[發明專利]一種激光輔助巨量轉移MicroLED的對準裝置及對準方法

在審

• 申請號: 202111221338.6
• 申請日: 2021-10-20
• 公開（公告）號: CN113921439A
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 黃永安;楊彪;孫寧寧
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L25/075;H01S3/00;H01S3/03
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 劉洋洋

1.一種激光輔助巨量轉移MicroLED的對準裝置，其特征在于，所述裝置包括：

掩模投影組件(100)，包括自定義掩模板(110)以及掩模板微調裝置(120)；所述自定義掩模板(110)設有鏤空圖案；所述掩模板微調裝置(120)包括依次連接的手動轉臺(121)、Z方向位移臺(122)以及X方向位移臺(123)，所述手動轉臺(121)用于實現轉動，所述Z方向位移臺(122)以及X方向位移臺(123)分別實現Z方向和X方向的運動；所述自定義掩模板(110)連接于所述手動轉臺(121)的端部，所述手動轉臺(121)、Z方向位移臺(122)以及X方向位移臺(123)中部均中空以使得激光穿過所述中空部位至所述自定義掩模板(110)生成圖案化光斑；

相機對位系統(200)，包括至少兩個相機(210)，所述相機的視野中心設有十字叉絲，每一相機均設于相應的每一Y方向位移臺(220)上，多個Y方向位移臺(220)設于一個或多個X方向位移臺(230)上，以實現所述相機在X方向和Y方向的運動；

運動平臺系統(300)，包括用于承載芯片的芯片運動模塊(310)以及用于承載驅動電路的驅動電路運動模塊(320)；

所述相機對位系統(200)設于所述運動平臺系統(300)的上方，所述掩模投影組件(100)設于所述相機對位系統(200)的上方，通過所述相機(210)的十字叉絲實現光斑、芯片以及驅動電路的對準定位。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述手動轉臺(121)、Z方向位移臺(122)以及X方向位移臺(123)的邊緣均設有調節旋鈕，通過旋轉所述調節旋鈕實現所述手動轉臺(121)、Z方向位移臺(122)以及X方向位移臺(123)的運動。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述芯片運動模塊(310)以及驅動電路運動模塊(320)均包括至少四個方向的自由度，既XYZ方向和繞Z軸的旋轉運動。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括與所述激光同光路的有色光光源以使所述光斑可視化，所述有色光光源的光束截面積不小于所述激光的光束截面積。

5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述自定義掩模板(110)可拆卸連接于所述手動轉臺(121)的端部。

6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述相機對位系統(200)，包括兩個相機(210)，每一相機均設于相應的每一Y方向位移臺(220)上，兩個Y方向位移臺(220)設于一個X方向位移臺(230)上。

7.一種權利要求1～6任意一項所述激光輔助巨量轉移MicroLED的對準裝置的對準方法，其特征在于，所述方法包括：

SI：通過所述相機的十字叉絲與邊緣光斑對準實現光斑的定位，并固定所述相機和光斑；

S2：將所述芯片運動模塊(310)移出相機視野，移動所述驅動電路運動模塊(320)使得所述驅動電路運動模塊(320)對應邊緣與所述十字叉絲對準以實現所述驅動電路運動模塊(320)的對準；

S3：移動所述芯片運動模塊(310)使得所述芯片運動模塊(310)對應邊緣與所述十字叉絲對準以實現所述芯片運動模塊(310)的對準。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，至少一個所述相機的定位對象為光斑對角線的端部。