[發明專利]一種基于硅通孔的共模噪聲抑制濾波器

在審

• 申請號: 202111209414.1
• 申請日: 2021-10-18
• 公開（公告）號: CN114093849A
• 公開（公告）日: 2022-02-25
• 發明（設計）人: 王鳳娟;侯倉倉;余寧梅;楊媛;朱樟明;尹湘坤
• 申請（專利權）人: 西安理工大學
• 主分類號: H01L23/64
• 分類號: H01L23/64;H01L23/522;H03H7/01
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 許志蛟

1.一種基于硅通孔的共模噪聲抑制濾波器，其特征在于：包括八個頂部雙層交指電容，八個頂部雙層交指電容分別通過十三個TSV電感連接八個底部雙層交指電容。

2.根據權利要求1所述的一種基于硅通孔的共模噪聲抑制濾波器，其特征在于：所述八個頂部雙層交指電容包括雙層交指電容C1、雙層交指電容C2、雙層交指電容C3、雙層交指電容C4、雙層交指電容C5、雙層交指電容C6、雙層交指電容C7及雙層交指電容C8；

所述八個底部雙層交指電容包括雙層交指電容C9、雙層交指電容C10、雙層交指電容C11、雙層交指電容C12、雙層交指電容C13、雙層交指電容C14、雙層交指電容C15及雙層交指電容C16；

雙層交指電容C1、雙層交指電容C2、雙層交指電容C3、雙層交指電容C4、雙層交指電容C5、雙層交指電容C6、雙層交指電容C7及雙層交指電容C8、雙層交指電容C9、雙層交指電容C10、雙層交指電容C11、雙層交指電容C12、雙層交指電容C13、雙層交指電容C14、雙層交指電容C15及雙層交指電容C16的結構相同，均包括電容極板Plate1、電容極板Plate2、電容極板Plate3、電容極板Plate4；

電容極板Plate1和電容極板Plate3構成同一層之間的交指電容；電容極板Plate2和電容極板Plate4構成同一層之間的交指電容；

電容極板Plate1和電容極板Plate4連接，電容極板Plate2和電容極板Plate3連接。

3.根據權利要求2所述的一種基于硅通孔的共模噪聲抑制濾波器，其特征在于：所述十三個TSV電感包括TSV電感L1、TSV電感L2、TSV電感L3、TSV電感L4、TSV電感L5、TSV電感L6、TSV電感L7、TSV電感L8、TSV電感L9、TSV電感L10、TSV電感L11、TSV電感L12及TSV電感L13；

TSV電感L1、TSV電感L2、TSV電感L3、TSV電感L4、TSV電感L5、TSV電感L6、TSV電感L7、TSV電感L8、TSV電感L9、TSV電感L10、TSV電感L11、TSV電感L12及TSV電感L13均通過若干個TSV呈螺旋狀繞制形成，各TSV之間通過RDL層依次首尾相接。

4.根據權利要求3所述的一種基于硅通孔的共模噪聲抑制濾波器，其特征在于：所述TSV電感L1中的各TSV的螺旋繞制方向與TSV電感L2中各TSV的螺旋繞制方向相反。

5.根據權利要求4所述的一種基于硅通孔的共模噪聲抑制濾波器，其特征在于：所述TSV電感L1的起始端port1與雙層交指電容C1的電容極板plate2相接；

TSV電感L1的末端port2分別與TSV電感L2的末端port2、雙層交指電容C2的電容極板plate2相接；

TSV電感L2的起始端port1分別與雙層交指電容C1的電容極板plate4、雙層交指電容C3的電容極板plate2、TSV電感L3的起始端port1相接；

雙層交指電容C3的電容極板plate4分別與雙層交指電容C5的電容極板plate2、雙層交指電容C4的電容極板plate2相接；

雙層交指電容C4的電容極板plate4分別與TSV電感L3的末端port2、TSV電感L4的起始端port1、雙層交指電容C6的電容極板plate2相接；

雙層交指電容C6的電容極板plate4分別與雙層交指電容C7的電容極板plate2、雙層交指電容C8的電容極板plate2相接；

雙層交指電容C7的電容極板plate4與TSV電感L4的末端port2相接；

雙層交指電容C5的電容極板plate4與TSV電感L5的起始端port1連接；

雙層交指電容C8的電容極板plate4與TSV電感L6的末端port2相接；

TSV電感L8的起始端port1端分別與雙層交指電容C9的電容極板plate1、TSV電感L9的末端port2、雙層交指電容C10的電容極板plate1相接；

TSV電感L9的起始端port1分別與雙層交指電容C9的電容極板plate3、雙層交指電容C11的電容極板plate1、TSV電感L10的起始端port1連接；

雙層交指電容C11的電容極板plate3分別與電容極板C13的電容極板plate1、雙層交指電容C12的電容極板plate1相接；

雙層交指電容C12的電容極板plate3分別與TSV電感L10的末端port2、TSV電感L11的起始端port1、雙層交指電容C14的電容極板plate1相接；

雙層交指電容C14的電容極板plate3分別與雙層交指電容C15的電容極板plate1、雙層交指電容C8的電容極板plate1相接；

雙層交指電容C15的電容極板plate3與TSV電感L11的末端port2相接；

雙層交指電容C13的電容極板plate3與TSV電感L12的起始端port1相接；

雙層交指電容C16的電容極板plate3與TSV電感L13的末端port2相接；

雙層交指電容C2的電容極板plate4、雙層交指電容C10的電容極板plate4、TSV電感L5末端port2、TSV電感L12的末端port2、TSV電感L6的起始端port1、TSV電感L13的起始端port1均與TSV電感L7的末端port2相接。