[發明專利]一種多元合金靶材及其制備方法有效
| 申請號： | 202111242398.6 | 申請日： | 2021-10-25 |
| 公開（公告）號： | CN114000113B | 公開（公告）日： | 2022-10-28 |
| 發明（設計）人： | 張鳳戈;張學華;魏鐵峰;岳萬祥;張欠男;高眾 | 申請（專利權）人： | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C22C30/00;B22F3/15;B22F3/10 |
| 代理公司： | 北京維正專利代理有限公司 11508 | 代理人： | 李愛民 |
| 地址： | 100089 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多元 合金 及其 制備 方法 | ||
1.一種多元合金靶材，其特征在于，由以下原子百分比的元素組成，鎳20-35%、釩20-25%、鉬20-25%、鎢20-35%；多元合金靶材通過熱等靜壓燒結制得，其中熱等靜壓燒結的保溫溫度為1550℃，保溫時間為130分鐘，壓力為150MPa。
2.根據權利要求1所述的一種多元合金靶材，其特征在于，所述鎳30%、釩20%、鉬20%、鎢30%。
3.一種如權利要求1-2任一所述的多元合金靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟，
S1：將鉬粉與鎳粉混料制備成MoNi合金粉末；
S2：將MoNi合金粉末與釩粉、鉬粉、鎢粉混合制備成混合料；
S3：對混合料進行熱等靜壓燒結，即得多元合金靶材；
其中熱等靜壓燒結的保溫溫度為1550℃，保溫時間為130分鐘，壓力為150MPa。
4.根據權利要求3所述的一種多元合金靶材的制備方法，其特征在于，所述MoNi合金粉末、釩粉、鉬粉、鎢粉各自的純度≥99.6%。
5.根據權利要求3所述的一種多元合金靶材的制備方法，其特征在于，所述MoNi合金粉末、釩粉、鉬粉、鎢粉各自的平均粒度為20-150μm。
6.根據權利要求5所述的一種多元合金靶材的制備方法，其特征在于，所述MoNi合金粉末、釩粉、鉬粉、鎢粉各自的平均粒度為40-120μm。
7.根據權利要求6所述的一種多元合金靶材的制備方法，其特征在于，所述MoNi合金粉末、釩粉、鉬粉、鎢粉各自的平均粒度為80μm。
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