[發(fā)明專利]托卡馬克第一壁材料激光刻蝕系統(tǒng)及刻蝕深度標(biāo)定方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111243834.1
• 申請(qǐng)日: 2021-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN113983948B
• 公開（公告）日: 2023-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱長(zhǎng)軍;陳勇;賀陽;龍海川;劉豪;李育森;鄧新
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南華大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/22
• 分類號(hào): G01B11/22
• 代理公司: 衡陽市科航專利事務(wù)所(普通合伙) 43101
• 代理人: 劉政旺

1.托卡馬克第一壁材料激光刻蝕系統(tǒng)，其特征是：包括真空裝置、刻蝕裝置和觀測(cè)裝置；

真空裝置包括真空氣氛腔室、真空泵組和真空規(guī)；真空氣氛腔室內(nèi)設(shè)有空腔，真空氣氛腔室的外壁上設(shè)有連通至空腔的操作口、線纜出入口、管道連接口和真空規(guī)連接口，操作口處設(shè)有用于封閉或敞開操作口的活動(dòng)蓋；真空泵組通過管道與真空氣氛腔室的管道連接口連接；真空規(guī)直接或間接連接在真空規(guī)連接口上；

刻蝕裝置包括刻蝕平臺(tái)、光纖激光器和主控電腦；刻蝕平臺(tái)安裝在真空氣氛腔室的內(nèi)腔中，其包括用于放置工件的臺(tái)板、用于驅(qū)動(dòng)臺(tái)板做豎直升降移動(dòng)的豎直升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、用于驅(qū)動(dòng)臺(tái)板在水平面上移動(dòng)的水平面移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；光纖激光器包括依次連接的激光發(fā)射頭、控制器和光纖；激光發(fā)射頭固定設(shè)置在真空氣氛腔室的內(nèi)腔中，其激光射出方向豎直向下；控制器設(shè)置在真空氣氛腔室的外部；光纖一端位于真空氣氛腔室的內(nèi)腔中，并連接在激光發(fā)射頭上，另一端從線纜出入口穿出到真空氣氛腔室的外部，并連接在控制器上；主控電腦設(shè)在真空氣氛腔室的外部，并分別與豎直升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、水平面移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、控制器電連接；

觀測(cè)裝置包括CCD相機(jī)、照明裝置和顯示器；CCD相機(jī)固定設(shè)置在激光發(fā)射頭上；照明裝置設(shè)置在真空氣氛腔室的內(nèi)腔中；顯示器放置在真空氣氛腔室的外部，其通過信號(hào)線與CCD相機(jī)通信連接，信號(hào)線一端位于真空氣氛腔室的內(nèi)腔中，并連接在CCD相機(jī)上，另一端從線纜出入口穿出到真空氣氛腔室的外部，并與顯示器連接。

2.如權(quán)利要求1所述的托卡馬克第一壁材料激光刻蝕系統(tǒng)，其特征是：水平面移動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括用于驅(qū)動(dòng)臺(tái)板做X軸方向往復(fù)直線移動(dòng)的X軸移動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件和用于驅(qū)動(dòng)臺(tái)板做Y軸方向往復(fù)直線移動(dòng)的Y軸移動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件，X軸垂直于Y軸，X軸和Y軸均位于同一水平面上。

3.如權(quán)利要求2所述的托卡馬克第一壁材料激光刻蝕系統(tǒng)，其特征是：真空氣氛腔室呈水平放置的中空?qǐng)A柱形，所述操作口位于真空氣氛腔室的軸向一端，所述管道連接口和真空規(guī)連接口均位于真空氣氛腔室外壁的1/2高度上，所述線纜出入口位于真空氣氛腔室外壁的頂部。

4.如權(quán)利要求3所述的托卡馬克第一壁材料激光刻蝕系統(tǒng)，其特征是：線纜出入口的數(shù)量不少于兩個(gè)，所有的線纜出入口沿真空氣氛腔室的軸線方向均布；相應(yīng)的，光纖激光器的光纖和觀測(cè)裝置的信號(hào)線分別穿過不同的線纜出入口。

5.如權(quán)利要求3或4所述的托卡馬克第一壁材料激光刻蝕系統(tǒng)，其特征是：光纖與線纜出入口之間以及信號(hào)線與線纜出入口之間分別設(shè)有密封組件；密封組件包括彈性內(nèi)套、彈性中間套、防脫箍環(huán)、下套管、鎖緊螺母及上套管；彈性內(nèi)套為橫截面呈C形的橡膠套管，其上設(shè)有沿軸向延伸的貫通縫隙A，彈性內(nèi)套通過貫通縫隙A安裝在光纖或信號(hào)線的外壁上，并與光纖外壁或信號(hào)線外壁緊密接觸；彈性中間套為橫截面呈C形的橡膠套管，其上設(shè)有沿軸向延伸的貫通縫隙B，彈性中間套通過貫通縫隙B安裝在彈性內(nèi)套的外壁上，并與彈性內(nèi)套的外壁緊密接觸，其上的貫通縫隙B與彈性內(nèi)套的貫通縫隙A錯(cuò)位布置；防脫箍環(huán)呈套筒形，其由兩塊橫截面呈半圓環(huán)形的條狀分體插接而成，防脫箍環(huán)安裝在彈性中間套的外壁上，并與彈性中間套的外壁緊密接觸，兩塊分體的連接處與彈性中間套的貫通縫隙B錯(cuò)位布置；下套管的外壁上從上端至下端依次設(shè)有外螺紋A、環(huán)形定位臺(tái)和外螺紋B，下套管套裝在防脫箍環(huán)的外壁上，其內(nèi)孔壁面與防脫箍環(huán)的外壁緊密接觸，其上端的外螺紋A從線纜出入口伸出而位于真空氣氛腔室的外部，其環(huán)形定位臺(tái)和外螺紋B位于真空氣氛腔室的內(nèi)部；鎖緊螺母螺紋連接在下套管的外螺紋B上，從而將下套管的環(huán)形定位臺(tái)壓緊在真空氣氛腔室在線纜出入口附近的內(nèi)壁面上；上套管的內(nèi)壁中設(shè)有內(nèi)螺紋，上套管通過內(nèi)螺紋連接在下套管的外螺紋A上，并位于真空氣氛腔室的外部，其下端面與真空氣氛腔室在線纜出入口附近的外壁面緊密接觸。