[發(fā)明專利]單晶圓濕處理設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111274481.1
• 申請日: 2021-10-29
• 公開（公告）號: CN116072565A
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳建勝
• 申請（專利權(quán)）人: 弘塑科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

本發(fā)明提供一種單晶圓濕處理設(shè)備，包含一操作殼體、一驅(qū)動機(jī)構(gòu)以及一升降機(jī)構(gòu)。操作殼體包含一集液腔室以及與集液腔室分別連通的一回收導(dǎo)管及一第一廢水排放管，其中回收導(dǎo)管還包含彼此不連通的一第一回收內(nèi)管及一第二廢水排放管。驅(qū)動機(jī)構(gòu)包含承載所述晶圓的一轉(zhuǎn)盤以及一驅(qū)動組件，轉(zhuǎn)盤設(shè)置在集液腔室內(nèi)。升降機(jī)構(gòu)包含相對操作殼體移動的一回收環(huán)以及跟隨回收環(huán)移動的一第二回收內(nèi)管，回收環(huán)沿著操作殼體內(nèi)壁移動，第二回收內(nèi)管套設(shè)并相對第一回收內(nèi)管移動，使廢水不會從回收導(dǎo)管滲入到第一回收內(nèi)管中，進(jìn)而污染藥液儲存槽。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體晶圓處理裝置；詳細(xì)而言，涉及一種單晶圓濕處理設(shè)備。

背景技術(shù)

單晶圓旋轉(zhuǎn)清洗設(shè)備(Single?Wafer?Spin?Cleaner)的典型制程，一般會先對晶圓噴灑各種化學(xué)藥液進(jìn)行清洗或蝕刻制程，后續(xù)各種化學(xué)藥液制程之間會使用去離子水(DI?Water)來去除先前制程所殘留于所述晶圓的化學(xué)藥液，或者是在完成清洗或蝕刻后也會使用去離子水(DI?Water)來去除先前制程所殘留于所述晶圓之化學(xué)藥液，最終將所述晶圓快速旋轉(zhuǎn)干燥與吹氮?dú)庥谒鼍A表面，進(jìn)而確保所述晶圓完全干燥。

當(dāng)單晶圓旋轉(zhuǎn)清洗或蝕刻設(shè)備使用去離子水(DI?Water)清洗晶圓時，產(chǎn)生的廢水會由藥液回收環(huán)下方的腔體底盤收集，并由主廢水排放管排出。然而，有些廢水可能因噴灑強(qiáng)勁、濺射或是水氣揮發(fā)等因素，從而滲入到藥液回收導(dǎo)管內(nèi)部，以致造成藥液回收遭受廢水污染，而無法重復(fù)利用/使用回收藥液，增加制程成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明之一目的，在于提供一種單晶圓濕處理設(shè)備，能夠避免廢水從回收導(dǎo)管滲入到第一回收內(nèi)管中，進(jìn)而污染到用于回收藥液的藥液儲存槽。

為達(dá)上述目的，本發(fā)明揭示一種單晶圓濕處理設(shè)備，透過一液體供應(yīng)裝置噴灑液體于一晶圓。單晶圓濕處理設(shè)備包含一操作殼體、一驅(qū)動機(jī)構(gòu)以及一升降機(jī)構(gòu)。操作殼體包含一集液腔室以及與集液腔室分別連通的一回收導(dǎo)管及一第一廢水排放管，其中回收導(dǎo)管還包含彼此不連通的一第一回收內(nèi)管及一第二廢水排放管。驅(qū)動機(jī)構(gòu)包含承載所述晶圓的一轉(zhuǎn)盤以及驅(qū)動轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動的一驅(qū)動組件，轉(zhuǎn)盤設(shè)置在集液腔室內(nèi)。升降機(jī)構(gòu)包含相對操作殼體移動的一回收環(huán)以及跟隨回收環(huán)移動的一第二回收內(nèi)管，回收環(huán)沿著操作殼體內(nèi)壁移動，第二回收內(nèi)管相對第一回收內(nèi)管移動。

在一實(shí)施例中，該第二回收內(nèi)管還包含一第一管部以及套設(shè)于該第一管部外的一第二管部，該第一管部的一端插設(shè)于該第一回收內(nèi)管內(nèi)，該第二管部的一端則套設(shè)于該第一回收內(nèi)管外，該第一管部及該第二管部會相對該第一回收內(nèi)管移動。

在一實(shí)施例中，該第一管部的直徑小于該第一回收內(nèi)管的直徑，該第一回收內(nèi)管的直徑小于該第二管部的直徑。

在一實(shí)施例中，當(dāng)該升降機(jī)構(gòu)帶動該回收環(huán)移動至一第一位置時，該操作殼體暴露該轉(zhuǎn)盤并使該第二回收內(nèi)管與該第一回收內(nèi)管彼此重迭，當(dāng)該升降機(jī)構(gòu)帶動該回收環(huán)移動至一第二位置時，該回收環(huán)的開口平行于該轉(zhuǎn)盤上方的所述晶圓并使該第二回收內(nèi)管與該第一回收內(nèi)管部分重迭，當(dāng)該升降機(jī)構(gòu)帶動該回收環(huán)移動至一第三位置時，該回收環(huán)的開口高于該轉(zhuǎn)盤上方的所述晶圓，并使該第二回收內(nèi)管與該第一回收內(nèi)管部分重迭。

在一實(shí)施例中，在該第二位置的該第二回收內(nèi)管與該第一回收內(nèi)管彼此重迭的比例，大于在該第三位置的該第二回收內(nèi)管與該第一回收內(nèi)管彼此重迭的比例。

在一實(shí)施例中，該回收環(huán)還包含一本體、一第一導(dǎo)引部、一第二導(dǎo)引部及位于該第一導(dǎo)引部與該第二導(dǎo)引部之間的一導(dǎo)引槽，該第一導(dǎo)引部環(huán)形地設(shè)置于該本體的一開口端緣，該第二導(dǎo)引部環(huán)形地設(shè)置在遠(yuǎn)離該開口的該本體內(nèi)壁上。

在一實(shí)施例中，該回收環(huán)還包含連通該第二回收內(nèi)管的一連接信道，該連接信道開設(shè)在該第二導(dǎo)引部的一側(cè)表面與該導(dǎo)引槽連通。

在一實(shí)施例中，該第一導(dǎo)引部與該第二導(dǎo)引部分別為一弧形表面、一傾斜表面或其組合，且該第一導(dǎo)引部的長度小于該第二導(dǎo)引部的長度。