[發明專利]一種二維光柵三量程光柵光譜儀在審
| 申請號： | 202111161543.8 | 申請日： | 2021-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN113847985A | 公開（公告）日： | 2021-12-28 |
| 發明（設計）人： | 嚴子燁;趙浩辰;葉志成;佘軼 | 申請（專利權）人： | 上海交通大學煙臺信息技術研究院 |
| 主分類號： | G01J3/28 | 分類號： | G01J3/28;G01J3/18 |
| 代理公司： | 上海旭誠知識產權代理有限公司 31220 | 代理人： | 鄭立 |
| 地址： | 264670 山東省煙*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 二維 光柵 量程 光譜儀 | ||
【權利要求書】：
1.一種二維光柵三量程光柵光譜儀，包括二維光柵、探測陣列和光路元件，其特征在于：
所述二維光柵為二維矩形晶格非對稱周期三量程的亞波長光柵，包括襯底、光柵和抗反射結構，所述襯底位于所述光柵的底面；
所述探測陣列包括CCD接收器，所述CCD接收器接收經所述二維光柵后產生的自由空間衍射光；
所述光路元件包括托盤和轉軸，所述托盤上表面設置有所述二維光柵；所述轉軸位于所述托盤下部，所述轉軸轉動時，帶動所述托盤旋轉，從而利用所述二維光柵的不同周期，實現所述光柵光譜儀測量量程的切換。
2.如權利要求1所述的光柵光譜儀，其特征在于，所述二維光柵在橫向和縱向的周期不同。
3.如權利要求1所述的光柵光譜儀，其特征在于，入射信號光可以從所述光柵面或者所述襯底面入射。
4.如權利要求1或3所述的光柵光譜儀，其特征在于，入射信號光從所述襯底面入射時在入射面的光點位置設置所述抗反射結構，并且所述襯底為對入射光透明材料。
5.如權利要求1所述的光柵光譜儀，其特征在于，所述CCD接收器接收的自由空間衍射光為反射衍射或者透射衍射。
6.如權利要求1所述的光柵光譜儀，其特征在于，所述光柵材料為介質或者金屬。
7.如權利要求6所述的光柵光譜儀，其特征在于，所述金屬為鋁、銀、鈦和金中的任何一種。
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