[發(fā)明專利]面內(nèi)滑動(dòng)式微鏡以及激光雷達(dá)

在審

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• 申請日: 2021-10-15
• 公開（公告）號(hào): CN113791398A
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭德利;鄭泉水
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳清華大學(xué)研究院;清華大學(xué)
• 主分類號(hào): G01S7/481
• 分類號(hào): G01S7/481;G02B26/08;G02B26/10
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 張藝

1.面內(nèi)滑動(dòng)式微鏡，其特征在于：包括基底、設(shè)于所述基底上的鏡面部件、設(shè)于所述基底和所述鏡面部件之間的滑動(dòng)部件以及用于驅(qū)動(dòng)所述滑動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部件，所述鏡面部件包括反射面，所述反射面具有至少兩個(gè)反射角度，所述滑動(dòng)部件帶動(dòng)所述鏡面部件于所述基底上滑動(dòng)并切換反射角度。

2.如權(quán)利要求1所述的面內(nèi)滑動(dòng)式微鏡，其特征在于：所述滑動(dòng)部件包括至少一個(gè)超滑片，所述超滑片具有至少一個(gè)超滑面，所述基底具有原子級(jí)平整表面，所述超滑面貼合于所述原子級(jí)平整表面上。

3.如權(quán)利要求2所述的面內(nèi)滑動(dòng)式微鏡，其特征在于：所述基底還包括絕緣層，所述滑動(dòng)部件設(shè)于所述絕緣層上，且所述絕緣層具有原子級(jí)平整表面，所述超滑片與所述絕緣層超滑接觸。

4.如權(quán)利要求2所述的面內(nèi)滑動(dòng)式微鏡，其特征在于：所述超滑片遠(yuǎn)離所述基底的一側(cè)面與所述鏡面部件固定連接。

5.如權(quán)利要求1所述的面內(nèi)滑動(dòng)式微鏡，其特征在于：所述鏡面部件還包括支撐部件，所述反射面設(shè)于所述支撐部件上。

6.如權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的面內(nèi)滑動(dòng)式微鏡，其特征在于：所述反射面采用多棱反射鏡面，所述多棱反射鏡面包括至少兩個(gè)平整反射面，且所述平整反射面依次拼接。

7.如權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的面內(nèi)滑動(dòng)式微鏡，其特征在于：所述反射面采用弧形鏡面、球形鏡面或不規(guī)則曲率鏡面。

8.如權(quán)利要求1所述的面內(nèi)滑動(dòng)式微鏡，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)部件采用電驅(qū)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)部件設(shè)于所述基底的內(nèi)部或設(shè)于所述基底的底部。

9.如權(quán)利要求8所述的面內(nèi)滑動(dòng)式微鏡，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)部件包括至少兩個(gè)驅(qū)動(dòng)電極。

10.激光雷達(dá)，其特征在于：包括發(fā)射元件、接收元件以及如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的面內(nèi)滑動(dòng)式微鏡，所述面內(nèi)滑動(dòng)式微鏡朝向所述發(fā)射元件或所述接收元件。