[發(fā)明專利]用于電子顯微鏡的樣品承載裝置

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• 申請日: 2021-10-26
• 公開（公告）號: CN114199902A
• 公開（公告）日: 2022-03-18
• 發(fā)明（設計）人: 申玉田;朱躍峰
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;G01N23/20;G01N23/20008;G01N23/20025
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 張娜

1.一種用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，所述樣品承載裝置用于與樣品桿連接，其特征在于，所述樣品承載裝置包括：

基座本體；

傾轉基座，所述傾轉基座設于所述基座本體且相對所述基座本體可轉動，所述傾轉基座適于承載樣品；

樣品承載組件，所述樣品承載組件可拆卸地安裝于所述傾轉基座，所述樣品承載組件用于承載樣品。

2.根據權利要求1所述的用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，其特征在于，所述傾轉基座和所述基座本體間連接有樞轉軸，所述傾轉基座繞所述樞轉軸的中心軸線相對所述基座本體轉動。

3.根據權利要求2所述的用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，其特征在于，還包括：第一緊定件，所述基座本體設有樞轉孔，所述樞轉軸的部分結構伸入所述樞轉孔內，所述第一緊定件設于所述樞轉孔內且用于止擋所述樞轉軸。

4.根據權利要求1所述的用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，其特征在于，所述基座本體限定出安裝空間，所述安裝空間在所述基座本體厚度方向貫穿所述基座本體，所述傾轉基座設于所述安裝空間內。

5.根據權利要求1所述的用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，其特征在于，所述傾轉基座具有樣品放置區(qū)域，所述樣品承載組件可拆卸地安裝于所述樣品放置區(qū)域。

6.根據權利要求1所述的用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，其特征在于，所述樣品承載組件通過第二緊定件可拆卸地安裝于所述傾轉基座。

7.根據權利要求1所述的用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，其特征在于，所述樣品承載組件包括：安裝座和壓片，所述樣品夾設在所述安裝座和所述壓片之間。

8.根據權利要求1或7所述的用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，其特征在于，所述傾轉基座設有第一通孔，所述樣品承載組件設有與所述第一通孔對應的第二通孔，所述樣品的至少部分結構與所述第二通孔對應。

9.根據權利要求1所述的用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，其特征在于，還包括：微型電路板，所述微型電路板安裝于所述傾轉基座，所述微型電路板的導電針適于將樣品壓抵在所述傾轉基座，且所述微型電路板的導電針適于與所述樣品電連接。

10.根據權利要求1所述的用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，其特征在于，還包括：復位驅動件，所述復位驅動件設于所述基座本體，所述傾轉基座相對所述基座本體轉動后所述復位驅動件適于驅動所述傾轉基座復位。

11.根據權利要求10所述的用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，其特征在于，所述復位驅動件包括：傾轉固定銷和傾轉扭簧，所述傾轉基座設有連接部，所述傾轉固定銷安裝于所述基座本體，所述傾轉扭簧套設于所述傾轉固定銷外側且與所述連接部連接。

12.根據權利要求1或10所述的用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，其特征在于，所述傾轉基座設有驅動部，所述樣品桿適于推動所述驅動部驅動所述傾轉基座轉動。

13.根據權利要求1所述的用于電子顯微鏡的樣品承載裝置，其特征在于，所述基座本體可拆卸地安裝于所述樣品桿。