[發明專利]一種硒化鋅晶體的表面預處理方法在審
| 申請號： | 202111174182.0 | 申請日： | 2021-10-09 |
| 公開（公告）號： | CN113882022A | 公開（公告）日： | 2022-01-04 |
| 發明（設計）人： | 劉鵬;劉榮娟;馬杰;姜忠賽;張長華;王俊;沈德元;唐定遠 | 申請（專利權）人： | 江蘇師范大學 |
| 主分類號： | C30B33/12 | 分類號： | C30B33/12;C30B33/00;C30B29/48 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人： | 錢玲玲 |
| 地址： | 221116 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硒化鋅 晶體 表面 預處理 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種硒化鋅晶體的表面預處理方法，其特征是，包括以下步驟：
將硒化鋅晶體表面拋光；
將拋光后的硒化鋅晶體放入丙酮溶液中浸泡清洗后，用超純水循環清洗硒化鋅晶體；
將清洗后的硒化鋅晶體放入烘箱中烘干；
將烘干后的硒化鋅晶體放入等離子刻蝕機的等離子真空腔中，并用等離子體清洗硒化鋅晶體表面；
將等離子體清洗后的硒化鋅晶體置于氬氣氣氛的手套箱中，用封裝袋對硒化鋅晶體進行封裝。
2.根據權利要求1所述的硒化鋅晶體的表面預處理方法，其特征是，所述烘箱中溫度為70 -80℃；所述烘干的時間為1-1.5小時。
3.根據權利要求1所述的硒化鋅晶體的表面預處理方法，其特征是，所述等離子真空腔中的壓力為0.1 ~ 0.4 mbar。
4.根據權利要求3所述的硒化鋅晶體的表面預處理方法，其特征是，所述等離子真空腔中的壓力為0.2 ~ 0.4 mbar。
5.根據權利要求1所述的硒化鋅晶體的表面預處理方法，其特征是，所述等離子體為氬等離子體或氦等離子體。
6.根據權利要求1所述的硒化鋅晶體的表面預處理方法，其特征是，所述等離子體清洗硒化鋅晶體表面的時間為1-15分鐘。
7.根據權利要求6所述的硒化鋅晶體的表面預處理方法，其特征是，所述等離子體清洗硒化鋅晶體表面的時間為10分鐘。
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