[發明專利]一種真空蒸發提純設備

在審

• 申請號: 202111243418.1
• 申請日: 2021-10-25
• 公開（公告）號: CN113813620A
• 公開（公告）日: 2021-12-21
• 發明（設計）人: 步懷立;高光偉;辛巖;馬瑞;付秀華
• 申請（專利權）人: 沈陽恒進真空科技有限公司
• 主分類號: B01D1/00
• 分類號: B01D1/00;B01D1/24
• 代理公司: 北京知呱呱知識產權代理有限公司 11577
• 代理人: 杜立軍

1.一種真空蒸發提純設備，其特征在于：包括爐體(2)、坩堝(3)、多個加熱室和結晶器(5)，坩堝(3)、多個所述加熱室和所述結晶器(5)位于所述爐體(2)內，多個所述加熱室沿所述爐體(2)的高度方向排列，所述結晶器(5)位于相鄰的兩個所述加熱室之間，并且所述結晶器(5)連通相鄰的兩個所述加熱室，沿所述爐體(2)內從下到上的方向，多個所述加熱室的加熱溫度從高到低排列，所述坩堝(3)位于所述爐體(2)底部的所述加熱室內。

2.根據權利要求1所述的真空蒸發提純設備，其特征在于：所述加熱室的數量為五個，五個所述加熱室的加熱溫度沿所述爐體(2)內從下到上的方向從高到低排列。

3.根據權利要求1所述的真空蒸發提純設備，其特征在于：所述加熱室內設有熱電偶(7)。

4.根據權利要求3所述的真空蒸發提純設備，其特征在于：所述熱電偶(7)是S型鉑銠熱電偶。

5.根據權利要求1所述的真空蒸發提純設備，其特征在于：還包括冷凝器(6)，所述冷凝器(6)設置在所述爐體(2)頂部，所述爐體(2)頂部和所述冷凝器(6)連通。

6.根據權利要求1所述的真空蒸發提純設備，其特征在于：所述爐體(2)包括爐體本體(8)和與所述爐體本體(8)鉸接的手動門(9)，所述手動門(9)和所述爐體本體(8)通過鎖定裝置進行鎖定。

7.根據權利要求6所述的真空蒸發提純設備，其特征在于：所述鎖定裝置是手輪鎖，所述手輪鎖設置在所述手動門(9)的邊緣，所述手輪鎖包括手輪(10)和鎖架(11)，所述鎖架(11)的一端鉸接所述爐體本體(8)，所述鎖架(11)的另一端螺紋連接所述手輪(10)。

8.根據權利要求1所述的真空蒸發提純設備，其特征在于：還包括與所述爐體(2)連通的真空系統(1)，所述真空系統(1)包括分子泵、羅茨泵、旋片泵、真空捕集器及真空管路，所述旋片泵、所述羅茨泵、所述分子泵、所述真空捕集器和所述爐體(2)順次通過真空管路連接。

9.根據權利要求1所述的真空蒸發提純設備，其特征在于：所述加熱室(4)的壁面設有金屬隔熱屏。