[發明專利]雙波長光纖線陣列色散共焦顯微探測方法與裝置

在審

• 申請號: 202111264608.1
• 申請日: 2021-10-28
• 公開（公告）號: CN113959368A
• 公開（公告）日: 2022-01-21
• 發明（設計）人: 陳成;楊佳苗;沈陽
• 申請（專利權）人: 紹興鉅光光電科技有限公司
• 主分類號: G01B11/25
• 分類號: G01B11/25;G02B21/00;G02B21/06;G02B21/08
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1.雙波長光纖線陣列色散共焦顯微探測方法，其特征在于：雙波長光源發出波長λ₁和λ₂的照明光束；所述照明光束由光纖陣列耦合器的照明光纖陣列端口進入，經所述光纖陣列耦合器的耦合單元作用，至所述光纖耦合器的成線狀排布的公共光纖陣列端口出射形成狹縫照明光束；所述狹縫照明光束通過色散物鏡后形成測量光束，照射在被測樣品表面；所述色散物鏡對不同波長的光有不同的焦距，將不同波長的光聚焦在所述色散物鏡光軸上不同位置處；所述色散物鏡將狹縫照明光束中不同波長的光聚焦光軸上不同位置，形成兩條垂直于光軸的共面測量直線，記作L₁和L₂；由所述L₁和L₂組成的測量面照射到被測樣品表面，得到所述測量面與被測樣品表面相交的一條測量相交線；被測樣品將照射在表面測量相交線上的測量光束反射，反射的光束經所述色散物鏡沿原光路返回；所述反射的測量光束由所述光纖陣列耦合器的成線狀排布的公共光纖陣列端口過濾，經所述光纖陣列耦合器的耦合單元作用，至所述光纖陣列耦合器的探測光纖陣列端口出射；從所述光纖陣列耦合器的探測光纖陣列端口出射的測量光束進入波長分光裝置，使得不同波長的光進入不同的探測區域，從而由探測器得到被測樣品表面測量相交線上全部M個點在照明波長λ₁和λ₂下的光纖線陣列色散共焦響應強度數據，分別為[I₁¹, I₁², I₁³,…, I₁^M]、[I₂¹, I₂², I₂³,…, I₂^M ]；通過將被測樣品表面測量相交線上同一點在照明波長λ₁和λ₂下的光纖線陣列色散共焦響應強度數據進行處理得到光纖線陣列雙波長差分色散共焦響應數據[dI₂₁¹,dI₂₁²,dI₂₁³,…,dI₂₁^M ]；根據所述光纖線陣列雙波長差分色散共焦響應數據[dI₂₁¹,dI₂₁²,dI₂₁³,…, dI₂₁^M ]的大小確定被測樣品表面測量相交線上全部M個點沿測量光束光軸方向的位移信息。