[發明專利]一種石英環火拋光裝置及方法

在審

• 申請號: 202111191925.5
• 申請日: 2021-10-13
• 公開（公告）號: CN114057383A
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 汪俊;鄭明山;楊軍
• 申請（專利權）人: 浙江富樂德石英科技有限公司
• 主分類號: C03B29/06
• 分類號: C03B29/06;C03B20/00
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 鄭汝珍

本發明公開了一種石英環火拋光裝置及方法，包括：夾持機構，用于裝夾石英管一端并使其沿軸線轉動；托舉機構，托舉機構設置在石英管遠離夾持機構的一端，用于托舉石英管并保證石英管沿軸向延伸；機構，機構滑動設置在夾持機構和托舉機構之間，機構上設有供石英管通過的第一孔。本發明保證石英管沿直線延伸；對石英管進行有效；監測孔內兩端壓力控制速度，避免損壞產品的同時保證的高效；適配不同管徑和長度的石英管；操作簡單，效果穩定。

技術領域

本發明涉及石英加工技術領域，尤其涉及一種石英環火拋光裝置及方法。

背景技術

隨著IC行業的高速發展，半導體設備制造行業隨之日漸成熟，石英玻璃產品作為半導體設備中的重要組成產品，需求也與日俱增。因石英玻璃具有高硬度、高純度、熱膨脹系數低和電絕緣等一系列特性，故其加工工藝要求十分嚴苛。石英產品常常需要通過火拋光提升其表面質量，現有技術通常為人工通過手持焊槍，焊槍噴出的火焰對產品表面進行火拋光，手工操作費時費力，效率低，不利于產品的批量生產，對人員技能水平提出較高的要求，容易出現由于產品拋光面拋光不均勻而導致透光率、表面粗糙度不一致，甚至出現產品變形的問題，影響產品質量；現有技術中也有通過機械裝置進行拋光，但由于環類產品需要拋光的面較多，包括上下表面和內外表面，通常需要多步拋光，加工效率低，拋光效果差。

例如，一種在中國專利文獻上公開的“一種石英環火拋光裝置”，其申請號CN201922162598.5，其包括操作臺架，操作臺架包括支架和操作臺組件，操作臺組件設置于支架上，操作臺組件包括載物臺和拋光槍架，待加工的石英環固定于載物臺上，拋光槍架設置于載物臺的一側；拋光槍架的底端固定于載物臺上、頂端設有拋光槍頭，拋光槍頭的噴射口朝向載物臺的臺面；載物臺設置于一旋轉臺上，旋轉臺經由電機驅動后轉動時帶動載物臺旋轉。其不足之處是，載物臺通過支撐柱支撐石英環，旋轉時支撐柱和石英環易出現相對滑動，影響固定，影響產品質量；產品內表面和下表面無法進行拋光，需要手動補充拋光或翻面進行二次拋光，加工效率低。

發明內容

本發明是為了克服現有技術拋光效率低、效果差的問題，提供一種石英環火拋光裝置及方法，操作簡單，加工效率高，拋光效果穩定好。

為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種石英環火拋光裝置，包括：

旋轉臺，用于帶動石英環同軸轉動，所述旋轉臺上設有同軸的圓弧形通孔；

若干夾持機構，用于將石英環同軸固定在旋轉臺上，所述夾持機構上設有滑塊，所述滑塊沿徑向滑動設置在旋轉臺上；

上焊槍，用于對石英環的上表面及內外表面進行火拋光；

下焊槍，所述下焊槍設置在旋轉臺下方，用于通過所述通孔對石英環下表面進行火拋光。

本發明的特點在于上焊槍上設置多個槍口分別對準石英環的上表面及內外表面，下焊槍槍口對準石英環下表面，其中，下焊槍噴出的火焰穿過旋轉臺弧形的通孔作用于石英環下表面，當旋轉臺帶動石英環轉動時，一次性實現石英環全表面均得到拋光；若干夾持機構沿周向排列，優選為四個夾持機構間隔90°均布在旋轉臺上，穩定可靠，滑塊用于固定石英環，通過調節滑塊徑向位置適配不同直徑、尺寸的石英環。

作為優選，所述滑塊上設有用于支撐石英環底面的支撐面和用于與石英環內表面貼合的圓弧面。

支撐面對石英環豎直方向進行限位，圓弧面用于抵接在石英環內壁，通過固定滑塊張緊石英環，對石英環水平方向進行限位。

作為優選，所述夾持機構還包括固定塊，所述滑塊和固定塊之間螺紋連接有用于調節滑塊徑向位置的調節螺栓。

其中一種滑塊的調節方式為通過手動轉動螺栓調節滑塊和固定塊之間的間距，并通過擰緊螺栓張緊石英環。

作為優選，所述夾持機構還包括驅動滑塊滑動的滑塊驅動裝置。