[發(fā)明專利]一種光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202111167839.0
• 申請(qǐng)日: 2021-09-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113739711A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐波;薛聰穎;李衛(wèi)濤;張新銀;展大偉;楊得成;龍汝磊;汪洋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 光馳科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06
• 代理公司: 上海申蒙商標(biāo)專利代理有限公司 31214
• 代理人: 周宇凡

1.一種光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)，包括光源發(fā)射端和光接收端，所述光源發(fā)射端和光接收端之間形成監(jiān)控光路，其特征在于：所述監(jiān)控光路的光源發(fā)射端和/或光接收端具有角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)使所述光源發(fā)射端的光發(fā)射角度和/或所述光接收端的光接收角度可調(diào)且構(gòu)成位置對(duì)應(yīng)匹配。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)分別具有角度儀和角度調(diào)試臺(tái)，所述角度調(diào)試臺(tái)用于所述光發(fā)射角度和/或所述光接收角度的角度調(diào)整，所述角度儀用于標(biāo)定角度值。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)安裝在位置調(diào)試臺(tái)上，所述位置調(diào)試臺(tái)用于調(diào)整所述角度調(diào)整機(jī)構(gòu)的位置，進(jìn)而調(diào)整監(jiān)控光路檢測(cè)工件的位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述角度調(diào)試臺(tái)安裝在所述角度儀上，所述角度調(diào)試臺(tái)的底面與所述角度儀的頂面為相適配的弧面，且兩者之間構(gòu)成滑動(dòng)配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述光發(fā)射角度和/或所述光接收角度的角度調(diào)節(jié)范圍小于90°。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述光發(fā)射角度和/或所述光接收角度的角度調(diào)節(jié)范圍為7°-14°。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：該監(jiān)控系統(tǒng)包括兩路或兩路以上的所述監(jiān)控光路，各所述監(jiān)控光路沿所述工件上的薄膜覆膜延伸方向間隔布置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述監(jiān)控光路的光信號(hào)經(jīng)光電轉(zhuǎn)換處理后傳輸至鎖相放大器，所述鎖相放大器對(duì)所述光信號(hào)進(jìn)行降噪并傳輸至數(shù)據(jù)處理器，所述數(shù)據(jù)處理器根據(jù)所述光信號(hào)監(jiān)控所述工件在成膜過(guò)程中的透過(guò)率變化。