[發(fā)明專利]并聯(lián)連接的體聲波諧振器及其制造方法、以及電子器件

在審

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• 申請日: 2021-10-11
• 公開（公告）號: CN113904654A
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉海瑞;賴志國;楊清華
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州漢天下電子有限公司
• 主分類號: H03H9/17
• 分類號: H03H9/17;H03H3/02
• 代理公司: 北京元合聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11653
• 代理人: 李非非

1.一種并聯(lián)連接的體聲波諧振器，該體聲波諧振器包括：

基底；

疊層結(jié)構(gòu)，該疊層結(jié)構(gòu)位于所述基底上且從上至下依次包括上電極、壓電層以及下電極；

聲反射結(jié)構(gòu)，該聲反射結(jié)構(gòu)位于所述疊層結(jié)構(gòu)下方，形成在所述基底內(nèi)或形成在所述疊層結(jié)構(gòu)和所述基底之間；

所述上電極、所述壓電層以及所述下電極位于所述聲反射結(jié)構(gòu)上方的重疊區(qū)域構(gòu)成所述疊層結(jié)構(gòu)的有效工作區(qū)，其中，所述有效工作區(qū)包括主體區(qū)域以及至少一個(gè)局部區(qū)域，每一所述局部區(qū)域中的上電極、壓電層、下電極中的至少一層其厚度不同于所述主體區(qū)域中相應(yīng)層的厚度，且每一所述局部區(qū)域所產(chǎn)生的第一諧振響應(yīng)的串聯(lián)諧振頻率低于所述主體區(qū)域所產(chǎn)生的第二諧振響應(yīng)的串聯(lián)諧振頻率、或高于所述主體區(qū)域所產(chǎn)生的第二諧振響應(yīng)的并聯(lián)諧振頻率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的體聲波諧振器，其中：

所述主體區(qū)域的水平截面的面積小于等于5×10⁴μm²；

所述局部區(qū)域的水平截面的面積小于2×10³μm²。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的體聲波諧振器，其中，所述局部區(qū)域的水平截面的形狀是多邊形、環(huán)形、圓形或不規(guī)則形狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的體聲波諧振器，其中，所述局部區(qū)域的水平截面與所述有效工作區(qū)的水平截面形狀相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的體聲波諧振器，其中，所述局部區(qū)域水平截面的每條邊與所述有效工作區(qū)水平截面中相應(yīng)的邊平行設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的體聲波諧振器，其中：

所述有效工作區(qū)的邊緣形成有聲波泄露抑制結(jié)構(gòu)，該聲波泄露抑制結(jié)構(gòu)包括凸起的第一框架結(jié)構(gòu)和/或凹陷的第二框架結(jié)構(gòu)。

7.一種并聯(lián)連接的體聲波諧振器的制造方法，該制造方法包括：

基底的提供步驟、疊層結(jié)構(gòu)的形成步驟以及聲反射結(jié)構(gòu)的形成步驟，其中，所述疊層結(jié)構(gòu)位于所述基底上，所述聲反射結(jié)構(gòu)位于所述疊層結(jié)構(gòu)下方、形成在所述基底內(nèi)或形成在所述疊層結(jié)構(gòu)和所述基底之間；

所述疊層結(jié)構(gòu)的形成步驟包括：在所述基底上依次形成下電極、壓電層以及上電極以構(gòu)成疊層結(jié)構(gòu)，所述上電極、所述壓電層以及所述下電極位于所述聲反射結(jié)構(gòu)上方的重疊區(qū)域構(gòu)成所述疊層結(jié)構(gòu)的有效工作區(qū)，其中，所述有效工作區(qū)包括主體區(qū)域以及至少一個(gè)局部區(qū)域，每一所述局部區(qū)域中的上電極、壓電層、下電極中的至少一層其厚度不同于所述主體區(qū)域中相應(yīng)層的厚度，且每一所述局部區(qū)域所產(chǎn)生的第一諧振響應(yīng)的串聯(lián)諧振頻率低于所述主體區(qū)域所產(chǎn)生的第二諧振響應(yīng)的串聯(lián)諧振頻率、或高于所述主體區(qū)域所產(chǎn)生的第二諧振響應(yīng)的并聯(lián)諧振頻率。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造方法，其中：

所述主體區(qū)域的水平截面的面積小于等于5×10⁴μm²；

所述局部區(qū)域的水平截面的面積小于2×10³μm²。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的制造方法，其中，所述局部區(qū)域的水平截面的形狀是多邊形、環(huán)形、圓形或不規(guī)則形狀。

10.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的制造方法，其中，所述局部區(qū)域的水平截面與所述有效工作區(qū)的水平截面形狀相同。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的制造方法，其中，所述局部區(qū)域水平截面的每條邊與所述有效工作區(qū)水平截面中相應(yīng)的邊平行設(shè)置。

12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造方法，該制造方法還包括：

在所述有效工作區(qū)的邊緣形成聲波泄露抑制結(jié)構(gòu)，該聲波泄露抑制結(jié)構(gòu)包括凸起的第一框架結(jié)構(gòu)和/或凹陷的第二框架結(jié)構(gòu)。