二区三区| 精品国产一二区| 热re99久久精品国99热蜜月| 国产精品国产三级国产专区53| 国产在线一二区| 午夜天堂在线| 91麻豆精品国产91久久久久推荐资源| 亚洲在线久久| 猛男大粗猛爽h男人味| 国产精品不卡一区二区三区| 欧美日韩国产欧美| 午夜无遮挡| 91精品国产综合久久国产大片| 国产欧美一区二区在线| 性欧美激情日韩精品七区| 免费午夜在线视频| 亚洲欧美日韩在线看| 国产一级大片| 99久久久国产精品免费调教网站| 午夜av免费看| 国产69精品久久久久久野外| 国产精品高潮呻吟视频| 国产一区二区午夜| 理论片午午伦夜理片在线播放 | 日韩夜精品精品免费观看| 亚洲第一天堂无码专区| 国产视频一区二区视频| 国产欧美一区二区三区四区| 中文字幕一区三区| 中文字幕亚洲欧美日韩在线不卡| 国产精品视频久久| 99精品一区二区| 黄色av中文字幕| 93精品国产乱码久久久| 国产精品亚洲精品| 国产欧美久久一区二区三区| 国产在线一卡| 午夜影院你懂的| 欧美乱战大交xxxxx| 国产精品v一区二区三区| 亚日韩精品| 国产一区影院| 欧美激情精品一区| 欧美中文字幕一区二区三区| 精品久久国产视频| 国产不卡三区| 国产精品一区二区在线观看| 国内精品在线免费| 国产精品乱码一区| 国产精品久久免费视频在线| 欧美在线观看视频一区二区三区 | 午夜国产一区二区三区四区| 97久久精品一区二区三区观看| 亚洲欧美一区二区精品久久久| 一二三区欧美| 国产视频一区二区在线播放| 久久久久国产一区二区三区不卡| 最新国产一区二区| 午夜666| 亚洲欧美一二三| 少妇自拍一区| 国产日韩欧美精品| 国产1区2区3区中文字幕| 国产日韩欧美综合在线| 乱子伦农村| 人人澡超碰碰97碰碰碰| 超碰97国产精品人人cao| 久久不卡一区| 欧美日韩国产午夜| 96国产精品| 欧美一区二区三区久久| 又黄又爽又刺激久久久久亚洲精品 | 国产精品九九九九九| 欧美日韩亚洲三区| 国产一级一区二区| 日本大码bbw肉感高潮| 中文字幕区一区二| 国产精品一级在线| 99国产午夜精品一区二区天美| 视频一区欧美| 国产一区二区在线91| 天堂av一区二区| 99久热精品| 99精品少妇| 野花社区不卡一卡二| 国精偷拍一区二区三区| 国产美女视频一区二区三区| 精品久久综合1区2区3区激情| 欧美一区二区综合| 国产欧美精品一区二区三区-老狼 国产精品一二三区视频网站 | 国产亚洲综合一区二区| 精品一区二区三区视频?| 日本一区二区三区四区高清视频| av午夜在线| 欧美一区二区三区久久久精品| 午夜国内精品a一区二区桃色| 天天射欧美| 欧美日韩一区二区三区69堂| 亚洲一二三在线| 日本丰满岳妇伦3在线观看| 久久精品99国产精品亚洲最刺激| 国产欧美日韩一级| 91精品一区二区在线观看| 在线国产精品一区| 国产日韩欧美自拍| 国产日韩欧美另类| 国产精品一区在线播放| 日本丰满岳妇伦3在线观看| 国产精品99在线播放| 一区二区三区四区中文字幕| 国产精品高清一区| 精品久久久久久久久亚洲| 欧美日韩国产在线一区| 日韩一级片免费观看| 国产精品偷拍| 亚洲国产精品一区在线| 午夜影院黄色片| 国产乱对白刺激在线视频| 538在线一区二区精品国产| 欧美精品九九| 国产69精品久久久久按摩| 99久久国产综合精品色伊 | 97久久国产精品| 国产人澡人澡澡澡人碰视 | 美日韩一区| 欧美日韩国产精品一区二区| 久久综合伊人77777麻豆| 国产乱码精品一区二区三区中文| 精品少妇的一区二区三区四区| 国产精欧美一区二区三区久久| 一区二区三区在线影院| 亚洲国产精品国自产拍av| 国产一区在线免费| 国产精品国产三级国产aⅴ下载| 69久久夜色精品国产69–| 色噜噜狠狠色综合中文字幕| 91波多野结衣| 国产视频在线一区二区| 农村妇女毛片精品久久| 国产一区精品在线观看| 亚洲欧美一卡二卡| 国产精品一区二区日韩新区| 综合色婷婷一区二区亚洲欧美国产 | 国产影院一区二区| 精品国产二区三区| 91久久精品久久国产性色也91| 亚洲精品久久久久久久久久久久久久| 日韩精品中文字| 中文字幕制服狠久久日韩二区| 国产精品刺激对白麻豆99| 男女午夜爽爽| 国产午夜一级片| 久久久久国产精品免费免费搜索| 国产精品欧美一区二区三区奶水| 久久99久久99精品蜜柚传媒| 国产一区2区3区| 91精品久| 日韩精品免费一区二区中文字幕| 视频二区狠狠色视频| 日本一区二区三区免费播放| 国产1区在线观看| 日韩电影在线一区二区三区| 国产午夜精品免费一区二区三区视频| 国产精品影音先锋| 欧美亚洲视频一区| 国产偷亚洲偷欧美偷精品| 国产理论一区二区三区| 国产精品视频久久久久| 欧洲精品一区二区三区久久| av中文字幕一区二区| 最新国产一区二区| 久久国产欧美日韩精品| 国产一二区在线| 久久国产欧美一区二区免费| 右手影院av| 91高跟紫色丝袜呻吟在线观看| 国产日韩一区二区在线| 日本美女视频一区二区三区| 一区二区在线不卡| 婷婷嫩草国产精品一区二区三区| 在线电影一区二区| 国精产品一二四区在线看| 午夜亚洲国产理论片一二三四| 午夜生活理论片| 亚洲少妇一区二区三区| 韩国女主播一区二区| 国产一区二区中文字幕| 国产三级国产精品国产专区50| 欧美日韩一区二区三区四区五区六区| 麻豆天堂网| 视频一区二区三区中文字幕| 国产精品亚洲一区| 国产精品视频十区| 综合久久激情| 亚洲v欧美v另类v综合v日韩v| 国产区精品区| 中文在线一区二区三区| 国产99久久九九精品免费| 国产精品久久久久久亚洲美女高潮| 欧美777精品久久久久网| 精品久久久久99|