[發(fā)明專利]一種自動插片機移載托片裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111194097.0
• 申請日: 2021-10-13
• 公開（公告）號: CN113644016B
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馮顯火
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇泰明易自動化設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京市領(lǐng)專知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11590
• 代理人: 黃龍龍

本發(fā)明公開了一種自動插片機移載托片裝置，包括若干個移載裝置和將其連接的移載條，所述移載條為多層結(jié)構(gòu)，所述移載條包括條主體，所述條主體外側(cè)為接觸部，所述條主體內(nèi)側(cè)為耐磨層，所述移載裝置包括外框，所述外框內(nèi)部底面設(shè)有工字板，所述工字板上方設(shè)有匚條，所述匚條兩端上方設(shè)有邊固定塊，兩個邊固定塊之間設(shè)有水平角度支撐架，所述水平角度支撐架的側(cè)面設(shè)有垂直角度支撐架，所述垂直角度支撐架上方通過上弧板固定有兩個軸承，所述軸承套設(shè)在槽輥的兩端，所述槽輥內(nèi)部設(shè)有碳纖維桿，所述耐磨層的輪廓呈半圓形，所述接觸部的外圓為平面。該自動插片機移載托片裝置，具有良好的承載能力，托片結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，適合普遍推廣使用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于機械自動化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種自動插片機移載托片裝置。

背景技術(shù)

目前在太陽能電池擴散制程工藝中通常使用石英舟作為硅片的承載件，由于是用于在石英爐管內(nèi)進行擴散工藝其耐受溫度可達800℃以上。

現(xiàn)有自動插片機的移載托片裝置常常使用橡膠材質(zhì)的環(huán)傳動帶動插片移動，而且現(xiàn)有的插片機移載托片裝置通過線輥帶動橡膠環(huán)移動硅片時，往往需要保持硅片較為穩(wěn)定的移載狀態(tài)，而線輥若不能保證正確的相對位置則可能讓硅片偏出硅片承托裝置，從而讓導(dǎo)致硅片損壞；

為了保證良好的運輸精度，現(xiàn)有的自動插片機的移載托片裝置在安裝時往往需要進行繁瑣的調(diào)整，但通常不具有全向調(diào)整功能。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種自動插片機移載托片裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種自動插片機移載托片裝置，包括若干個移載裝置和將其連接的移載條；

所述移載條為多層結(jié)構(gòu)，所述移載條包括條主體，所述條主體外側(cè)為接觸部，所述條主體內(nèi)側(cè)為耐磨層；

所述移載裝置包括外框，所述外框內(nèi)部底面設(shè)有工字板，所述工字板上方設(shè)有匚條，所述匚條兩端上方設(shè)有邊固定塊，兩個邊固定塊之間設(shè)有水平角度支撐架，所述水平角度支撐架的側(cè)面設(shè)有垂直角度支撐架，所述垂直角度支撐架上方通過上弧板固定有兩個軸承，所述軸承套設(shè)在槽輥的兩端，所述槽輥內(nèi)部設(shè)有碳纖維桿。

優(yōu)選的，所述耐磨層的輪廓呈半圓形，所述接觸部的外圓為平面。

優(yōu)選的，所述外框的輪廓呈矩形框狀，所述外框的頂面開有水平口，所述外框的側(cè)壁開有垂直口，所述外框的底面開有沉孔和框螺紋孔，所述框螺紋孔位于外框的底面兩端；

所述工字板兩端的T形部分內(nèi)開有工板螺紋孔和Y軸滑槽；

所述匚條為開口向上的U形結(jié)構(gòu)，所述匚條的底面兩端開有X軸滑槽，所述匚條兩端的垂直部分內(nèi)開有Z軸滑槽。

優(yōu)選的，所述Y軸滑槽內(nèi)部設(shè)有穿過Y軸墊片的Y軸螺絲，所述Y軸螺絲進入框螺紋孔內(nèi)部，所述X軸滑槽內(nèi)部設(shè)有穿過X軸墊片的X軸螺絲，所述X軸螺絲進入工板螺紋孔內(nèi)部。

優(yōu)選的，所述Z軸滑槽內(nèi)部設(shè)有穿過Z軸墊片的Z軸螺絲，所述Z軸螺絲進入邊固定塊垂直部分的螺紋孔內(nèi)，所述水平角度支撐架兩端側(cè)面各插接固定有水平的水平螺栓，所述水平角度支撐架的一端內(nèi)部開有水平定孔，所述水平角度支撐架的另一端內(nèi)部開有水平角度槽，所述水平定孔和水平角度槽內(nèi)部均設(shè)有穿過水平角度墊片的水平角度螺絲，所述水平角度螺絲進入邊固定塊水平部分中的螺紋孔內(nèi)。

優(yōu)選的，所述垂直角度支撐架的兩端各設(shè)有一個立板，所述立板上端均設(shè)有下弧板，其中一個立板下端開有垂直定孔，另一個立板內(nèi)開有垂直角度槽，其中一個水平螺栓穿過垂直定孔，另一個水平螺栓穿過垂直角度槽，所述水平螺栓外部套設(shè)有垂直角度墊片和垂直角度螺母，所述上弧板位于下弧板上方，所述上弧板兩端內(nèi)部的通孔中設(shè)有夾持螺絲，所述夾持螺絲擰入下弧板兩端的螺紋孔內(nèi)，所述軸承位于下弧板和上弧板之間。