[發明專利]一種半導體MES系統的MOM一體化系統

在審

• 申請號: 202111165615.6
• 申請日: 2021-09-30
• 公開（公告）號: CN113917899A
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 葉宇暉
• 申請（專利權）人: 上海哥瑞利軟件股份有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;H01L21/67
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 輦甲武

本發明提供一種半導體MES系統的MOM一體化系統，其特征在于，包括：內建的統計制程控制SPC模塊、實時調度器RTD模塊、活動管理器AMA模塊和失控行動計劃OCAP模塊，各模塊間直接相互調用。有效降低集成成本，減少響就時間，減少生產過程中進出站的時間，進而提高生產效率。

技術領域

本發明涉及一種半導體MES系統的MOM一體化系統，屬于半導體制造領域。

背景技術

在半導體12寸晶圓生產CIM系統中，包含了MES、SPC、RTD、AMA、OCAP系統對生產效率及質量進行提升。在MESA定義的最新一代MES系統定位中，這些系統都屬于MOM(Manufacturing Operations Management)的應用層。由于傳統上這些系統由不同廠商的不同平臺提供，如附圖4所示，這些系統都需要透過Message Bus進行集成，除了增加集成復雜度以外，還對生產過程增加了響應時間的Overhead。

發明內容

本發明的目的在于提供一種半導體MES的系統MOM一體化系統，有效降低集成成本，減少響就時間，減少生產過程中進出站的時間，進而提高生產效率。

本發明采用了如下技術方案：

一種半導體MES系統的MOM一體化系統，其特征在于，包括：內建的統計制程控制SPC模塊、實時調度器RTD模塊、活動管理器AMA模塊和失控行動計劃OCAP模塊，各模塊間直接相互調用。

進一步，本發明的半導體MES系統的MOM一體化系統，還具有這樣的特征：MES系統允許打開或關閉與統計制程控制SPC模塊、實時調度器RTD模塊、活動管理器AMA模塊和失控行動計劃OCAP模塊的調用。

進一步，本發明的半導體MES系統的MOM一體化系統，還具有這樣的特征：MES產品的測試中，加入統計制程控制SPC模塊、實時調度器RTD模塊、活動管理器AMA模塊和失控行動計劃OCAP模塊的調用測試。

進一步，本發明的半導體MES系統的MOM一體化系統，還具有這樣的特征：模塊之間使用EJB相互直接調用，不使用外部的消息總線MessageBus。

進一步，本發明的半導體MES系統的MOM一體化系統，還具有這樣的特征：在模塊間相互調用過程中，保持與通用關系型數據庫DB的單一會話連接。

進一步，本發明的半導體MES系統的MOM一體化系統，還具有這樣的特征：企業服務總線ESB和統計制程控制SPC模塊、實時調度器RTD模塊、活動管理器AMA模塊和失控行動計劃OCAP模塊共同形成EJB池。

進一步，本發明的半導體MES系統的MOM一體化系統，還具有這樣的特征：還包括線程池和連接池，均與EJB池進行通訊。

進一步，本發明的半導體MES系統的MOM一體化系統，還具有這樣的特征：在模塊間相互調用過程中，以單一提交完成多模塊的調用。

本發明的半導體MES系統的MOM一體化系統，具備如下優占：

(1)各模塊間交互無需透過Message Bus，徹底消除外部對響應時間的Overhead。

(2)Application Server以模塊之間調用為系統添加功能，以產品的標準提前完成集成已經測試，無需在每個項目中重新設計，加速新功能上線時間，節約資源。在沒有新需求情況下，設計及集成所需資源降為零。

(3)在模塊間相互調用過程中，保持與DB的單一session連接,以Single Commit完成多模塊的調用，不會出現Partial Commit問題。

附圖說明

圖1是SPC、RTD、AMA、OCAP系統模塊化的示意圖。

圖2是各模塊業務邏輯。