[發明專利]一種鐵電隧道結器件及其制造方法

在審

• 申請號: 202111240810.0
• 申請日: 2021-10-25
• 公開（公告）號: CN113991014A
• 公開（公告）日: 2022-01-28
• 發明（設計）人: 畢津順;楊雪琴
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: H01L45/00
• 分類號: H01L45/00;G11C11/22
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 柳虹

1.一種鐵電隧道結器件，其特征在于，包括：

第一電極；

鐵電層，所述鐵電層位于所述第一電極的一側表面；

介質層，所述介質層位于所述鐵電層遠離所述第一電極的一側表面；所述介質層的厚度小于所述鐵電層的厚度；

第二電極，所述第二電極位于所述介質層遠離所述第一電極的一側表面。

2.根據權利要求1所述的鐵電隧道結器件，其特征在于，所述鐵電層的厚度大于6納米，所述介質層的厚度為2-3納米。

3.根據權利要求1所述的鐵電隧道結器件，其特征在于，所述介質層的材料為氧化物。

4.根據權利要求3所述的鐵電隧道結器件，其特征在于，所述介質層的材料為氧化鋁。

5.根據權利要求1-4任意一項所述的鐵電隧道結器件，其特征在于，所述第一電極的材料為N型摻雜或P型摻雜的多晶硅，所述第二電極的材料為金屬材料。

6.根據權利要求1-4任意一項所述的鐵電隧道結器件，其特征在于，所述鐵電層的材料為摻雜的HfO₂。

7.根據權利要求6所述的鐵電隧道結器件，其特征在于，所述鐵電層的材料為HZO。

8.根據權利要求1-4任意一項所述的鐵電隧道結器件，其特征在于，所述第一電極包括多個相互平行的條狀第一子電極，所述第二電極包括多個相互平行的條狀第二子電極，所述第一子電極和所述第二子電極在所述第一子電極所在平面上的投影垂直交叉。

9.一種鐵電隧道結器件的制造方法，其特征在于，包括：

在第一電極上形成鐵電層；

在所述鐵電層上形成介質層；

在所述介質層上形成第二電極。

10.根據權利要求9所述的制造方法，其特征在于，所述第一電極包括多個相互平行的條狀第一子電極，在所述第一電極上形成鐵電層之前，還包括：

在氧化硅襯底上形成光刻膠層；

對所述光刻膠層進行曝光和顯影，形成多個相互平行的電極凹槽；

在所述電極凹槽內填充第一電極的材料；

去除所述光刻膠層。