[發明專利]電池片擴散工藝的磷源傳輸裝置以及包含其的溫度控制系統在審
| 申請號： | 202111180211.4 | 申請日： | 2021-10-11 |
| 公開（公告）號： | CN113932082A | 公開（公告）日： | 2022-01-14 |
| 發明（設計）人： | 李進;安百俊;韓耀璋;張佃平;石星宇;徐尊豪;韓博 | 申請（專利權）人： | 寧夏大學 |
| 主分類號： | F16L53/32 | 分類號： | F16L53/32;F16L59/14;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 劉桐亞 |
| 地址： | 750000 寧夏回族*** | 國省代碼： | 寧夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電池 擴散 工藝 傳輸 裝置 以及 包含 溫度 控制系統 | ||
1.電池片擴散工藝的磷源傳輸裝置，其特征在于，所述磷源傳輸裝置包括磷源攜源管(11)、熱氣流進氣管(12)、熱氣流出氣管(13)和隔熱包覆材料(14)；
所述隔熱包覆材料(14)包覆磷源攜源管(11)、熱氣流進氣管(12)和熱氣流出氣管(13)，形成磷源傳輸管路；
所述熱氣流進氣管(12)和熱氣流出氣管(13)通過調整熱氣流的流量，進而調節磷源攜源管(11)中磷源的溫度。
2.根據權利要求1所述的磷源傳輸裝置，其特征在于，所述磷源攜源管(11)的直徑為5mm～30mm；
所述熱氣流進氣管(12)和/或熱氣流出氣管(13)的直徑為10mm～45mm。
3.根據權利要求1所述的磷源傳輸裝置，其特征在于，所述熱氣流進氣管(12)和熱氣流出氣管(13)中的熱氣流為熱排余熱。
4.一種電池片擴散工藝過程中溫度控制系統，其特征在于，所述溫度控制系統包括：磷源輸送單元(1)、硅片溫度檢測單元(2)、溫控單元(3)、恒溫調節單元(4)和保溫氣體控制單元(5)；
其中，所述磷源輸送單元(1)包括權利要求1～3任一項所述的磷源傳輸裝置。
5.根據權利要求4所述的溫度控制系統，其特征在于，所述硅片溫度檢測單元(2)用于檢測硅片的溫度，并將硅片的溫度反饋至溫控單元(3)。
6.根據權利要求5所述的溫度控制系統，其特征在于，所述硅片溫度檢測單元(2)包括測溫電偶。
7.根據權利要求4所述的溫度控制系統，其特征在于，所述溫控單元(3)控制所述恒溫調節單元(4)和/或保溫氣體控制單元(5)。
8.根據權利要求4所述的溫度控制系統，其特征在于，所述保溫氣體控制單元(5)包括熱氣流傳輸泵(51)。
9.根據權利要求8所述的溫度控制系統，其特征在于，所述熱氣流傳輸泵(51)與權利要求1～3任一項所述的磷源傳輸裝置中的熱氣流進氣管和熱氣流出氣管相連通，用于控制熱氣流進氣管和熱氣流出氣管中熱氣流的流通量。
10.根據權利要求4所述的溫度控制系統，其特征在于，所述恒溫調節單元(4)與磷源相連通，用于控制調節進入磷源輸送單元(1)的磷源的溫度。
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