[發明專利]紅外熱電堆傳感器的量產測試裝置

在審

• 申請號: 202111175721.2
• 申請日: 2021-10-09
• 公開（公告）號: CN113834573A
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發明（設計）人: 林武;柯亮;李妍君;儲莉玲
• 申請（專利權）人: 美新半導體（天津）有限公司
• 主分類號: G01J5/52
• 分類號: G01J5/52
• 代理公司: 蘇州簡理知識產權代理有限公司 32371
• 代理人: 龐聰雅

本發明提供一種紅外熱電堆傳感器的量產測試裝置，其包括：測試板；若干測試載具，其設置于測試板上，測試載具用于可拆卸地插接紅外熱電堆傳感器；傳送裝置，其用于承載測試板；黑體，其設置于傳送裝置上方，黑體內設置有輻射源，輻射源用于產生設定溫度；當傳送裝置帶動測試板依次使各列測試載具對準輻射源；電壓測量電路，其與若干測試載具電性連接，其用于測量與輻射源對準的一列測試載具中的各個紅外熱電堆傳感器的輸出電壓；上位機，其基于電壓測量電路測量到的紅外熱電堆傳感器的輸出電壓，計算出該紅外熱電堆傳感器的靈敏度指標。與現有技術相比，本發明可以在FT測試階段對紅外熱電堆傳感器進行批量且高可靠性的靈敏度測試。

【技術領域】

本發明涉及微機電系統器件的測試技術領域，尤其涉及一種紅外熱電堆傳感器的量產測試裝置。

【背景技術】

MEMS器件，是指具有微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)，且尺寸僅有幾毫米乃至更小的高科技電子機械器件，其加工工藝融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工技術。目前，MEMS器件應用領域相當廣泛，常見的產品例如MEMS加速度計、MEMS麥克風、MEMS光學傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器、MEMS紅外熱電堆傳感器。對于紅外熱電堆(IR)傳感器，現有技術中一般在量產出貨階段只對紅外熱電堆的電阻值進行測量，而無法對靈敏度特性進行高精度的實時批量測量，電阻值只能反映出產品的電氣連接特性，并不能完全保證FT(Final Test)測試階段所有IR產品輸出特性的良好一致性，良品率在客戶產品終端無法保障，限制了終端產品的可靠應用。

因此，亟需提出一種新的技術方案來解決上述問題。

【發明內容】

本發明的目的之一在于提供一種紅外熱電堆傳感器的量產測試裝置，其可以在FT測試階段對紅外熱電堆傳感器進行批量且高可靠性的靈敏度測試。

根據本發明的一個方面，本發明提供一種紅外熱電堆傳感器的量產測試裝置，其包括：測試板；若干測試載具，其設置于所述測試板上，所述測試載具用于可拆卸地插接紅外熱電堆傳感器，當所述紅外熱電堆傳感器插接在所述測試載具中時，所述紅外熱電堆傳感器和所述測試板產生電連接；傳送裝置，其用于承載所述測試板，并將所述測試板沿傳送方向運送；黑體，其設置于所述傳送裝置上方，所述黑體內設置有輻射源，所述輻射源用于產生設定溫度Tset；當所述傳送裝置帶動所述測試板沿傳送方向移動并經過所述黑體下方時，依次使所述測試板上的各列測試載具對準所述黑體內的輻射源；電壓測量電路，其與所述若干測試載具電性連接，其用于測量與所述輻射源對準的一列測試載具中的各個所述紅外熱電堆傳感器的輸出電壓；上位機，其與所述電壓測量電路通信連接，其基于所述電壓測量電路測量到的所述紅外熱電堆傳感器的輸出電壓，計算出該紅外熱電堆傳感器的靈敏度指標。

與現有技術相比，本發明提供的紅外熱電堆傳感器的量產測試裝置，其可以在FT測試階段對紅外熱電堆傳感器進行批量且高可靠性的靈敏度測試，更好地保證出貨良率，保障終端產品應用的可靠性。

【附圖說明】

為了更清楚地說明本發明實施例的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖。其中：

圖1為本發明在一個實施例中的紅外熱電堆傳感器的量產測試裝置的結構示意圖；

圖2為本發明在一個實施例中如圖1所示的PCB測試板的結構示意圖；

圖3為本發明在一個實施例中的紅外熱電堆傳感器的量產測試裝置的電路示意圖。

【具體實施方式】

為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明。