[發明專利]一種加速度傳感器

有效

• 申請號: 202111242245.1
• 申請日: 2021-10-25
• 公開（公告）號: CN113917186B
• 公開（公告）日: 2023-09-05
• 發明（設計）人: 顏紅彥;呂忠全;勾建偉
• 申請（專利權）人: 南京林業大學
• 主分類號: G01P15/08
• 分類號: G01P15/08
• 代理公司: 北京中知法苑知識產權代理有限公司 11226
• 代理人: 李明;趙吉陽

1.一種加速度傳感器，其特征在于，所述加速度傳感器包括：

基板；

質量塊，懸空設置在所述基板的上方區域；

第一錨區、第二錨區、第三錨區、第四錨區，圍繞所述質量塊設置在所述基板上；

第一連接桿、第二連接桿、第三連接桿、第四連接桿，分別對應連接所述第一錨區、第二錨區、第三錨區、第四錨區與所述質量塊；

第一電容、第二電容、第三電容、第四電容，分別對應設置在所述第一連接桿、第二連接桿、第三連接桿、第四連接桿的端部區域；

第一彈簧梁、第二彈簧梁、第三彈簧梁、第四彈簧梁，分別連接于所述第一電容的上極板與所述第一錨區之間、所述第二電容的上極板與所述第二錨區之間、所述第三電容的上極板與所述第三錨區之間、所述第四電容的上極板與所述第四錨區之間；

第一電感、第二電感、第三電感、第四電感，分別對應臨近所述第一錨區、第二錨區、第三錨區、第四錨區設置，且分別與所述第一電容、第二電容、第三電容、第四電容組成LC諧振回路。

2.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于：所述第一電容、第二電容、第三電容、第四電容的上極板與所述第一連接桿、第二連接桿、第三連接桿、第四連接桿位于同一平面。

3.根據權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于：所述第一電容、第二電容、第三電容、第四電容的下極板分別對應所述上極板設置于所述基板上。

4.根據權利要求3所述的加速度傳感器，其特征在于：所述第一電感、第二電感、第三電感、第四電感的一端分別連接于所述第一電容、第二電容、第三電容、第四電容的下極板，另一端分別連接于所述第一錨區、第二錨區、第三錨區、第四錨區。

5.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于：所述第一錨區與所述第三錨區關于所述質量塊對稱設置；和/或所述第二錨區與所述第四錨區關于所述質量塊對稱設置。

6.根據權利要求5所述的加速度傳感器，其特征在于：所述第一連接桿與所述第三連接桿關于所述質量塊對稱設置；和/或所述第二連接桿與所述第四連接桿關于所述質量塊對稱設置；和/或，所述第一電容與所述第三電容關于所述質量塊對稱設置；和/或，所述第二電容與所述第四電容關于所述質量塊對稱設置；和/或，所述第一彈簧梁與所述第三彈簧梁關于所述質量塊對稱設置；和/或，所述第二彈簧梁與所述第四彈簧梁關于所述質量塊對稱設置。

7.根據權利要求3所述的加速度傳感器，其特征在于：所述上極板沿所述連接桿寬度方向的尺寸大于所述連接桿的寬度。

8.根據權利要求7所述的加速度傳感器，其特征在于：所述上極板沿所述連接桿長度方向的邊緣與所述下極板的邊緣平齊。

9.根據權利要求8所述的加速度傳感器，其特征在于：所述下極板的邊長均大于所述上極板的邊長。

10.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于：所述第一電感、第二電感、第三電感、第四電感為MEMS螺旋電感。