[發明專利]一種光譜黑洞共焦測量面型或厚度的裝置及方法

在審

• 申請號: 202111230914.3
• 申請日: 2021-10-22
• 公開（公告）號: CN113916151A
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 孫保福;宋素霜
• 申請（專利權）人: 珠海橫琴美加澳光電技術有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/06
• 代理公司: 中山馳鼎專利商標代理事務所(普通合伙) 44706
• 代理人: 凌信景

1.一種光譜黑洞共焦測量面型或厚度的裝置，其特征在于沿光軸依次設有：

多光譜光源(1)、第一聚焦透鏡組(2)、透光反射件(3)、準直透鏡組(7)、色散聚焦透鏡組(8)和XY位移平臺(10)；

所述多光譜光源(1)、第一聚焦透鏡組(2)、準直透鏡組(7)、色散聚焦透鏡組(8)和XY位移平臺(10)均位于透光反射件(3)一側，所述透光反射件(3)另一側依次設有第二聚焦透鏡組(4)和光信號處理組件(13)，所述多光譜光源(1)、第一聚焦透鏡組(2)的光軸線與準直透鏡組(7)、色散聚焦透鏡組(8)的光軸線關于透光反射件(3)的法線對稱；

所述多光譜光源(1)用于提供及發射多光譜光束；

所述第一聚焦透鏡組(2)用于將多光譜光源(1)發出的光束聚焦到透光反射件(3)上；

所述光信號處理組件(13)為光譜儀或顏色傳感器，用于接收處理光信號；

所述透光反射件(3)具有一中心小孔(21)且環繞中心小孔(21)同心地設有反射環形面(20)，所述透光反射件(3)上的中心小孔(21)用于透過及濾掉第一聚焦透鏡組(2)所聚焦光束的中心部分和對被測面板(9)所反射的反射光束進行通光以射向第二聚焦透鏡組(4)，所述透光反射件(3)上的反射環形面(20)用于將第一聚焦透鏡組(2)所聚焦光束中非中心部分的光反射射向準直透鏡組(7)上；

所述準直透鏡組(7)和色散聚焦透鏡組(8)用于準直和聚焦，當反射環形面(20)的光反射射向準直透鏡組(7)上時，所述準直透鏡組(7)則將反射光束準直為平行光束而射向色散聚焦透鏡組(8)上，色散聚焦透鏡組(8)則將準直的平行光束聚焦于被測面板(9)相應表面；被測面板(9)所產生的反射光經過色散聚焦透鏡(8)收集而準直為平行光束后射向準直透鏡組(7)上，準直透鏡組(7)再將色散聚焦透鏡(8)準直的平行光束聚焦透過透光反射件(3)的中心小孔(21)而射向第二聚焦透鏡組(4)，最后由第二聚焦透鏡組(4)將透過中心小孔(21)的反射光束聚焦于光信號處理組件(13)上；

進行測量時，調節光信號處理組件(13)、第二聚焦透鏡組(4)、準直透鏡組(7)、色散聚焦透鏡組(8)、被測面板(9)、XY位移平臺(10)同軸等高，且當被測面板(9)放置于XY位移平臺(10)上，通過調節XY位移平臺(10)軸向移動，可使得被測面板(9)相應表面與色散聚焦透鏡組(8)的焦平面重合。

2.如權利要求1所述一種光譜黑洞共焦測量面型或厚度的裝置，其特征在于所述透光反射件(3)與準直透鏡組(7)之間設有擋光片，或所述準直透鏡組(7)與色散聚焦透鏡組(8)之間設有擋光片，或在色散聚焦透鏡組(8)與XY位移平臺(10)之間設有擋光片，所述擋光片用于遮擋光路的中心光線以形成環形光束。

3.如權利要求1或2所述一種光譜黑洞共焦測量面型或厚度的裝置，其特征在于所述透光反射件(3)還包括同心設置在反射環形面(20)外側的透光環(23)。