[發(fā)明專利]回收提純電子級六氟乙烷的生產(chǎn)方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202111178221.4
• 申請日: 2021-10-09
• 公開（公告）號: CN113880686A
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發(fā)明（設計）人: 李紀明;張朝春;劉志強;林百志;李向如;張奎;李嘉磊;陳施華;闕祥育
• 申請（專利權）人: 福建德爾科技有限公司
• 主分類號: C07C17/38
• 分類號: C07C17/38;C07C17/383;C07C17/389;C07C19/08
• 代理公司: 上海智力專利商標事務所(普通合伙) 31105
• 代理人: 周濤

1.一種從四氟化碳生產(chǎn)工業(yè)廢氣中回收提純電子級六氟乙烷的生產(chǎn)方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1，將含有六氟乙烷的四氟化碳廢氣輸送至順序連接的汽化器(100)以及氣體緩沖裝置(200)，以保持后續(xù)精餾系統(tǒng)運行穩(wěn)定；

S2：然后再通過隔膜壓縮機(300)將氣體增壓后進入吸附裝置(400)，所述吸附裝置(400)包括第一高壓吸附塔(401)、第二高壓吸附塔(402)以及裝填有高內聚能密度氟化物吸附劑的第三高壓吸附塔(403)，所述第三高壓吸附塔(403)用于實現(xiàn)六氟乙烷與CHF₃和CClF₃雜質的有效分離；

S3，將吸附后的氣體通入精密過濾器(500)過濾后，通入到低沸精餾塔(600)塔頂氣體四氟化碳返回至四氟化碳生產(chǎn)系統(tǒng)，塔釜液經(jīng)閥組到第一高沸塔(700)；

S4，含有高沸點雜質的六氟乙烷氣體進入到所述第一高沸塔(700)后在塔釜除去高沸點雜質，塔頂出料含有少量高沸點雜質的六氟乙烷經(jīng)過閥組進入到第二高沸塔(800)，所述第二高沸塔(800)塔頂產(chǎn)品氣電子級六氟乙烷進入產(chǎn)品罐(900)。

2.如權利要求1所述的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述高內聚能密度氟化物吸附劑為將C-Si-O基礎構架加入NaHF₂-NiF·6H₂O添加劑，成型、燒結和研磨后形成復合材料；再將所述復合材料與聚丙烯腈混合造粒形成復合聚合物，最后真空烘烤成型。

3.如權利要求2所述的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述C-Si-O基礎構架與所述NaHF₂-NiF·6H₂O添加劑的質量比為1:1～3。

4.如權利要求2所述的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述燒結的溫度為300-350℃。

5.如權利要求2所述的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述復合材料與所述聚丙烯腈的質量比為1:0.1～0.8。

6.如權利要求2所述的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述烘烤成型的溫度為70～90℃。

7.如權利要求1所述的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述氣體緩沖裝置(200)通過自動化調節(jié)使其壓力自動穩(wěn)定在300～310KPa以保持后續(xù)精餾系統(tǒng)運行穩(wěn)定。

8.如權利要求1所述的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述第一高壓吸附塔(401)以及所述第二高壓吸附塔(402)裝填有5A、13X分析篩，且壓力控制在600KPa～610KPa之間，用于吸附二氧化碳以及微量的水分。