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[發明專利]一種生產高純電子級溴化氫用燃燒反應器及其設備有效

專利信息
申請號: 202111180729.8 申請日: 2021-10-11
公開(公告)號: CN113716526B 公開(公告)日: 2022-11-15
發明(設計)人: 馬建修;靖宇;杜文東 申請(專利權)人: 福建福豆新材料有限公司
主分類號: C01B7/09 分類號: C01B7/09;B01D53/02;B01D53/26;B01J20/16;B01J20/28;B01J20/30;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 蘇州瞪羚知識產權代理事務所(普通合伙) 32438 代理人: 張宇
地址: 354000 福建省南*** 國省代碼: 福建;35
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 生產 高純 電子 級溴化氫用 燃燒 反應器 及其 設備
【權利要求書】:

1.一種生產高純電子級溴化氫用燃燒反應器,其特征在于,其包括殼體、豎直陣列設置在所述殼體內的多根噴嘴管束,以及設置在所述噴嘴管束上方其通空氣的盤管;

所述噴嘴管束的上端設置有催化劑,通入氫氣和溴氣的體積流量比為R的所述噴嘴管束包括相互套設的內管和外管,所述內管和所述外管之間通所述氫氣,所述內管通所述溴氣;其中,1R1.5;所述外管的外側上設置有斜向上延伸的外翅片,所述外翅片的上表面上設置有石墨層。

2.根據權利要求1所述的一種生產高純電子級溴化氫用燃燒反應器,其特征在于,所述內管的上端向外凹陷,使得所述噴嘴管束的上端形成收縮段和擴張段。

3.根據權利要求2所述的一種生產高純電子級溴化氫用燃燒反應器,其特征在于,所述外管的所述擴張段直徑變小,且所述外管的所述擴張段縱截面為直線。

4.根據權利要求1所述的一種生產高純電子級溴化氫用燃燒反應器,其特征在于,所述內管的內側設置有螺旋狀花紋。

5.根據權利要求1所述的一種生產高純電子級溴化氫用燃燒反應器,其特征在于,所述內管上端的內側設置有內翅片,所述內翅片斜向上延伸。

6.根據權利要求1所述的一種生產高純電子級溴化氫用燃燒反應器,其特征在于,所述生產高純電子級溴化氫用燃燒反應器還包括設置在所述殼體外側的夾套。

7.一種生產高純電子級溴化氫用設備,其特征在于,其包括依次連接的如根據權利要求1所述的一種生產高純電子級溴化氫用燃燒反應器、兩級精餾塔、深度脫水裝置、過濾裝置和填充裝置。

8.根據權利要求7所述的一種生產高純電子級溴化氫用設備,其特征在于,所述深度脫水裝置的吸附劑為改性的納米級絲光沸石分子篩,所述改性的納米級絲光沸石分子篩的孔徑為5-10埃,比表面積為300-500m2/g,硅鋁比為20-30,絲光沸石原粉的粒度為10-100nm,載體為氧化鋁。

9.根據權利要求8所述的一種生產高純電子級溴化氫用設備,其特征在于,所述改性的納米級絲光沸石分子篩由如下方法制得:絲光沸石原粉在馬弗爐里500℃活化至少2小時,然后與1-3mol/L的鹽酸浸漬至少2小時,經過濾、水洗、干燥、再次研磨粉碎后造粒制得改性的納米級絲光沸石分子篩。

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